一种新型真空自耗炉的制作方法

文档序号:13408448阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型真空自耗炉,包括炉体(1),所述炉体(1)内设有紫铜结晶器(2),所述紫铜结晶器(2)内设有自耗电极(3),其特征在于:所述紫铜结晶器(2)外侧固定设有冷却炉(7),所述冷却炉(7)内设有冷却腔(71),所述冷却腔(71)内设有半导体制冷芯片(8),所述冷却炉(7)和炉体(1)之间设有水冷腔(4),所述水冷腔(4)的上端连通设有冷却水出口端(5),水冷腔(4)底端连通设有冷却水进口端(6),且水冷腔(4)内的炉体(1)内壁上设有外水冷环(92),所述冷却炉(7)的外壁上设有内水冷环(91)。

2.根据权利要求1所述的一种新型真空自耗炉,其特征在于:所述冷却炉(7)的内壁和紫铜结晶器(2)的外壁存在空隙,该空隙内设有冷却液,且冷却液的液面低于半导体制冷芯片(8)的底端,且冷却炉(7)的炉壁为导热铝片结构。

3.根据权利要求1所述的一种新型真空自耗炉,其特征在于:所述外水冷环(92)为环状结构,其外径等于炉体(1)内径,内径大于冷却炉(7)的外径,所述内水冷环(91)为环状结构,其外径大于外水冷环(92)的内径,且小于外水冷环(92)的外径,该内水冷环(91)的内径等于冷却炉(7)的外径。

4.根据权利要求1所述的一种新型真空自耗炉,其特征在于:所述外水冷环(92)和内水冷环(91)的数量均为四个,其两两交替设置在水冷腔(4)内,且外水冷环(92)和内水冷环(91)上均设有透水孔(10)。

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