靶材表面喷砂保护板装置的制作方法

本实用新型涉及靶材表面喷砂保护技术领域，尤其是一种靶材表面喷砂保护板装置。

背景技术：

在靶材使用过程中，靶材表面喷砂区域能够吸附磁控溅射时产生的微小颗粒物，对薄膜质量起着重要的作用。在靶材生产过程中，对靶材表面喷砂区域进行喷砂作业时，必须对靶材非喷砂区域进行遮掩。行业内，一般都是使用喷砂保护膜对靶材非喷砂区域进行遮掩，喷砂作业时，喷砂保护膜在高速磨料撞击下，喷砂交界处会残留大量胶水，极难去除，严重影响靶材表面质量。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术中之不足，提供一种靶材表面喷砂保护板装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种靶材表面喷砂保护板装置，包括操作台，操作台上表面从下往上依次防止有靶材和刚性模板，所述操作台边缘处安装有多个将靶材和刚性模板夹持在操作台上的夹具。

进一步地，所述的靶材和刚性模板之间设有橡胶模板。设有橡胶模板，使得靶材、橡胶模板和刚性模板三者之间贴合紧密，避免喷砂过程中，磨料钻进非喷砂区域。

进一步地，所述的夹具为c型夹具。

进一步地，所述的刚性模板、橡胶模板、靶材和操作台同轴设置。

本实用新型的有益效果是：本实用新型装置简单，使用方便，易实现，成本低，通过本实用新型可以避免胶水残留，保证靶材表面质量，减小工作强度，提高了工作效率。

附图说明

下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1的俯视图；

图3是图1的侧视图。

图中1.c型夹具，2.刚性模板，3.橡胶模板，4.靶材，5.操作台。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1-3所示的靶材表面喷砂保护板装置，包括操作台5，操作台5上表面从下往上依次防止有靶材4和刚性模板2，操作台5边缘处安装有多个将靶材4和刚性模板2夹持在操作台5上的c型夹具1；靶材4和刚性模板2之间设有橡胶模板3，刚性模板2、橡胶模板3、靶材4和操作台5同轴设置。

工作过程如下：在操作台5上表面从下往上依次同轴放置有靶材4、橡胶模板3和刚性模板2，然后采用c型夹具1将上述部件夹紧。

这种靶材表面喷砂保护板装置装置简单，使用方便，易实现，成本低，通过本实用新型可以避免胶水残留，保证靶材4表面质量，减小工作强度，提高了工作效率。

上述实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。