一种镀膜飞行平衡装置以及镀膜系统的制作方法

文档序号:14980218发布日期:2018-07-20 19:58阅读:121来源:国知局

本实用新型涉及镀膜技术领域,尤其是涉及一种镀膜飞行平衡装置以及镀膜系统。



背景技术:

随着光通讯行业的快速发展,光纤产品应用越来越广泛,对光学镀膜产品的需求逐年增加。市场对光学镀膜产品的质量要求越来越高。当前市场上的光学镀膜产品中的高端滤光片工艺控制过程复杂,制造设备很难大批量生产出合格的滤光片,造成生产合格率低、成本高等诸多问题。

光学滤光片镀膜机目前普遍使用的面接触式锁紧装置固定玻璃基片。通过螺母将玻璃基片固定在高速旋转电机主轴上,当高速电机旋转时,锁紧在电机主轴上的玻璃基片随之一起旋转。由于电机主轴和玻璃基片属于面接触,两个接触平面在机械加工时存在不平整和不平行,同时两种材料(玻璃和金属)热膨胀系数不同等因素,电机主轴带动基片旋转和加热过程中玻璃基片将出现摆动,这种摆动会随旋转速度增加而增加(因为电机转速越快玻璃基片的角速度越快),摆动越靠近基片边缘越为明显。这种旋转带来的摆动会影响镀膜的光控信号稳定性(因为监控薄膜厚度的光信号是透过玻璃基片后到射光探测器探头),摆动会使监控系统做出误判,影响膜层的精确度。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型的总体背景技术的理解,而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种镀膜飞行平衡装置以及镀膜系统,以解决现有技术中玻璃基片在高速旋转时产生的摆动对镀膜信号稳定性带来的影响,使镀膜过程控制更为精确和稳定,提高了镀膜合格率,降低了产品成本。

为了实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:

第一方面,本实用新型提供一种镀膜飞行平衡装置,其包括:连接器、上保持器、球轴套、轴承球、下保持器和紧固件;

所述连接器用于连接电机主轴;

所述上保持器与所述连接器连接;

所述球轴套设置于所述上保持器与所述下保持器之间,所述球轴套用于与基片通孔内壁面接触;

所述轴承球设置于所述球轴套与所述下保持器之间;

所述紧固件依次穿装于所述下保持器、所述轴承球、球轴套、上保持器后与连接器连接。

作为一种进一步的技术方案,所述连接器沿其轴向设置有中空内孔结构;所述连接器的上端设置有用于与电机主轴连接的第一安装部;所述连接器的下端设置有用于与紧固件连接的第二安装部。

作为一种进一步的技术方案,所述第二安装部为阶梯孔。

作为一种进一步的技术方案,所述上保持器沿其轴向设置有中空内孔结构;所述上保持器的上端设置有第一连接头,所述第一连接头能够插入至所述第二安装部;所述上保持器的下端设置有第二连接头,所述第二连接头能够插入至所述球轴套的上端。

作为一种进一步的技术方案,所述球轴套沿其轴向设置有中空内孔结构;所述球轴套靠近其中空内孔结构的上端设置有斜面结构。

作为一种进一步的技术方案,所述球轴套的下端外周面设置有凸环结构。

作为一种进一步的技术方案,所述轴承球沿其径向设置有通孔。

作为一种进一步的技术方案,所述下保持器沿其轴向设置有中空内孔结构;所述下保持器靠近其中空内孔结构的上端设置有弧面结构。

作为一种进一步的技术方案,所述下保持器的下端外周面设置有环形凹槽结构。

第二方面,本实用新型提供一种镀膜系统,其包括所述的镀膜飞行平衡装置。该镀膜系统包括:连接器、上保持器、球轴套、轴承球、下保持器和紧固件;

所述连接器用于连接电机主轴;

所述上保持器与所述连接器连接;

所述球轴套设置于所述上保持器与所述下保持器之间,所述球轴套用于与基片通孔内壁面接触;

所述轴承球设置于所述球轴套与所述下保持器之间;

所述紧固件依次穿装于所述下保持器、所述轴承球、球轴套、上保持器后与连接器连接。

采用上述技术方案,本实用新型具有如下有益效果:

1)、本实用新型镀膜飞行平衡装置大幅降低了玻璃基片离心力摆动幅度,能够减小到5毫米。

2)、本实用新型镀膜飞行平衡装置有效的将玻璃基片与电机主轴隔离。

3)、本实用新型镀膜飞行平衡装置设计合理,不会提升任何热或磁方位的非均匀性。

4)、本实用新型镀膜飞行平衡装置有效的保证玻璃基片的受热均匀性。

5)、本实用新型镀膜飞行平衡装置有效的提高了膜层均匀性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的镀膜飞行平衡装置的分体示意图;

图2为图1所示的连接器的剖视图;

图3为图1所示的上保持器的剖视图;

图4为图1所示的球轴套的剖视图;

图5为图1所示的轴承球的剖视图;

图6为图1所示的下保持器的剖视图。

图标:1-连接器;2-螺母;3-上保持器;4-球轴套;5-轴承球;6-下保持器;7-紧固件。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限制本实用新型。

实施例一

结合图1至图6所示,本实施例提供一种镀膜飞行平衡装置,其包括:连接器1、上保持器3、球轴套4、轴承球5、下保持器6和紧固件7;

所述连接器1用于连接电机主轴;

所述上保持器3与所述连接器1连接;

所述球轴套4设置于所述上保持器3与所述下保持器6之间,所述球轴套4用于与基片通孔内壁面接触;

所述轴承球5设置于所述球轴套4与所述下保持器6之间;

所述紧固件7依次穿装于所述下保持器6、所述轴承球5、球轴套4、上保持器3后与连接器1连接。优选的,该紧固件7可以采用螺母2和螺栓。

值得说明的是,该镀膜飞行平衡装置可以采用耐磨的高分子材料制成,当然,根据实际需要也可选择其他材质,此处不做限制。

可见,本实施例镀膜飞行平衡装置采用的是一种非固定式线接触安装装置,它将玻璃基片与电机主轴连在一起,这种连接并没有把玻璃基片完全锁定在电机主轴上。在不旋转时,基片和电机可以分开自由旋转,互不影响。旋转时这个装置会使玻璃基片随电机主轴一起旋转,并且转速越快基片越平稳、摆动越小。玻璃基片转速越快摆幅越小,监控厚度的光信号就越稳定(信号越稳定,薄膜厚度控制越准确),膜层的均匀性也会越好,最终镀出的产品产出率就越高。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述连接器1沿其轴向设置有中空内孔结构(用于供所述紧固件7穿过);所述连接器1的上端设置有用于与电机主轴连接的第一安装部(电机主轴可插入至第一安装部中);所述连接器1的下端设置有用于与紧固件7连接的第二安装部(紧固件7的末端可插入至第二安装部)。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述第二安装部为阶梯孔(即,同轴设置的第一内孔和第二内孔,第一内孔的直径大于第二内孔的直径)。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述上保持器3沿其轴向设置有中空内孔结构(用于供所述紧固件7穿过);所述上保持器3的上端设置有第一连接头,所述第一连接头能够插入至所述第二安装部(上保持器3的上端与连接器1相连的部位相互适配);所述上保持器3的下端设置有第二连接头,所述第二连接头能够插入至所述球轴套4的上端(上保持器3的下端与球轴套4相连的部位相互适配)。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述球轴套4沿其轴向设置有中空内孔结构(用于供所述紧固件7穿过);所述球轴套4靠近其中空内孔结构的上端设置有斜面结构,用于放置轴承球5。

具体的,所述球轴套4靠近其中空内孔结构的上端设置用于轴承球5接触的容纳空间,该容纳空间的截面为等腰梯形(斜面结构)。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述球轴套4的下端外周面设置有凸环结构,以便能够与所述下保持器6外周面的环形凹槽结构相互配合。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述轴承球5沿其径向设置有通孔(用于供所述紧固件7穿过)。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述下保持器6沿其轴向设置有中空内孔结构(用于供所述紧固件7穿过);所述下保持器6靠近其中空内孔结构的上端设置有弧面结构。

具体的,该下保持器6靠近其中空内孔结构的上端整体呈凸起状,可对应插入至球轴套4的下端。该下保持器6靠近其中空内孔结构的上端设置有用于轴承球5接触的容纳空间,该容纳空间截面为锥盘状(弧面结构)。当然,所述球轴套4的斜面结构与所述下保持器6的弧面结构之间共同构成用于安转轴承球5的空间。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述下保持器6的下端外周面设置有环形凹槽结构,以便能够与球轴套4下端外周面的凸环结构相互配合。

综上,采用上述技术方案,本实用新型具有如下有益效果:

1)、本实用新型镀膜飞行平衡装置大幅降低了玻璃基片离心力摆动幅度,能够减小到5毫米。

2)、本实用新型镀膜飞行平衡装置有效的将玻璃基片与电机主轴隔离。

3)、本实用新型镀膜飞行平衡装置设计合理,不会提升任何热或磁方位的非均匀性。

4)、本实用新型镀膜飞行平衡装置有效的保证玻璃基片的受热均匀性。

5)、本实用新型镀膜飞行平衡装置有效的提高了膜层均匀性。

实施例二

本实施例二在上述实施例一的基础之上,其还提供镀膜系统。

该镀膜系统包括上述实施例一中所述的镀膜飞行平衡装置。当然,该镀膜系统还包括其他与镀膜飞行平衡装置配合使用的镀膜机等等。

具体的,结合图1至图6所示,本实施例提供一种镀膜飞行平衡装置,其包括:连接器1、上保持器3、球轴套4、轴承球5、下保持器6和紧固件7;

所述连接器1用于连接电机主轴;

所述上保持器3与所述连接器1连接;

所述球轴套4设置于所述上保持器3与所述下保持器6之间,所述球轴套4用于与基片通孔内壁面接触;

所述轴承球5设置于所述球轴套4与所述下保持器6之间;

所述紧固件7依次穿装于所述下保持器6、所述轴承球5、球轴套4、上保持器3后与连接器1连接。

可见,本实施例镀膜飞行平衡装置采用的是一种非固定式线接触安装装置,它将玻璃基片与电机主轴连在一起,这种连接并没有把玻璃基片完全锁定在电机主轴上。在不旋转时,基片和电机可以分开自由旋转,互不影响。旋转时这个装置会使玻璃基片随电机主轴一起旋转,并且转速越快基片越平稳、摆动越小。玻璃基片转速越快摆幅越小,监控厚度的光信号就越稳定(信号越稳定,薄膜厚度控制越准确),膜层的均匀性也会越好,最终镀出的产品产出率就越高。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述连接器1沿其轴向设置有中空内孔结构(用于供所述紧固件7穿过);所述连接器1的上端设置有用于与电机主轴连接的第一安装部(电机主轴可插入至第一安装部中);所述连接器1的下端设置有用于与紧固件7连接的第二安装部(紧固件7的末端可插入至第二安装部)。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述第二安装部为阶梯孔(即,同轴设置的第一内孔和第二内孔,第一内孔的直径大于第二内孔的直径)。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述上保持器3沿其轴向设置有中空内孔结构(用于供所述紧固件7穿过);所述上保持器3的上端设置有第一连接头,所述第一连接头能够插入至所述第二安装部(上保持器3的上端与连接器1相连的部位相互适配);所述上保持器3的下端设置有第二连接头,所述第二连接头能够插入至所述球轴套4的上端(上保持器3的下端与球轴套4相连的部位相互适配)。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述球轴套4沿其轴向设置有中空内孔结构(用于供所述紧固件7穿过);所述球轴套4靠近其中空内孔结构的上端设置有斜面结构,用于放置轴承球5。

具体的,所述球轴套4靠近其中空内孔结构的上端设置用于轴承球5接触的容纳空间,该容纳空间的截面为等腰梯形(斜面结构)。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述球轴套4的下端外周面设置有凸环结构,以便能够与所述下保持器6外周面的环形凹槽结构相互配合。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述轴承球5沿其径向设置有通孔(用于供所述紧固件7穿过)。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述下保持器6沿其轴向设置有中空内孔结构(用于供所述紧固件7穿过);所述下保持器6靠近其中空内孔结构的上端设置有弧面结构。

具体的,该下保持器6靠近其中空内孔结构的上端整体呈凸起状,可对应插入至球轴套4的下端。该下保持器6靠近其中空内孔结构的上端设置有用于轴承球5接触的容纳空间,该容纳空间截面为锥盘状(弧面结构)。当然,所述球轴套4的斜面结构与所述下保持器6的弧面结构之间共同构成用于安转轴承球5的空间。

本实施例中,作为一种进一步的技术方案,所述下保持器6的下端外周面设置有环形凹槽结构,以便能够与球轴套4下端外周面的凸环结构相互配合。

综上,采用上述技术方案,本实用新型具有如下有益效果:

1)、本实用新型镀膜飞行平衡装置大幅降低了玻璃基片离心力摆动幅度,能够减小到5毫米。

2)、本实用新型镀膜飞行平衡装置有效的将玻璃基片与电机主轴隔离。

3)、本实用新型镀膜飞行平衡装置设计合理,不会提升任何热或磁方位的非均匀性。

4)、本实用新型镀膜飞行平衡装置有效的保证玻璃基片的受热均匀性。

5)、本实用新型镀膜飞行平衡装置有效的提高了膜层均匀性。最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1