用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置的制作方法

技术总结
本申请公开了一种用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置，包括设置在壳体内的坩埚、电热丝和热电偶，其特征在于：所述的热电偶设置在坩埚的底部，所述的坩埚上环形设置有第二孔，所述的电热丝通过第二孔绕在坩埚上，本申请具有以下特点:温度测量准确，使用寿命长，装置的集成度高。

技术研发人员：金炯;杨林;姜琼
受保护的技术使用者：杭州赛威斯真空技术有限公司
技术研发日：2018.04.02
技术公布日：2018.12.07