用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置的制作方法

本实用新型涉及一种用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置，主要用于有机物发光材料、有机光伏材料和有机场效应管材料的蒸发镀膜设备的关机装置。

背景技术：

蒸发源装置在承载有机物进行蒸发镀膜时，需要对蒸发源装置进行测温，实时监控温度，而目前的蒸发源装置，热电偶只测取了蒸发源装置周围的温度，存在一定的误差，具有一定的局限性，并且目前大多数电热丝采用铁铬铝丝或者镍镉丝，容易断裂，使用寿命短。

技术实现要素：

本实用新型解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足，而提供一种温度测量准确，使用寿命长，集成度高的用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置。

本申请解决上述技术问题所采用的技术方案包括：一种用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置，包括设置在壳体内的坩埚、电热丝和热电偶，其特征在于：所述的热电偶设置在坩埚的底部，所述的坩埚上环形设置有第二孔，所述的电热丝通过第二孔绕在坩埚上。

优选的，还设置有挡板、第一杆、第二杆和旋转电机，所述的热电偶和电热丝设置在第二杆内，所述的第一杆的上面设置有挡板，所述的第一杆的下面设置有旋转电机。

优选的，还设置有集成法兰，所述的第一杆和第二杆设置在集成法兰上。

优选的，所述的电热丝采用钽丝，所述的坩埚采用氮化硼。

本申请具有以下特点: 温度测量准确，使用寿命长，装置的集成度高。

附图说明

图1是本申请实施例的主视图。

图2是本申请实施例的图1的A-A剖视图。

图3是本申请实施例的图2的X的局部放大图。

图4是本申请实施例的坩埚的俯视图。

图中：11热电偶，12坩埚，13第一孔，14壳体，15第二孔，16电热丝，17热电偶，2集成法兰，31挡板，32第一杆，4旋转电机，5第二杆。

具体实施方式

下面结合附图并通过实施例对本申请作进一步的详细说明，以下实施例是对本申请的解释而本申请并不局限于以下实施例。

如图1至图3所示，一种用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置包括设置在壳体14内的坩埚12、电热丝16和热电偶11，热电偶11设置在坩埚12的底部，热电偶11与坩埚12直接接触.使温度的测量更加准确，电热丝16设置在坩埚12上，热电偶11和电热丝16设置在第二杆5内，第二杆5设置在集成法兰2上，坩埚12采用氮化硼材料，导热性能很好，事先可均匀加热，电热丝16采用钽丝，可承受高温，不容易断裂，延长使用寿命。

还设置有挡板31、第一杆32和旋转电机4，第一杆32设置在集成法兰2上,第一杆32的上面设置有挡板31，第一杆32的下面设置有旋转电机4，在刚刚开始蒸发镀膜时，存在杂质，挡板31在旋转电机4的作用下可绕第一杆32进行180度旋转将挡板31盖住蒸发源装置，待杂质溅射完毕时，将挡板31再进行180度旋转，使之正常蒸发镀膜。

参见图4，坩埚12的中间设置有第一孔13，多个第二孔15环形设置在坩埚12上，电热丝通过多个第二孔15绕在坩埚12上，使加热的温度均匀性好。

本申请中有关上面、下面等位置关系的说明都是依据实施例的附图来描述的。

本说明书中所描述的以上内容仅仅是对本申请所作的举例说明；而且，本申请零部件所取的名称也可以不同，凡依本申请专利构思所述的构造、特征及原理所做的等效或简单变化，均包括于本申请的保护范围内。