真空镀膜机冷却结构的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜机冷却结构领域，尤其涉及真空镀膜机冷却结构。

背景技术：

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种；由于目前镀膜机内的冷却结构比较单一，冷却效果不佳，导致镀膜机内的部件使用寿命较短。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供冷却效果好的真空镀膜机冷却结构。

本实用新型的技术方案如下：

真空镀膜机冷却结构，包括侧门本体，该侧门本体正面上设有弯曲盘旋状的盘管，该盘管的两个端部均位于侧门本体底部；所述侧门本体正面中央上分别设有第一观察镜组和第二观察镜组，第一观察镜组包括从上到下依次设有的三个第一观察镜，第二观察镜组包括从上到下依次设有的两个第二观察镜；所述侧门本体背面设有冷却盘管，该冷却盘管由若干横管、若干第一圆弧管和若干第二圆弧管组成；所述第一圆弧管位于第一观察镜组外，第二圆弧管位于第二观察镜组外；所述第一圆弧管与第二圆弧管相对的端部由横管连接，且位于最顶端和最底端的第二圆弧管外侧端均连接有横管。

所述侧门本体背面的四个侧边上均设有支撑条，上、下侧的支撑条上均开设有第一通孔，左、右侧的支撑条上均开设有第二通孔；所述上、下侧支撑条上的第一通孔一一对应，左、右侧支撑条上第二通孔一一对应。通过上、下侧支撑条上的第一通孔一一对应，以便于形成风压，加速空气流动；通过左、右侧支撑条上第二通孔一一对应，以便于形成风压，加速空气流动，加快降温。

所述第一延伸部正面开设有第一接头，第二延伸部正面开设有第二接头。通过设置第一、第二接头以便于通入冷却水。

所述盘管头端朝向内侧的盘管延伸形成第一延伸部，盘管尾端朝向内侧的盘管延伸形成第二延伸部。通过设置第一、第二延伸部，使得盘管形状更美观。

本实用新型的有益效果是：通过设置观察镜组以便于对镀膜机内部进行观察；通过设置盘管，使用时在盘管内通入冷却水，以降低温度；由于在侧门本体背面也设冷却盘管，与正面的盘管配合使用，能够大大降低侧门本体的温度。

附图说明

通过下面结合附图的详细描述，本实用新型前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。

其中：图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型背面结构示意图；

附图中，1为侧面本体，2为盘管，3为第一观察镜，4为第二观察镜，5为横管，6为第一圆弧管，7为第二圆弧管，8为支撑条，12为第一接头，13为第二接头，14为第一延伸部，15为第二延伸部。

具体实施方式

参见图1所示，真空镀膜机冷却结构，包括侧门本体1，该侧门本体正面上设有弯曲盘旋状的盘管2，该盘管的两个端部均位于侧门本体底部；所述侧门本体正面中央上分别设有第一观察镜组和第二观察镜组，第一观察镜组包括从上到下依次设有的三个第一观察镜3，第二观察镜组包括从上到下依次设有的两个第二观察镜4；所述侧门本体背面设有冷却盘管，该冷却盘管由若干横管5、若干第一圆弧管6和若干第二圆弧管7组成；所述第一圆弧管位于第一观察镜组外，第二圆弧管位于第二观察镜组外；所述第一圆弧管与第二圆弧管相对的端部由横管连接，且位于最顶端和最底端的第二圆弧管外侧端均连接有横管。通过设置观察镜组以便于对镀膜机内部进行观察；通过设置盘管，使用时在盘管内通入冷却水，以降低温度；由于在侧门本体背面也设冷却盘管，与正面的盘管配合使用，能够大大降低侧门本体的温度。

所述侧门本体背面的四个侧边上均设有支撑条8，上、下侧的支撑条上均开设有第一通孔，左、右侧的支撑条上均开设有第二通孔；所述上、下侧支撑条上的第一通孔一一对应，左、右侧支撑条上第二通孔一一对应。通过上、下侧支撑条上的第一通孔一一对应，以便于形成风压，加速空气流动；通过左、右侧支撑条上第二通孔一一对应，以便于形成风压，加速空气流动，加快降温。

所述第一延伸部正面开设有第一接头12，第二延伸部正面开设有第二接头13。通过设置第一、第二接头以便于通入冷却水。

所述盘管头端朝向内侧的盘管延伸形成第一延伸部14，盘管尾端朝向内侧的盘管延伸形成第二延伸部15。通过设置第一、第二延伸部，使得盘管形状更美观。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型做任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质上对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化，均落入本实用新型的保护范围之内。