一种真空镀膜机腔体冷却装置的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机腔体冷却装置。

背景技术：

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要及时有效的进行冷却，以确保其正常工作，目前常见的冷却装置为在真空镀膜机腔体外侧表面焊接圆管，在圆管内通冷却水来冷却，这种结构，冷却水不与真空镀膜机腔体直接接触，冷却速度慢，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏。

基于此，本实用新型设计了一种真空镀膜机腔体冷却装置，以解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机腔体冷却装置，以解决上述背景技术中提出的常见的冷却装置为在真空镀膜机腔体外侧表面焊接圆管，在圆管内通冷却水来冷却，这种结构，冷却水不与真空镀膜机腔体直接接触，冷却速度慢，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜机腔体冷却装置，包括真空镀膜机、镀膜机闭合门、底座和冷却腔，所述真空镀膜机的侧壁均匀向内安装有冷却筒，所述冷却筒内设置有空腔与冷却腔连通，所述真空镀膜机的侧壁固定设置有两组滑动槽，所述滑动槽内活动连接有隔热板，所述隔热板的顶部固定设置有拉动环，所述冷却腔的底壁设置有两组滑动限位板，两组所述滑动限位板之间活动配合有滑动支撑座，所述滑动支撑座的顶部固定设置有冷却箱，所述冷却箱的顶部固定设置有进液口，所述进液口的顶部设置有顶盖，所述冷却箱的侧壁固定设置有冷却棒，所述冷却棒内腔与冷却箱连通。

优选的，所述顶盖通过螺纹与进液口螺纹连接。

优选的，所述顶盖的侧壁均匀设置有防滑齿。

优选的，所述冷却筒、冷却棒由导热绝缘的石墨烯材料构成。

优选的，所述隔热板由陶瓷纤维铸造而成。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过在真空镀膜机的内壁上向内设置有冷却筒，通过隔热板的设置，起到隔热的作用，在正常温度下，通过将隔热板放置在滑动槽内，起到隔热的作用，当温度过高，通过外部带动拉动环，带动隔热板上升，推动滑动支撑座在滑动限位板内滑动，将冷却棒插入冷却筒内，通过打开顶盖，向冷却箱内倒入冷却液，通过防滑齿的设置，起到防滑的作用，冷却液在冷却棒内吸收内腔传递到冷却筒内腔上的热量，通过冷却筒和冷却棒石墨烯材料的设置，增加导热效果，吸收热量后的冷却液可以在冷却箱内流动，增强冷却效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型主视角结构示意图；

图2为本实用新型第一剖视结构示意图；

图3为本实用新型第二剖视结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-真空镀膜机，2-镀膜机闭合门，3-底座，4-冷却腔，5-冷却筒，6-滑动槽，7-隔热板，8-拉动环，9-滑动限位板，10-滑动支撑座，11-冷却箱，12-进液口，13-顶盖，14-冷却棒。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种真空镀膜机腔体冷却装置，包括真空镀膜机1、镀膜机闭合门2、底座3和冷却腔4，真空镀膜机1的侧壁均匀向内安装有冷却筒5，冷却筒5内设置有空腔与冷却腔4连通，真空镀膜机1的侧壁固定设置有两组滑动槽6，滑动槽6内活动连接有隔热板7，隔热板7的顶部固定设置有拉动环8，冷却腔4的底壁设置有两组滑动限位板9，两组滑动限位板9之间活动配合有滑动支撑座10，滑动支撑座10的顶部固定设置有冷却箱11，冷却箱11的顶部固定设置有进液口12，进液口12的顶部设置有顶盖13，冷却箱11的侧壁固定设置有冷却棒14，冷却棒14内腔与冷却箱11连通。

其中，顶盖13通过螺纹与进液口12螺纹连接，顶盖13的侧壁均匀设置有防滑齿，冷却筒5、冷却棒14由导热绝缘的石墨烯材料构成，隔热板7由陶瓷纤维铸造而成。

本实施例的一个具体应用为：本实用新型通过在真空镀膜机1的内壁上向内设置有冷却筒5，通过隔热板7的设置，起到隔热的作用，在正常温度下，通过将隔热板7放置在滑动槽6内，起到隔热的作用，当温度过高，通过外部带动拉动环8，带动隔热板7上升，推动滑动支撑座10在滑动限位板9内滑动，将冷却棒14插入冷却筒5内，通过打开顶盖13，向冷却箱11内倒入冷却液，通过防滑齿的设置，起到防滑的作用，冷却液在冷却棒14内吸收1内腔传递到冷却筒5内腔上的热量，通过冷却筒5和冷却棒14石墨烯材料的设置，增加导热效果，吸收热量后的冷却液可以在冷却箱11内流动，增强冷却效果。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。