用于有机物蒸发镀膜机的有机物束源炉的制作方法

文档序号:16183991发布日期:2018-12-07 23:11阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于有机物蒸发镀膜机的有机物束源炉,包括蒸发源、第二杆、连接件和集成法兰,所述的蒸发源连接所述的第二杆,第二杆穿过所述的连接件固定安装在所述的集成法兰上,其特征在于:还设置有升降装置,所述的升降装置包括旋钮、螺杆、导柱和螺母,所述的螺杆与所述的螺母固定连接,螺母固定安装在所述的集成法兰上,所述的螺杆设置在所述的导柱内部,在所述的连接件上还固定设置有刻度标尺。

2.根据权利要求1所述的用于有机物蒸发镀膜机的有机物束源炉,其特征在于:还设置挡板、第一杆和旋转电机,所述的挡板连接第一杆,所述的第一杆连接所述的旋转电机,第一杆固定安装在所述的集成法兰上。

3.根据权利要求1所述的用于有机物蒸发镀膜机的有机物束源炉,其特征在于:还设置有波纹管,所述的波纹管设置在所述的连接件和所述的集成法兰之间。

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