用于有机物蒸发镀膜机的有机物束源炉的制作方法

本实用新型涉及一种用于有机物蒸发镀膜机的有机物束源炉，主要用于有机物发光材料、有机光伏材料和有机场效应管材料的蒸发镀膜设备的关机装置。

背景技术：

在蒸发镀膜的过程中，蒸发源的位置与被蒸物基片的距离有一定要求，两者的距离太远或者太近，镀膜的效果都不佳，目前大多数有机物蒸发束源炉无法调节高度，或者调节高度的方法很麻烦，或者无法显示目前升降距离。

技术实现要素：

本实用新型解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足，而提供一种蒸发源可升降并可实时观察升降距离的用于有机物蒸发镀膜机的有机物束源炉。

本申请解决上述技术问题所采用的技术方案包括：一种用于有机物蒸发镀膜机的有机物束源炉，包括蒸发源、第二杆、连接件和集成法兰，所述的蒸发源连接所述的第二杆，第二杆穿过所述的连接件固定安装在所述的集成法兰上，其特征在于：还设置有升降装置，所述的升降装置包括旋钮、螺杆、导柱和螺母，所述的螺杆与所述的螺母固定连接，螺母固定安装在所述的集成法兰上，所述的螺杆设置在所述的导柱内部，在所述的连接件上还固定设置有刻度标尺。

其优点是：还设置挡板、第一杆和旋转电机，所述的挡板连接第一杆，所述的第一杆连接所述的旋转电机，第一杆固定安装在所述的集成法兰上。

其优点是：还设置有波纹管，所述的波纹管设置在所述的连接件和所述的集成法兰之间。

本申请具有以下特点:蒸发源可升降，可以清晰地了解目前调节的高度，而且使用方便，易于操作，提高镀膜的质量。

附图说明

图1是本申请实施例的主视图。

图2是本申请实施例的图1的A-A剖视图。

图3是本申请实施例的图2的X的局部放大图。

图中：1蒸发源，21挡板，22第一杆，23第二杆，3连接件， 4集成法兰， 5刻度标尺，6升降装置，61旋钮，62螺杆，63导柱，64螺母，7波纹管，8旋转电机。

具体实施方式

下面结合附图并通过实施例对本申请作进一步的详细说明，以下实施例是对本申请的解释而本申请并不局限于以下实施例。

如图1至图3所示，一种用于有机物蒸发镀膜机的有机物束源炉包括蒸发源1、挡板21、第一杆22、第二杆23、连接件3、集成法兰4和旋转电机8，蒸发源1连接第二杆23，挡板21连接第一杆22，第一杆22连接旋转电机8，在刚刚开始蒸发镀膜时，存在杂质，挡板21在旋转电机8的作用下可绕第一杆22进行180度旋转将挡板21盖住蒸发源1，待杂质溅射完毕时，将挡板21再进行180度旋转，使之正常蒸发镀膜，第一杆22和第二杆23穿过连接件3固定安装在集成法兰4上。

还设置有升降装置6，升降装置6包括旋钮61、螺杆62、导柱63和螺母64，螺杆62与螺母64固定连接，螺母64固定安装在集成法兰4上，螺杆62设置在导柱63内部，通过转动旋钮61，使螺杆62在导柱63内上下运动，螺杆62又带动集成法兰4进行上下运动，使挡板21和蒸发源1同时进行上下运动，在连接件3上还固定设置有刻度标尺5，刻度标尺5的下部穿过集成法兰4，集成法兰4上设置有对应刻度标尺5的孔（图中未标出）。

还设置有波纹管7，波纹管7设置在连接件3和集成法兰4之间，波纹管7提供一个真空的环境，当集成法兰4上升时，波纹管7会进行相应的收缩动作。

本申请中有关上、下等位置关系的说明都是依据实施例的附图来描述的。

本说明书中所描述的以上内容仅仅是对本申请所作的举例说明；而且，本申请零部件所取的名称也可以不同，凡依本申请专利构思所述的构造、特征及原理所做的等效或简单变化，均包括于本申请的保护范围内。