1.一种用于单晶硅筒外周研磨的卡具,其特征在于,包括:
壳体,其为圆环筒状,所述壳体在一端具有端面,所述端面上沿径向开设多个滑槽;
中心轴,其设置在所述壳体开口的一端,并与所述壳体的内环同轴固定连接;
传动盘,其设置在所述壳体中,所述传动盘的中心通过轴承安装在所述中心轴上;所述传动盘靠近所述壳体开口的一端沿径向设有锥形齿,另一端沿周向设有螺纹齿;
多个卡爪,其底面设有所述螺纹齿相匹配的卡爪齿,所述卡爪穿过所述滑槽,并通过所述卡爪齿与所述螺纹齿啮合传动;
驱动盘,其中心通过轴承安装在所述中心轴上,并与所述传动盘相对设置;所述驱动盘在靠近所述传动盘的一端设有锥形齿;
多个锥齿轮,其设置在所述驱动盘与所述传动盘之间,并与所述驱动盘的锥型齿和所述传动盘的锥型齿分别啮合。
2.根据权利要求1所述的用于单晶硅筒外周研磨的卡具,其特征在于,所述锥齿轮的转轴一端通过轴承与所述中心轴连接,另一端通过轴承安装在所述壳体的外环上。
3.根据权利要求2所述的用于单晶硅筒外周研磨的卡具,其特征在于,所述驱动盘的外圆周上固定连接多个驱动柄。
4.根据权利要求3所述的用于单晶硅筒外周研磨的卡具,其特征在于,所述驱动柄为三个,并均匀设置在所述驱动盘的外圆周上。
5.根据权利要求4所述的用于单晶硅筒外周研磨的卡具,其特征在于,所述中心轴延伸至所述驱动盘的端面之外,并与滚磨机的主轴固定连接。
6.根据权利要求1或5所述的用于单晶硅筒外周研磨的卡具,其特征在于,所述卡爪的外侧固定设置缓冲块。
7.根据权利要求6所述的用于单晶硅筒外周研磨的卡具,其特征在于,所述卡爪为三个,相邻两个卡爪之间的夹角为120度。
8.根据权利要求7所述的用于单晶硅筒外周研磨的卡具,其特征在于,所述卡爪的底部设有与所述滑槽相匹配的滑块,所述卡爪齿设置在所述滑块的底面上。