专利名称：多弧型离子镀膜机的制作方法
技术领域：
本实用新型是在真空条件下进行镀制钛金的成膜技术，工具、模具、刀具表面上镀复超硬薄膜提高其性能，可代替黄金、白银在各种建筑五金、钟表首饰、工艺美术、钢木家具、卫生洁具、制笔、餐具等物品上镀制仿金膜，属于真空等离子体表面沉积技术。
目前，现有技术中的离子镀膜机为一种钟罩式，镀膜室取钟罩形，转动架和工件架装在镀膜室底座上，镀膜室底座内装真空系统，因此，这种钟罩式镀膜机的高度很大，工件装卸时需用升降机把镀膜室整个升起来才能进行工件的装、卸工作，给工作带来很大不便，且需要特殊设计的大型厂房，因而不宜制成大型机。
为了克服上述缺点，本实用新型的镀膜室采用筒式侧开门结构，顶上装有上盖，上盖上装有转动架和工件架，工件可根据需要直接开盖或开门进行装、卸，装、卸起来很方便，且真空排气系统与镀膜室
排相连，大大降低了镀膜机的高度，无需大型特殊厂房，可制成大型镀膜机。
这种多弧型离子镀膜机由镀膜室(1)、镀膜室底座(2)、转动架(3)、工件架(4)、蒸发离化源(5)、真空排气系统(6)组成，镀膜室(1)为筒式结构，镀膜式(1)的室壁(7)与镀膜室底(8)焊接，镀膜室(1)立于镀膜室底座(2)上，镀膜室底(8)上装有法兰盘(9)，加热器(10)焊在法兰盘(9)上且密封于镀膜室底(8)上，镀膜室(1)顶部有上盖(11)，上盖(11)上装有转动架(3)和工件架(4)，镀膜室(1)室壁(7)的侧面上开门(12)，镀膜室(1)四周均布装有数个蒸发离化源(5)，真空排气系统(6)与镀膜室(1)
排相连。镀膜室(1)四周均布装有的数个蒸发离化源(5)可按螺旋线(13)分布，这样得到更佳的镀膜效果。镀膜室(1)的门上还开有观察窗口(14)，上盖上装有电机(15)减速箱(16)，电机通过上盖上的密封轴(17)带动工件架来实现自公转，工件架与转动架靠卡口方式连结，装卸方便，转动架可随上盖一起吊出镀膜室外，架放在装载支架上，同时将另一上盖架到镀膜室上，以此实现连续作业。多弧型离子镀膜机带有操作板，操作板上装有总电源开关及机械泵(18)，扩散泵(19)，转动架、加热器、轰偏电源和蒸发离化源电源按钮。工作时，将工件装入镀膜室后，将镀膜室壁上的门或上盖关好，用密封条实现密封，启动电机带动工件转动正常后，再抽至高真空依次启动加热器电源，轰偏电源和蒸发离化源电源，开始进行镀膜。
附
图1、2、3为最佳实施例简图。
附
图1为多弧型离子镀膜机主视图。
附图2为多弧型离子镀膜机俯视图。
附图3为多弧型离子镀膜机侧视图。
图中主要结构为镀膜室(1)，镀膜室底座(2)、转动架(3)，工件架(4)，蒸发离化源(5)，真空排气系统(6)，室壁(7)，镀膜室底(8)，法兰盘(9)，加热器(10)，上盖(11)，门(12)，螺旋线(13)，观察窗口(14)，电机(15)，减速箱(16)，密封轴(17)，机械泵(18)，扩散泵(19)，吊环(20)，轰偏电源输入插头(21)，中真空规管(22)，高伐(23)，排气管道(24)，蒸发离化源安装孔(25)。
权利要求1.一种由镀膜室(1)、镀膜室底座(2)、转动架(3)、工件架(4)、蒸发离化源(5)、真空排气系统(6)组成的多弧型离子镀膜机，其特征在于镀膜室(1)为筒式结构，镀膜室(1)的室壁(7)与镀膜室底(8)焊接，镀膜室(1)立于镀膜室底座(2)上，镀膜室底(8)上装有法兰盘(9)，加热器(10)焊在法兰盘(9)上且密封于镀膜室底(8)上，镀膜室(1)顶部有上盖(11)，上盖(11)上装有转动架(3)和工件架(4)，镀膜室(1)室壁(7)的侧面上开门(12)，镀膜室(1)四周均布装有数个蒸发离化源(5)，真空排气系统(6)与镀膜室(1)并排相连。
2.按权利要求1所述的多弧型离子镀膜机，其特征在于镀膜室(1)四周均布装有的数个蒸发离化源(5)按螺旋线(13)分布。
专利摘要一种多弧型离子镀膜机，其镀膜室为筒式结构，室壁与镀膜室底焊接，镀膜室立于镀膜室底座上，镀膜室底上的法兰盘上装有加热器，镀膜室的顶部有带有转动架和工件架的上盖，室壁上开有门，蒸发离化源均布在室壁四周，真空排气系统与镀膜室并排相连。这种镀膜机的高度可大大降低，无需大型特殊厂房，还可制成大型镀膜机。
文档编号C23C14/32GK2043244SQ89200748
公开日1989年8月23日 申请日期1989年1月24日 优先权日1989年1月24日
发明者王殿儒 申请人:北京长城钛金技术联合开发公司