用于cvd反应器的基座的加热装置的制造方法_2

文档序号:8356163阅读:来源:国知局

[0020]中心加热装置16被在中间的加热装置15环绕,该加热装置15同样具有多个加热件,该加热件在共同的加热平面内在螺旋曲线上延伸。位于最外侧的加热件仅能在更远的加热面上延伸。
[0021]位于径向最外侧的加热装置14是环形并且具有在圆形曲线上延伸的加热件I。该加热件I是电气并联的。分别总共设置五个加热件,这些加热件分别在约三分之一的圆形弧线上延伸。加热件I的端部分别与彼此不同的接触板5、6相互连接。在接触板5、6上,力口热件I被通电。接触板5、6在彼此间隔的接触面KpK2中延伸。在图3和4中,接触件3、4被显示为接触销,其分别具有统一的长度。单个加热件1.1、1.2、1.3、1.4、1.5借助各个相同长度的接触件3、4与接触板5、6相连接。加热件1.1、1.2、1.3、1.4、1.5分别具有加热机构2.1,2.2,2.3,2.4,2.5,这些加热机构由未详细示出的螺旋弯曲的钨丝构成。在图1至4中,加热机构2.1至2.5仅通过简略图未示出螺旋走向的结构,而是显示为圆柱形结构。螺旋形状的钨丝在圆柱形结构中延伸。相互不同的加热件1.1至1.5的单个接触件3、4具有彼此不同的间距。因此,在加热机构2.1至2.5的不同的圆周位置上释放不同的电压。当相互不同的加热机构2.1至2.5的各个加热丝在加热时出现相对的热变形的情况下,由此可能会在此处流动局部的无功电流。因此,在触碰部位上可能会造成局部的过热。在触碰部位上可能构成电弧。
[0022]为了避免这种局部的温度峰值,本发明建议,各个加热机构2.1至2.5被设计为相同的。加热机构2.1、2.5尤其是相同长度的、螺旋成型的加热丝。它们在其长度上具有相同的电阻,使得在并联状态下通过它们流动相同的电流。还规定,在接触位置上安置的接触件3、4具有不同的长度。接触件的长度与加热件I的接触件3的间距有关。加热件的接触件3、4相互间距越远,则接触件3、4越长。所述接触件能是一种圆柱形的销,其横向于接触面1、K2或横向于加热面氏、H2、H3、H4延伸。
[0023]以下根据图5详细阐述本发明。图5示出两个接触板5、6,在该接触板上设置有不同的电位。在图5中,这些接触板配属于两个相互间隔的接触面K1和1(2。但还可行的是,接触板5、6位于共同的接触面K1中。在任何情况下,这些接触板5、6电流上相互分离。
[0024]图5示出一共四个加热件1.1、1.2、1.3、1.4。这些加热件分别在加热面氏、!12、!13、H4上延伸。加热面HpH2、H3、H4平行于两个接触面1、K2延伸。在加热面HpHyHyH4中,力口热件1.1至1.4的加热机构2.1,2.2,2.3,2.4分别在圆弧线上延伸,如图2至4所示。根据简化图所示,加热机构2.1至2.4仅在彼此不同的加热面故、H2, H3> H4上被示出。但是,彼此不同的加热件1.1至1.4的加热机构2.1至2.4也可以在同一个加热面中延伸。
[0025]加热机构2.1至2.4通过其端部部段7.1、7.2、7.3、7.4分别通过圆柱销形状的接触销3.1,3.2,3.3、3.4或4.1,4.2,4.3、4.4与两个接触板5、6之一电气连接。加热机构2.1至2.4的长度是相同的。该长度分别由在所属加热面氏、H2, H3> H4中延伸的相应加热机构
2.1至2.4的部段和两个端部部段7.1至7.4的长度所组成。端部部段7.1至7.4垂直于所属加热面氏、H2, H3> H4、沿着接触面1、K2的方向延伸。端部部段7.1至7.4的延伸方向与接触销3.1至3.4或4.1至4.4的延伸方向平齐。
[0026]第一加热件1.1的接触销3.1,4.1彼此间隔最远。该间距被标记为Ap所配属的接触销3.1,4.1比其余的加热件1.2至1.4的接触销3.2至3.4或4.2至4.4更长。第一加热件1.1的端部部段7.1相对于其它的端部部段更短。
[0027]相对具有更短间距A2至A4的接触件3.2至3.4或4.2至4.4具有比接触件3.1、
4.1更短的长度。最短的接触件3.4,4.4属于加热件2.4,该加热件2.4的横向于加热面H4延伸的端部部段7.4是最长的,并且其间距A4小于其余接触件3.1至3.3或4.1至4.3的间距 A1^ A2>A3o
[0028]加热件1.2至1.4的加热螺旋线圈2.2至2.4的端部部段7.2至7.4具有一个长度,该长度等于所配属的接触件3.2,3.3,3.4,4.2,4.3,4.4与具有最短端部部段7.1的加热件的相应接触件3.1,4.1的间距,加热件1.2至1.4的接触件3.2至3.4,4.2至4.4相互间具有比加热件1.1的接触件3.1,4.1更小的间距A2、A3> A4,加热件1.1的加热螺旋线圈2.1具有最短的端部部段7.1。至相应最外侧的接触件3.1,4.1的间距差确定了端部部段7.2至7.3的长度的尺寸,并且后者连同加热螺旋线圈2.1至2.4的高度确定了接触件
3.1至3.4或4.1至4.4的长度。
[0029]标记为9的加热丝支架由金属制成。加热丝支架9在相应的圆周位置上支承全部的四个加热件,在该圆周位置上在加热机构2.1至2.4上分别施加相同的电压,使得通过加热丝支架9不会流过无功电流。
[0030]在图5中依据简略图通过两条平行延伸的线示出加热机构2.1至2.4。在图6中以螺旋线形状延伸的加热丝8的形式示出加热机构2的第一优选设计方案。图6示出单一的、螺旋线形状弯曲的加热丝8。但是还规定,整体上螺旋线形状地设置两条或三条加热丝
8。图7示出具有双股螺旋线圈的相关的特别优选的设计方案。
[0031]加热机构2或加热丝8的每个单位长度的电阻比接触件3、4的每个单位长度的电阻大至少10倍。接触件3、4优选是具有足够大直径的圆柱销,使得在每个接触销3、4的轴向长度上仅施加微小的电压。由此,虽然接触销3、4的轴向长度不同,但是在接触销3、4的固定有加热机构2.1至2.4的端面上却设置有相同的电位。在加热机构2的空心的螺旋线圈中插入接触销3的直径变小的接触部段。
[0032]前述实施方式用于阐述由本申请中获得的本发明,其至少通过以下技术特征组合相应独立地改进现有技术,即:
[0033]一种设备,其特征在于,加热件1.1、1.2的加热机构2.1、2.2是等长的并且结构设计相同,第二加热件1.2的接触件3.2,4.2具有更小的间距A2并且比第一加热件1.1的接触件3.1、4.1更短。
[0034]—种设备,其特征在于,至少一个第三和/或第四加热件1.3、1.4具有由一条或多条加热丝构成的加热机构2.3,2.4,具有横向于一个或多个加热面HpHyHyH4延伸的接触件3.3,3.4,4.3,4.4的加热机构2.3,2.4的端部与位于一个或多个相互间且相对于加热面H1^H2,H3^H4平行的接触面KpK2中的接触板5、6相连接,其中,第三和/或第四加热件1.3、
1.4与第一和第二加热件1.1、1.2在接触板5、6之间电气并联,其中,第三和/或第四加热件1.3、1.4的加热机构2.3,2.4是等长的并且设计得与第一和第二加热件1.1、1.2的加热机构2.1、2.2 —样,其中,第三和/或第四加热件1.3、1.4的接触件3.3、3.4、4.3、4.4相互间具有更小的间距A3、A4并且比第二加热件1.2的接触件3.2,4.2更短。
[0035]一种设备,其特征在于,所有在接触板5、6之间电气并联的加热机构2.1、2.2、
2.3、2.4是等长的并且具有相同的设计,其中加热件1.2、1.3、1.4的加热机构2.2、2.3、2.4通过其端部部段7.2,7.3,7.4伸入配属于相应加热件的加热面故、H2, H3> H4和配属于相应接触件的接触面1^、1(2之间的间隙中,加热件1.2,1.3、1.4的接触件3.2,3.3,3.4,4.2,4.3、
4.4彼此间的间距比第一加热件1.1的接触件3.1,4.1的间距更小,在端部部段7.2,7.3、7.4 上连接着接触件 3.2,3.3
当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1