自平行于排列方向L，且呈现错位分布(staggeredarrangement)，因此相邻两列第二流道104于排列方向L上的节距Y可以为节距X的一半，即节距Y为2.5mm-3mm。第二流道104的流道宽度例如可以为0.5mm至1.8mm。更具体来说，定义出第二流道104的管状结构的内径例如可以为0.5mm至1.8mm，而外径例如可以为Imm至2.3mm。在多个第二流道104既个别的管径窄细且又致密排列的情形下，可藉由第一流道102中的第一流体提供有效率的热交换作用，使得第二流道104不容易因高温作用而变形以达到延长使用寿命的效果。
[0057]多孔板体100可以采用多种结构来实现，以下将提出数种实施方式来说明，但本发明不以此为限。凡是可以在多孔板体100中形成第一流道102与第二流道104的结构设计都可以作为本发明的实施方式。
[0058]图3为图2A与图2B的多孔板体的第一种实施方式的剖面示意图，其中图3表示的剖面对应图2A的剖线A-A。请同时参照图2A、图2B与图3，多孔板体100在本实施例中可以包括第一板面部110、环形壁120、多个隔片结构130、多个管状凸起140以及第二板面部150。第一板面部110具有相对的第一侧SI与第二侧S2，其中环形壁120、多个隔片结构130、多个管状凸起140都设置于第一板面部110的第二侧S2与第二板面部150之间。隔片结构130设置于环形壁120所围的面积之内以在第一板面部110与第二板面部150之间定义出第一流道102。同时，这些管状凸起140位于第一流道102之内。此外，第一板面部110上设置有多个贯孔112，贯孔112由第一侧SI贯穿至第二侧S2。同时，第二面板部150上也设置有多个贯孔152，贯孔152分别对应于贯孔112。各管状凸起140由第一板面部110的第二侧S2朝向第二板面部150凸伸并位于第一流道102中，且各管状凸起140连通于其中一个贯孔112与其中一个贯孔152以定义出这些第二流道104。
[0059]在此，第二流道104交错于第一流道102，但第二流道104的侧壁(即管状凸起140的管壁)为密封的，因此第一流道102与第二流道104互不连通。不过，第一流体流动于第一流道102时会接触各第二流道104的侧壁。也就是说，任两个管状凸起140之间都会存在有第一流体。因此，第一流体可以与管状凸起140进行有效率的热交换，而有助于降低多孔板体100发生高温变形的机率。
[0060]另外，以本实施例而言,第二流道104的入口端104A设置于第一板面部110,而出口端104B设置于第二板面部150。在实际应用于镀膜腔室时，入口端104A相对远离于镀膜腔室以接受来自于流体供应源的流体，而出口端104B相对接近于镀膜腔室以将制作工艺流体导入镀膜腔室。如此一来，出口端104B所受的高温作用较为显着，相对容易发生变形。所以，在本实施例中，第一流道102与第二流道104的入口端104A之间的距离Dl大于第一流道102与第二流道104的出口端104B之间的距离D2，以在出口端104B提供较佳的热交换效率。当然，距离Dl在其他实施例中也可以等于距离D2，或是小于距离D2。
[0061]由图3可知，第一板面部110、环形壁120、隔片结构130、管状凸起140与第二板面部150所构成的多孔板体100可以为一体成形而由相同材质制作的多板状体。在实际制造方法中，可以采用例如积层制造的方式来制作多孔板体100。不过，多孔板体100也可以是采用多个组件组合而成的方式来构成。举例而言，图4为图2A与图2B的多孔板体的第二种实施方式的剖面示意图，其中图4表示的剖面对应图2A的剖线A-A。请同时参照图2A、图2B与图4，多孔板体100在本实施方式中包括有第一板面部110、环形壁120、多个隔片结构130、多个管件240以及第二板面部150，其中第一板面部110、环形壁120、隔片结构130以及第二板面部150的结构设计相同于图3的实施方式，因此不另赘述。在本实施例中，第一板面部110、环形壁120、隔片结构130以及第二板面部150可以为一体成形的结构物，而管件240独立于第一板面部110、环形壁120、隔片结构130以及第二板面部150。同时，各个管件240插设于其中一个贯孔112与对应的一个贯孔152中以定义出第二流道104。为了避免第一流道102中的第一流体由管件240与贯孔112之间的缝隙或是由管件240与贯孔152之间的缝隙渗出，管件240可以藉由一接合媒介接合于第一板面部110与第二板面部150，其中接合媒介可以是焊料或是其他可以提供接合作用又可以耐受高温的材料。
[0062]图5为图2A与图2B的多孔板体的第三种实施方式的示意图，其中图5表示出多孔板体的局部部分的拆解图。请同时参照图2A、图2B与图5，多孔板体100在本实施例中可以由第一板面部110、环形壁120、多个隔片结构130、多个管件240以及第二板面部350，其中第一板面部110、环形壁120以及隔片结构130的结构设计相同于图3的实施方式并且管件240的结构设计相同于图4的实施方式，因此不另赘述。在本实施例中，第一板面部110、环形壁120以及隔片结构130为一体成形的结构，而第二板面部350独立于第一板面部110、环形壁120以及隔片结构130的整体结构。因此，环形壁120以及隔片结构130可以藉由一接合媒介连接第二板面部350，其中接合媒介可以是焊料或是其他可以提供接合作用又可以耐受高温的材料。
[0063]图6为图2A与图2B的多孔板体的第四种实施方式的示意图，其中图6表示出多孔板体的拆解图。请同时参照图2A、图2B与图6，多孔板体100在本实施例中可以由第一板面部410、环形壁120、多个隔片结构130、多个管件240以及第二板面部350，其中环形壁120、隔片结构130、管件240以及第二板面部350的结构设计与连接关系可以参照图5的实施方式，而不另赘述。在本实施例中，环形壁120与隔片结构130彼此连接为一体以构成一栅状结构420，而第一板面部410、第二面板部350与栅状结构420彼此独立。另外，第一板面部410可以通过接合媒介连接于栅状结构420的一侧而第二板面部350可以通过接合媒介连接于栅状结构420的另一侧，以形成第一流道102。当然，管件240也是通过接合媒介连接于第一板面部410与第二板面部350。
[0064]图2A与图2B的多孔板体100除了采用上述图3至图6的结构设计外，也可以将前述多种设计混合使用。举例而言，图5的第二板面部350可以应用于图3或图4的设计中以叠置于原有的第二板面部150外侧。或是，图6的第一板面部410可以应用于图3、图4或图5的设计中以叠置于原有的第一板面部110外侧。另外，图3中将管状凸起140设置为由第一板面部110第二侧S2朝向第二板面部150凸伸的设计可以应用于图5与图6的实施例，则图5与图6的实施例可以不需要使用管件240来定义出第二流道104。
[0065]上述实施例的多孔板体100中以隔片结构130所并定义出来的第一流道102仅具有单一流路P，但本发明不需以此为限。举例而言，图7A为本发明另一实施例的多孔板体的示意图，而图7B为图7A的多孔板体的拆解图。请参照与图7，多孔板体200具有第一流道202、多个第二流道204以及多个开口 206。第一流道202具有多个分段202A与202B，且这些第二流道204分别交错于这些分段202A与202B。分段202A与202B彼此独立使得分段202A与202B分别定义出流路P2与流路P3。流路P2与流路P3分别具有一入口端与一出口端，而开口 206则设置于这些流路P2与P3的入口端与出口端以与第一流道202连通。
[0066]在本实施例中，第一流道202是利用隔片结构530定义出来的，其中隔片结构530不同于前述实施例的隔片结构130之处在于:隔片结构530包括一第一隔片结构532与多个第二隔片结构534。第一隔片结构532的两端都连接于环形壁12