0以围出多个封闭区域Al与A2并将第一流道202划分为分段202A与202B，其中分段202A位于封闭区域Al而分段202B位于封闭区域A2中。另外，各个第二隔片结构534仅有一端连接于环形壁130而另一端设置为开放端以在对应的封闭区域Al或A2中而决定第一流体在对应的分段202A或202B中的流路P2或P3。本实施例的设计将第一流道202划分为两个分段202A与202B，则各分段202A或202B的流路长度相较于图2A的设计而言更短，这有助于提高第一流体的热交换效率。此时，第二流道204的分布密度可以更密且流道宽度可以更窄，仍不容易因为环境的高温而变形损坏。
[0067]图8A为本发明又一实施例的多孔板体的示意图，而图8B为图8A的多孔板体的拆解图。请参照与图8，多孔板体300具有第一流道302、多个第二流道304以及多个开口 306。第一流道302具有多个分段302A、302B、302C与302D，且这些第二流道304分别贯穿这些分段 302A、302B、302C 与 302D。分段 302A、302B、302C 与 302D 彼此独立使得分段 302A、302B、302C与302D分别定义出流路P4、流路P5、流路P6与流路P7。流路P4、流路P5、流路P6与流路P7分别具有一入口端与一出口端，而开口 306则分别设置于这些流路P4?P7的入口端与出口端以与第一流道302连通。
[0068]在本实施例中，第一流道302是利用隔片结构630定义出来的，其中隔片结构630不同于前述实施例的隔片结构130与530之处在于:隔片结构630包括多个第一隔片结构632与多个第二隔片结构634。第一隔片结构632于环形壁130内围出多个封闭区域而将第一流道302划分为多个分段302A、302B、302C与302D。另外，分段302A、302B、302C与302D各自位于一个封闭区域中，其中各第二隔片结构634仅有一端连接于环形壁130而另一端设置为开放端以在对应的封闭区域中决定出第一流体在对应的分段302A、302B、302C与302D中的流路P4?P7。本实施例的设计将第一流道302划分为四个分段302A、302B、302C与302D，则各分段302A、302B、302C与302D的流路长度相较于图2A的设计而言更短，这有助于提高第一流体的热交换效率。因此，多孔板体300的第二流道304可以设置的更密更窄。
[0069]图9为本发明一实施例的多孔板体中设置有内管件的示意图。请参照图9，本实施例是在图2A、2B的多孔板体100中设置多个内管件16以定义出第三流道108。内管件16分别设置于第二流道104中，且各内管件16与对应的其中一个第二流道104平行以供一第三流体流通。也就是说，第三流道108是包覆于第二流道104中，例如第三流道108的管壁与第二流道104的管壁形成两个同圆心的环状结构。此时，第三流道108的管壁与第二流道104的管壁之间即提供第二流体流通。。如此一来，第三流道108与第二流道104可以让不同流体流通而符合不同的应用需求。
[0070]综上所述，本发明实施例的喷洒头装置将第二流道交错于第一流道使得第一流道中的第一流体接触第二流道的侧壁。同时，本发明实施例的喷洒头装置不使第一流体与第二流体彼此连通。如此一来，第一流体的流动可以有效冷却第二流道的侧壁以降低温度对喷洒头装置的不良影响，例如热变形。在部分实施例中，喷洒头装置中定义出第一流道与第二流道的多孔板体可以整体为一体成形或是有部分构件为一体成形，这有助于避免因为构件连接处的连接不良导致第一流道与第二流道之间的连通。
【主权项】
1.一种喷洒头装置，其特征在于，该喷洒头装置包括: 多孔板体，具有第一流道以及多个第二流道，该第一流道沿着该多孔板体蜿蜒分布以供第一流体流通，该些第二流道分别贯穿该多孔板体并且交错于该第一流道中以供第二流体流通，其中该第二流道垂直于该多孔板体，该第一流道与该第二流道互不连通，且该第一流体接触各该第二流道的侧壁。
2.如权利要求1所述的喷洒头装置，其特征在于，该多孔板体包括: 第一板面部，具有由第一侧贯穿至第二侧的多个第一贯孔，且该第一侧相对于该第二侧； 环形壁，设置于该第二侧； 多个隔片结构，位于该环形壁所围面积之内，该些隔片结构间隔设置于该第一板面部的该第二侧以于该第二侧形成该第一流道，且该些第一贯孔分别位于该些隔片结构的相邻两者之间；以及 第二板面部，该环形壁以及该些隔片结构位于该第一板面部与该第二板面部之间，且该第二板面部具有多个第二贯孔，该些第二贯孔分别对应于该些第一贯孔。
3.如权利要求2所述的喷洒头装置，其特征在于，该多孔板体还包括多个管状凸起，由该第一板面部的该第二侧朝向该第二板面部凸伸并位于该第一流道中，各该管状凸起连通于其中一该第一贯孔以及对应的其中一该第二贯孔以形成其中一该第二流道。
4.如权利要求2所述的喷洒头装置，其特征在于，还包括多个管件，各该管件插设于其中一该第一贯孔以及对应的其中一该第二贯孔中以在该些管件内部形成该些第二流道。
5.如权利要求4所述的喷洒头装置，其特征在于，各该管件通过一接合媒介接合于该第一板面部以及该第二板面部。
6.如权利要求2所述的喷洒头装置，其特征在于，该环形壁以及该些隔片结构通过接合媒介接合于该第二板面部。
7.如权利要求2所述的喷洒头装置，其特征在于，该环形壁以及该些隔片结构通过接合媒介接合于该第一板面部。
8.如权利要求2所述的喷洒头装置，其特征在于，该环形壁具有多个开口，该些开口分别连通该第一流道。
9.如权利要求2所述的喷洒头装置，其特征在于，该些隔片结构包括至少一第一隔片结构与多个第二隔片结构，该至少一第一隔片结构连接于该环形壁以围出多个封闭区域而将该第一流道划分为多个分段，各该分段位于其中一个封闭区域中，该些第二隔片结构分别仅有一端连接于该环形壁而另一端为开放端以在其中一该封闭区域中而决定该第一流体在对应的该分段中的流路。
10.如权利要求9所述的喷洒头装置，其特征在于，该环形壁具有多个开口，该些开口分别连通该流路的入口端以及出口端。
11.如权利要求1所述的喷洒头装置，其特征在于，该第一流道与各该第二流道的出口端之间的距离小于该第一流道与各该第二流道的入口端之间的距离。
12.如权利要求1所述的喷洒头装置，其特征在于，该第一流道划分为彼此独立的多个分段，各该分段具有入口端与出口端，且该第一流体在各该分段中具有单一流路。
13.如权利要求1所述的喷洒头装置，其特征在于，该第一流体为热交换流体，而该第二流体为制作工艺流体。
14.如权利要求13所述的喷洒头装置，其特征在于，该制作工艺流体包括反应流体、载体流体或其组合。
15.如权利要求13所述的喷洒头装置，其特征在于，该冷却流体包括冷却剂。
16.如权利要求1所述的喷洒头装置，其特征在于，还包括多个内管件，设置于该些第二流道中，各该内管件与对应个其中一该第二流道平行以供第三流体流通。
17.如权利要求1所述的喷洒头装置，其特征在于，还包括上盖以及固定框，该多孔板体夹于该上盖以及该固定框之间。
【专利摘要】本发明公开一种喷洒头装置，其包括一多孔板体，其具有一第一流道以及多个第二流道。第一流道沿着多孔板体蜿蜒分布以供一第一流体流通。第二流道分别贯穿多孔板体并且交错于第一流道中以供一第二流体流通，其中第一流道与第二流道互不连通，且第一流体接触各第二流道的侧壁。
【IPC分类】C23C16-455
【公开号】CN104775105
【申请号】CN201410104272
【发明人】蔡陈德, 简荣祯, 黄智勇, 陈冠州, 王庆钧, 林义钧
【申请人】财团法人工业技术研究院
【公开日】2015年7月15日
【申请日】2014年3月20日