坩祸10包括锅体11和位于锅体顶面上的至少一个喷嘴12，并且，所述锅体11包括相互结合的内壁和外壁，所述内壁由第一材料形成，所述外壁由第二材料形成，所述第一材料的导热率大于所述第二材料的导热率。
[0038]具体地，所述外壁可以由Ti材料形成，所述内壁可以由Cu、Ag和Al中的一种材料或它们的组合形成。这样，由Ti形成的外壁可以满足坩祸的强度要求，使得坩祸在高温下不变形；而由Cu、Ag或Al等导热性好的材料形成的内壁则可以保证热量被快速地传递，使得某个位置的温度偏差将迅速地传导到其他区域，从而保证了整个坩祸内壁的温度均匀性，使得与内壁接触的蒸镀材料可以被均匀地蒸发。此外，内壁材料的选择以不和蒸发材料反应为前提。
[0039]图2示出了每个坩祸10具有两个喷嘴。根据其它的实施例，每个坩祸10可以具有一个喷嘴。因为喷嘴的个数较少，坩祸10可以具有较小的尺寸，防止在单个坩祸中蒸发材料受热不均匀。
[0040]另外，虽然图2示出了多个坩祸10组成一个蒸镀系统来使用。但是，当基板的尺寸较小时，每个坩祸10可以单独使用，例如，当制造诸如手机的便携式移动装置时，可以使用单个坩祸实施镀膜。
[0041]根据一个实施例，坩祸10可以具有长方体形状，坩祸的尺寸用长*宽*高表示可以在1000*1000*2000mm?1500*1000*2500mm的范围内。或者，坩祸可以为较小的尺寸以适于移动手机等较小显示装置的制作。较小的坩祸尺寸可以防止坩祸中部的蒸镀材料得不到充分加热，防止材料蒸发不均匀导致的镀膜缺陷。
[0042]当制造诸如电脑监视器、电视屏幕等较大尺寸的显示装置时，可以采用如图2所示的由多个坩祸10构成的蒸镀系统。在所述蒸镀系统中，多个坩祸10均匀地排列成线性蒸发源或面蒸发源，且多个坩祸10的各个喷嘴12等间距地排列，以便于在整个蒸镀系统的范围内均匀地蒸发蒸镀材料，从而均匀地实施镀膜。
[0043]图3a是根据本发明的一个实施例的构成点蒸发源的一个蒸镀坩祸的平面示意图。图3b是根据本发明的一个实施例的构成线性蒸发源的蒸镀系统的平面示意图。图3c是根据本发明的一个实施例的组成面蒸发源的蒸镀系统的平面示意图。实践中，可以根据需要将蒸镀坩祸组成任意尺寸的线蒸发源或面蒸发源，便于灵活地对各种类型的基板进行蒸镀加工。
[0044]为了便于移动坩祸10，以形成预定的坩祸排列，根据本发明进一步的实施例，可以为每个坩祸10配备坩祸移动装置，用于独立地移动各个坩祸10。图4a是根据本发明的一个示例性实施例的带有移动装置和控制装置的蒸镀坩祸的立体示意图。图4b是根据本发明的一个示例性实施例的带有移动装置和控制装置且构成线性蒸发源的蒸镀系统的立体示意图。图4c是根据本发明的一个示例性实施例的带有移动装置和控制装置且构成面蒸发源的蒸镀系统的立体示意图。
[0045]如图4a_4c所示，每个坩祸10配备有移动装置，所述移动装置包括导轨14和伺服电机15。所述伺服电机15驱动坩祸10在导轨14上移动。从而，根据该实施例，便于根据需要移动各个坩祸，并且有利于形成预定的线蒸发源或面蒸发源。并且，所述伺服电机15通过导线连接到控制装置16，如PC机，从而，可以通过控制装置16来控制伺服电机15的驱动。
[0046]图5示出了根据本发明的一个实施例的蒸镀系统的方块图。如图5所示，根据本发明的一个实施例的蒸镀系统可以包括1-η个坩祸，并且，每个坩祸配备有加热装置、坩祸移动装置、加热装置分离装置和测温装置。并且，整个蒸镀系统配备有控制装置。所述加热装置用于加热坩祸以便于蒸发坩祸内的蒸镀材料。所述坩祸移动装置例如为图4a_4c所示的导轨和伺服电机，用于移动坩祸。所述加热装置分离装置用于控制每个加热装置与坩祸的接近或分离，从而允许独立地控制各个坩祸的加热。所述测温装置用于分别测量各个坩祸的温度，以便根据坩祸的温度控制坩祸的加热或冷却。所述控制装置构造为与移动装置、加热装置、分离装置和测温装置连接，用于控制移动装置、加热装置、分离装置和测温装置的操作，从而实现蒸镀系统的自动控制。
[0047]具体地，当测温装置测量得知某个坩祸的温度过高时，可以将温度信号输出给控制装置，控制装置则控制加热装置分离装置将加热装置例如加热丝与该坩祸进行分离，实现温度的易控。并且，控制装置可以根据各个测温装置输入的温度信号控制各个加热装置，以便单独加热每个小坩祸，这样可以独立地控制每个坩祸的温度，实现所有坩祸温度的一致性。并且，蒸镀系统包括多个小坩祸，由于小坩祸加热的速度快，温度传递效率高，受热均匀，坩祸的内壁采用高热导率的Cu/Ag等材质，可以使温度很快地传递给蒸镀材料，这样就保证了整体蒸发温度的均匀性，蒸镀的速率也可以进行很好的控制。
[0048]上述实施例仅示例性的说明了本发明的原理及构造，而非用于限制本发明，本领域的技术人员应明白，在不偏离本发明的总体构思的情况下，对本发明所作的任何改变和改进都在本发明的范围内。本发明的保护范围，应如本申请的权利要求书所界定的范围为准。应注意，措词“包括”不排除其它元件或步骤，措词“一”或“一个”不排除多个。另外，权利要求的任何元件标号不应理解为限制本发明的范围。
【主权项】
1.一种蒸镀坩祸，包括:锅体和位于锅体顶面上的至少一个喷嘴，其中， 所述锅体包括相互结合的内壁和外壁，所述内壁由第一材料形成，所述外壁由第二材料形成，所述第一材料的导热率大于所述第二材料的导热率。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩祸，其中，所述外壁由Ti材料形成，所述内壁由Cu、Ag和Al中的一种材料或它们的组合物形成。3.根据权利要求1所述的蒸镀坩祸，其中，所述蒸镀坩祸包括一到两个喷嘴。4.根据权利要求1所述的蒸镀坩祸，其中，所述锅体的外部设有加热装置，用于加热坩祸。5.一种蒸镀系统，包括规则排列的多个坩祸，用于对一个对象基板进行蒸镀，所述坩祸为如权利要求1-3任一项所述的蒸镀坩祸。6.根据权利要求5所述的蒸镀系统，其中，所述多个坩祸的喷嘴之间的间距相同。7.根据权利要求5所述的蒸镀系统，其中，所述多个坩祸排列为线性蒸发源。8.根据权利要求5所述的蒸镀系统，其中，所述多个坩祸排列为面蒸发源。9.根据权利要求5所述的蒸镀系统，其中，每个坩祸配备有坩祸移动装置，用于独立地移动各个坩祸。10.根据权利要求9所述的蒸镀系统，其中，所述坩祸移动装置包括导轨和伺服电机，所述伺服电机驱动坩祸在导轨上移动。11.根据权利要求9所述的蒸镀系统，其中，每个坩祸配备有加热装置。12.根据权利要求11所述的蒸镀系统，其中，每个坩祸配备有加热装置分离装置，用于控制每个加热装置与坩祸接近或分离。13.根据权利要求12所述的蒸镀系统，其中，每个坩祸配备有测温装置，用于分别测量各个坩祸的温度。14.根据权利要求13所述的蒸镀系统，其中，所述蒸镀系统包括一个控制装置，所述控制装置连接到所述移动装置、加热装置、分离装置和测温装置，用于分别控制移动装置、加热装置、分离装置和测温装置的操作。
【专利摘要】本公开提供一种蒸镀坩埚和蒸镀系统。所述蒸镀坩埚包括：锅体和位于锅体顶面上的至少一个喷嘴，其中，所述锅体包括相互结合的内壁和外壁，所述内壁由第一材料形成，所述外壁由第二材料形成，所述第一材料的导热率大于所述第二材料的导热率。根据本公开的蒸镀坩埚和蒸镀系统，能够解决现有技术中的蒸镀材料蒸发不均匀的问题，从而实现OLED基板的均匀镀膜。
【IPC分类】C23C14/54, C23C14/24
【公开号】CN105112855
【申请号】CN201510631940
【发明人】金龙, 黄俊杰, 杨文斌, 唐富强
【申请人】京东方科技集团股份有限公司, 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年9月29日