一种用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及晶圆加工领域，尤其涉及一种用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具 环。
【背景技术】
[0002] 在使用金属溅镀机对晶圆进行溅射镀膜的加工过程中，由于0. 35, H30产品晶边 容易由于钛剥落问题形成微粒导致晶圆产品缺陷，此类产品金属导线层第一层需在金属溅 镀机台使用内径为194_的夹具环的沉积腔来生产，但使用内径为194_的夹具环的沉积 腔必须在部件功率大于200kwh时方可生产（正常保养周期为425kwh)。这就导致金属溅镀 机产能调配复杂，例如在沉积腔部件功率小于200kwh则无法生产金属导线层第一层产品， 需要整台停机用控片将部件功率跑到200kwh以上才可以继续生产。这就导致了机台管理 复杂。由于机台数量固定，其所使用的夹具环分为内径194mm与197mm两种，对194mm夹具 环需求的数量会影响到197mm夹具环的数量，从而影响整个金属溅镀机产能。在生产过程 中需要每天统计各沉积腔部件功率大小，大于200kwh才可打开生产金属导线层第一层产 品机限，导致了机限管理复杂。
[0003] 在溅镀过程中腔体内部所有部件包括夹具环都会被溅镀到一些铝膜，当沉积腔部 件功率逐渐变大时，内径为194mm的夹具环边缘被溅镀到的铝膜越来越厚，夹具环实际内 径则变小，晶圆能被溅镀到的直径也变小。由于保养后换上新夹具环其内径还较大，这样夹 具环压住的晶圆可溅镀的直径较大，晶边较容易被溅镀到铝膜，金属导线第一层在此时生 产时会导致后续流程中产生钛剥落形成颗粒并产生产品缺陷。
【发明内容】
[0004] 针对上述现有技术中存在的问题，本发明提供了一种新型的用于金属溅镀机铝制 程沉积腔的夹具环，可以在无需特别管控沉积腔功率大小即可生产0. 35以及H30金属导线 层第一层并有效避免了晶边的钛剥落问题。为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案 如下：
[0005] -种用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环，包括夹具环本体和遮蔽部，所述 遮蔽部成对地设置在所述夹具环本体的内边缘所在圆周直径的两端，所述夹具环内径为 192. 77mm_193. 05mm，两个相对遮蔽部之间的遮蔽处内径为190. 64mm_190. 94mm ;
[0006] 进一步地，所述夹具环内径为192. 77mm，所述遮蔽处内径为190. 64mm ;
[0007] 进一步地，所述夹具环内径为192. 77mm，所述遮蔽处内径为190. 94mm ;
[0008] 进一步地，所述夹具环内径为193. 05mm，所述遮蔽处内径为190. 64mm ;
[0009] 进一步地，所述夹具环内径为193. 05mm，所述遮蔽处内径为190. 94mm ;
[0010] 进一步地，所述夹具环内径为192. 80mm，所述遮蔽处内径为190. 80mm。
[0011] 本发明所取得的有益效果为：
[0012] 1.有效减少了之前所需要的内径为194_夹具环的配置数量，之前需要配置7-8 个内径194mm夹具环的沉积腔采用了新的内径为192. 8mm的夹具环后只需要配置3-4个即 可，这样就增加了内径为197mm的夹具环的配置数量，方便产能调配并将产能最大化，方便 了机台管理以及机限管理。
[0013] 2.使用新夹具环后，0.35与H30金属导线第一层可直接生产，其他层全部在197_ 夹具环上生产，极大方便了产能调配，机限管理以及保养管理。
[0014] 3.使用现有的夹具环需要将沉积腔功率用控片跑到200kwh，对铝靶材有较大浪 费，使用新夹具环后可极大降低铝靶材的费用。
【附图说明】
[0015] 图1为本发明的用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环的结构图。
[0016] 附图标记：1.夹具环本体；2.遮蔽部
【具体实施方式】
[0017] 为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图，对本发明进 行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定 本发明。
[0018] 如图1所示，现有技术中所使用的沉积腔的夹具环由夹具环本体1和遮蔽部2构 成，所述遮蔽部成对地设置在所述夹具环本体的内边缘所在圆周直径的两端，夹具环的内 径为194_，相对的两个遮蔽部之间的遮蔽处内径为192mm。在使用金属滅锻机对晶圆进行 金属镀膜时，将内径为194_，遮蔽处内径为192_的多个夹具环设置在沉积腔中的高温高 均匀度的加热器上，夹具环压住晶圆，避免其被背压吹起，并且其遮蔽处可以遮盖住晶圆以 及加热器的边缘，使晶边不被溅镀到铝膜。为了克服使用现有的194_内径的夹具环在运 行功率小于200kwh时无法生产金属导线第一层的缺陷，开机运行并将沉积腔内的功率跑 到200kwh，取下夹具环并测量尺寸，统计各个夹具环的内径以及遮蔽部的内径以确定夹具 环被溅镀的情况，如表1所示：
[0019]
[0020] 表 1
[0021] 由此可以看到，在以功率大约为200kwh运行时，溅镀过程中将194mm内径的夹具 环边缘溅镀到了铝膜，造成了 194_内径的夹具环的内径以及遮蔽处的内径都变小，其中 夹具环内径缩小到192. 77mm-193. 05mm之间，遮蔽处内径缩小到190. 64-190. 94之间。
[0022] 按照此数据，在本发明中将新的夹具环的内径设置在192. 77mm-193. 05mm之间， 并将遮蔽处的内径设置在190. 64-190. 94之间，则可以避免在功率为200kwh以下运行时 无法生产金属导线第一层的问题。通过上机运行将本发明的夹具环的直径优选为内径 192. 77mm、遮蔽处内径190. 64mm,内径192. 77mm、遮蔽处内径190. 94mm,内径193. 05mm、遮 蔽处内径190. 64mm，内径193. 05mm、遮蔽处内径190. 94mm以及内径192. 80mm、遮蔽处内径 190. 80mm 五种。
[0023] 本发明的新型夹具环于2010年在机台上测试完成，其可以在功率为200kwh以下 时进行金属导线第一层的溅镀生产，目前已经全面使用，并替代194_夹具环，目前铝制程 金属溅镀机台已经全部调配为本发明的新型夹具环，〇. 35与H30产品金属导线第一层可直 接在使用本发明的新型夹具环的沉积腔内生产，其他金属导线层全部在使用197mm夹具环 的沉积腔内生产。
[0024] 以上所述实施例仅表达了本发明的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能 因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说， 在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范 围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1. 一种用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环，包括夹具环本体和遮蔽部，所述遮蔽 部成对地设置在所述夹具环本体的内边缘所在圆周直径的两端，其特征在于，所述夹具环 内径为192. 77mm_193. 05mm，两个相对遮蔽部之间的遮蔽处内径为190. 64mm_190. 94mm。2. 如权利要求1所述的用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环，其特征在于，所述夹 具环内径为192. 77mm，所述遮蔽处内径为190. 64mm。3. 如权利要求1所述的用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环，其特征在于，所述夹 具环内径为192. 77mm，所述遮蔽处内径为190. 94mm。4. 如权利要求1所述的用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环，其特征在于，所述夹 具环内径为193. 05mm，所述遮蔽处内径为190. 64mm。5. 如权利要求1所述的用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环，其特征在于，所述夹 具环内径为193. 05mm，所述遮蔽处内径为190. 94mm。6. 如权利要求1所述的用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环，其特征在于，所述夹 具环内径为192. 80mm，所述遮蔽处内径为190. 80mm。
【专利摘要】本发明提供了一种用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环，包括夹具环本体和遮蔽部，所述遮蔽部成对地设置在所述夹具环本体的内边缘所在圆周直径的两端，所述夹具环内径为192.77mm-193.05mm，两个相对遮蔽部之间的遮蔽处内径为190.64mm-190.94mm。在金属溅射机的沉积腔中配置本发明的夹具环可以无需特别管控沉积腔功率大小即可生产0.35以及H30金属导线层第一层并有效避免了晶边的钛剥落问题。
【IPC分类】C23C14/35, C23C14/50, H01L21/687
【公开号】CN105441896
【申请号】CN201410474897
【发明人】吴心文
【申请人】和舰科技(苏州)有限公司
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2014年9月17日