12的剖面图，图8是臂12的仰视图。在本实施方式中，7个喷嘴15和I个喷嘴16安装于臂12的下部。但是，喷嘴15、16的数量不限于本实施方式。
[0067]所有的喷嘴15、16朝向研磨面2a。更具体而言，喷嘴15和喷嘴16朝向与研磨面2a垂直的方向。喷嘴15的顶端面(底面)15a、喷嘴16的顶端面(底面)16a以及臂12的底面12a位于大致同一面内。
[0068]如图7所示，臂12在其内部具有流体流路30。流体流路30的一端与图2所示的连结管20连接，所有的喷嘴15、16与流体流路30连接。清洗流体(液体、或者液体与气体的混合)从图2所示的流体入口 19导入到雾化器10，经过连结管20而供给到臂12的流体流路30。清洗流体流过流体流路30而到达喷嘴15、16，并从喷嘴15、16的流体出口 17、18喷雾到研磨面2a。
[0069]通过焊接将喷嘴15、16固定于臂12。更具体而言，通过坡口焊接将喷嘴15、16固定于臂12。以下，对将喷嘴15焊接于臂12的方法进行说明。
[0070]在步骤I中，如图9所示，准备具有形成有凹部12b的底面12a的臂12。在凹部12b的缘部形成有倒角12c。在步骤2中，如图10所示，将喷嘴15插入到凹部12b内直到喷嘴15与设置于臂12内的流体流路30连接。由于存在形成于凹部12b的缘部的倒角12c，导致在臂12的底面12a与喷嘴15的顶端面15a的缘部15b之间形成截面三角形状的间隙(槽)。
[0071]在步骤3中，如图11所示，通过坡口焊接将喷嘴15固定于臂12。将焊接材料35埋设于上述间隙，通过焊接材料35来填充臂12的底面12a与喷嘴15的顶端面15a的缘部15b之间的间隙。通过焊接而形成的焊接材料35也被称作焊缝。特别是通过坡口焊接而形成的焊接材料35以能够承受清洗流体的高压的较强的固定力将喷嘴15固定于臂12。虽然未图示，但喷嘴15的两侧部也通过坡口焊接被固定在臂12的两侧部。在本实施方式中，将喷嘴15的露出部的整周焊接于臂12，由此防止清洗流体的泄露。在本实施方式中，倒角12c仅形成于臂12的凹部12b，但也可以在喷嘴15的顶端缘部与臂12的凹部12b这双方上形成倒角，或者也可以仅形成于喷嘴15的顶端缘部。
[0072]此外，为了去除从臂12的底面12a和喷嘴15的顶端面15a稍稍突出的焊接材料35的一部分，如图12所示，通过铣刀等切削工具对臂12的底面12a、焊接材料35的底面以及喷嘴15的顶端面15a的缘部15b进行切削，使臂12的底面12a、焊接材料35的底面以及喷嘴15的顶端面15a的缘部15b位于同一平面内。通过焊接材料35以无间隙的方式连接臂12的底面12a与喷嘴15的顶端面15a。臂12的底面12a、喷嘴15的顶端面15a的缘部15b以及焊接材料35的底面由平坦面构成。
[0073]图13是从图12的箭头B所示的方向观察到的图。如图13所示，焊接材料35沿着喷嘴15的顶端面15a的缘部15b延伸，将臂12的底面12a与喷嘴15的顶端面15a的缘部15b之间的间隙填埋。虽然未图示，但也通过与喷嘴15相同的工序将喷嘴16固定于臂12。
[0074]根据本实施方式，通过焊接材料35以无间隙的方式连接臂12的底面12a与喷嘴15的顶端面15a的缘部15b。此外，由于将喷嘴15焊接于臂12，因此不需要用于固定喷嘴15的螺钉或螺栓。因此，在喷嘴15的周边不存在凹凸，研磨液难以残留在臂12的底面和喷嘴15。其结果，能够防止干燥的研磨液的堆积。此外，由于雾化器10是研磨液难以附着的构造，因此能够减少雾化器10的维修作业和维修时间。
[0075]作为切削喷嘴15的顶端面15a的缘部15b的结果，如图12所示，从臂12的底面12a稍微突出的突出部15c形成于喷嘴15的顶端面15a。流体出口 17形成于该突出部15c内。从图12可以知晓，通过切削工序切削的喷嘴15的顶端面15a的区域是包含顶端面15a的缘部15b并且不包含喷嘴15的流体出口 17的区域。不切削流体出口 17的理由是为了避免因切削加工导致流体出口 17发生变形以及避免因流体出口 17的变形而引起的清洗能力的降低。从防止清洗流体的附着的观点出发，优选喷嘴15的突出部15c与臂12的底面12a之间的高度差尽可能地小。在一个实施方式中，喷嘴15的突出部15c从臂12的底面12a突出0.1mm?0.2mm。
[0076]另外，在图13中，由于突出部15c是微小阶梯部，因此顶端面15a与突出部15c之间的边界线省略，顶端面15a与突出部15c之间的边界线与顶端面15a的缘部15b大致平行。
[0077]在研磨面2a的清洗时，将清洗流体从喷嘴15、16喷雾到研磨垫的研磨面2a。为了防止从研磨面2a飞散的研磨液的附着而优选臂12的底面12a、焊接材料35的底面以及喷嘴15、16的顶端面15a、16a尽可能地光滑。具体而言，优选切削加工后的臂12的底面12a、焊接材料35的底面以及喷嘴15、16的顶端面15&、16&的表面粗糙度(算术平均粗糙度)1^小于3.2。
[0078]在本实施方式中，臂12、喷嘴15、16以及焊接材料35的材质是合成树脂的聚丙烯，但为了更有效地防止研磨液在臂12的底面12a和喷嘴15、16的顶端面上的附着，臂12、和/或喷嘴15、16、和/或焊接材料35也可以由防水性的材料构成，或者臂12的底面12a、和/或喷嘴
15、16的顶端面15a、16a、和/或焊接材料35也可以由防水性的材料覆盖。作为防水性的材料的例子可列举出氟树脂。
[0079]上述的实施方式的记载目的为，使本领域的技术人员能够实施本发明。本领域的技术人员当然能够实施上述实施方式的各种变形例，本发明的技术思想也能够应用于其他实施方式中。因此，本发明不限于所记载的实施方式，能够解释为基于专利请求的范围所定义的技术思想的最大范围。
【主权项】
1.一种研磨面清洗装置，用于利用清洗流体清洗研磨面，其特征在于，该研磨面清洗装置具有: 臂，具有流体流路； 喷嘴，与所述流体流路连通；以及 焊接材料，将所述喷嘴固定于所述臂， 所述臂的底面与所述喷嘴的顶端面的缘部之间的间隙被所述焊接材料填满。2.根据权利要求1所述的研磨面清洗装置，其特征在于， 所述臂的底面、所述焊接材料的底面以及所述喷嘴的顶端面位于大致同一面内。3.根据权利要求2所述的研磨面清洗装置，其特征在于， 所述臂的底面、所述焊接材料的底面以及所述喷嘴的顶端面的缘部位于同一面内。4.根据权利要求1所述的研磨面清洗装置，其特征在于， 所述臂的底面、所述焊接材料的底面以及所述喷嘴的顶端面的表面粗糙度Ra小于3.2μmD5.根据权利要求1所述的研磨面清洗装置，其特征在于， 在所述喷嘴的所述顶端面形成有突出部，在所述突出部内形成有流体出口。6.根据权利要求5所述的研磨面清洗装置，其特征在于， 所述喷嘴的突出部从所述臂的底面突出0.Imm?0.2mm。7.根据权利要求1所述的研磨面清洗装置，其特征在于， 所述臂的底面、所述喷嘴的顶端面以及所述焊接材料的底面由平坦面构成。8.根据权利要求1至7中任一项所述的研磨面清洗装置，其特征在于， 所述喷嘴和所述臂中的至少一方由防水性的材料构成。9.根据权利要求1至7中任一项所述的研磨面清洗装置，其特征在于， 所述喷嘴的顶端面和所述臂的底面中的至少一方由防水性的材料覆盖。10.一种研磨装置，其特征在于，该研磨装置具有: 研磨工作台，用于支承具有研磨面的研磨垫； 研磨头，将基板按压于所述研磨面；以及 权利要求1至9中任一项所述的研磨面清洗装置。11.一种研磨面清洗装置的制造方法，该研磨面清洗装置用于利用清洗流体清洗研磨面，该研磨面清洗装置的制造方法的特征在于， 向形成于臂的底面的凹部内插入喷嘴， 将所述喷嘴焊接于所述臂，利用焊接材料填满所述臂的底面与所述喷嘴的顶端面的缘部之间的间隙。12.根据权利要求11所述的研磨面清洗装置的制造方法，其特征在于， 还包含如下切削工序:在将所述喷嘴焊接于所述臂后，切削所述臂的底面、所述焊接材料的底面以及所述喷嘴的顶端面的缘部，直到所述臂的底面、所述焊接材料的底面以及所述喷嘴的顶端面的缘部位于同一面内。13.根据权利要求12所述的研磨面清洗装置的制造方法，其特征在于， 通过所述切削工序切削的所述喷嘴的顶端面的区域是包含所述喷嘴的顶端面的缘部并且不包含所述喷嘴的流体出口的区域。14.根据权利要求11至13中任一项所述的研磨面清洗装置的制造方法，其特征在于，将所述喷嘴焊接于所述臂的工序是通过坡口焊接而进行的。
【专利摘要】本发明提供一种使浆料等研磨液难以附着于表面的研磨面清洗装置。研磨面清洗装置具有：臂(12)，具有流体流路(30)；喷嘴(15)，与流体流路(30)连通；以及焊接材料(35)，将喷嘴(15)固定于臂(12)。臂(12)的底面(12a)与喷嘴(15)的顶端面(15a)的缘部(15b)之间的间隙被焊接材料(35)填满。
【IPC分类】B23P15/00, B24B53/017, B24B37/10
【公开号】CN105619251
【申请号】CN201510801236
【发明人】小菅隆一, 外崎宏, 小寺刚, 长谷川亮
【申请人】株式会社荏原制作所
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2015年11月19日
【公告号】US20160144478