电化学机械抛光装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及抛光技术领域，尤其涉及一种电化学机械抛光装置。
【背景技术】
[0002]目前常用的抛光技术包括机械抛光，化学抛光，以及电化学抛光。其中，机械抛光是通过挤压磨料，从而将工件的表面磨平。化学抛光是通过有规则地溶解工件表面，以使其光亮平滑。电化学抛光也称电解抛光，是以被抛工件为阳极，不溶性金属为阴极，两极同时浸入到电解槽中，通以直流电而产生有选择性的阳极溶解，从而使工件表面光亮度增大，达到镜面效果。
[0003]然而，现有机械抛光技术的加工精度不高，抛光面的粗糙度较大，不适于抛光精密器件。而在利用化学方式或电化学方式进行抛光管件内表面时，由于化学溶液在管件内的流速不同，且工件抛光表面的溶解程度难以控制，从而造成管壁厚度的不均匀性。
[0004]因此，需要一种电化学机械抛光装置，其可实现管件内壁的均匀抛光，且具有高抛光效果。
【发明内容】
[0005]本发明解决的问题是提供一种电化学机械抛光装置，其可实现管件内壁的均匀抛光，且具有高抛光效果。
[0006]为解决上述问题，本发明提供了一种用于管件内壁抛光的电化学机械抛光装置。所述电化学机械抛光装置包括:包括:工作台，所述管件适于置于所述工作台上;导引结构，所述工作台适于沿所述导引结构滑动，以带动所述管件移动；以及电极块包括第一电极块和第二电极块，所述第一电极与所述第二电极极性相反，所述第一电极块适于与所述管件电连接，所述第二电极适于在所述管件随所述工作台沿所述导引结构滑动时穿过所述管件。
[0007]可选的，所述的电化学机械抛光装置，进一步包括悬臂，所述悬臂沿所述导引结构的延伸方向配置且适于穿过所述管件，所述第二电极块配置于所述悬臂上。
[0008]可选的，所述的电化学机械抛光装置进一步包括一支撑架，所述悬臂的一端配置于所述支撑架上，另一端悬空。
[0009]可选的，所述的电化学机械抛光装置进一步包括两支撑件，所述悬臂的两端分别适于配置于所述两支撑件上。
[0010]可选的，所述的电化学机械抛光装置进一步包括紧固件，所述紧固件适于拉紧所述悬臂，以使所述悬臂平行于所述导引结构的所述延伸方向。
[0011]可选的，所述的电化学机械抛光装置进一步包括绝缘件，所述绝缘件配置所述悬臂上，且位于所述第二电极块的一侧，所述绝缘件的截面尺寸大于所述第二电极块的截面尺寸。
[0012]可选的，所述第二电极块与所述悬臂电连接。
[0013]可选的，所述悬臂由包括导电内芯和绝缘涂层覆盖所述导电内芯，且在配置有所述第二电极块的位置露出所述导电内芯。
[0014]可选的，所述的电化学机械抛光装置进一步包括底座，所述支撑件固定于所述底座上。
[0015]可选的，所述工作台包括固持部和滑动部，所述固持部适于固定所述管件，所述滑动部适于沿所述导引结构滑动。
[0016]可选的，所述工作台的所述固持部包括卡槽，所述管件适于被配置于所述卡槽内。
[0017]可选的，所述固持部适于将多个所述管件同时配置于其上。
[0018]可选的，所述工作台的所述滑动部和所述导引结构分别包括滑槽和滑轨，所述滑槽与所述滑轨相配合以使得所述工作台沿所述导引结构滑动。
[0019]可选的，所述第一电极块适于通过所述工作台的所述固持部与所述管件电连接。
[0020]与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点:
[0021]首先，在本发明提供的电化学机械抛光装置中，待抛光的管件可相对于所述负电极块运动。如此一来，当所述管件相对于所述负电极块匀速运动时，管件内壁不同部位的抛光量相同，从而可以实现管件内壁的均匀抛光。
[0022]其次，在利用本发明提供的电化学抛光装置时，所述负电极块悬置于所述管件的内部，而且位于所述管件的中心轴位置。因此，所述负电极块到所述管件内壁的垂直距离相同，从而进一步增强抛光效果的均匀性。
【附图说明】
[0023]图1是本发明的一实施例提供的电化学机械抛光装置的结构示意图；
[0024]图2是本发明的一实施例提供的电化学机械抛光装置的剖面示意图；
[0025]图3是本发明的一实施例提供的电化学机械抛光装置的部分示意图；
[0026]图4是本发明的另一实施例提供的电化学机械抛光装置的结构示意图；
[0027]图5是本发明的另一实施例提供的电化学机械抛光装置的剖面示意图。
【具体实施方式】
[0028]为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
[0029]参考图1和图2所示，根据本发明的一实施例的电化学抛光装置被阐释。所述电化学抛光装置用于抛光管件100的内壁101，其包括:工作台200，导引结构300，以及电极块。其中，所述工作台200适于沿所述导引结构300滑动，所述电极块包括第一电极块(未示出)和第二电极块400，所述第一电极块与所述管件100电连接，所述第二电极块400可被悬置于所述管件100的中心孔内。从而，通过向所述管件100的中心孔内注入电解液，并往复移动所述管件100，以实现管件内壁的均匀抛光。
[0030]具体地说，所述工作台200适于将所述待抛光的管件100固置于其上，所述工作台200适于沿所述导引结构300移动，从而使得固置于其上的所述管件100沿所述导引结构300的延伸方向移动。所述第一电极块与所述第二电极块400极性相反。其中，所述第一电极块与所述管件100相电连接，所述第二电极块400被配置成适于在所述管件100随着所述工作台200沿所述导引结构300移动时穿过所述管件100。换句话说，当所述管件100配置于所述工作台200上且移动时，所述第二电极400可悬置于所述管件100内，并且所述管件100的所述内壁1I与所述第二电极400具有相对运动。通过向所述管件100的中心孔内注入电解液，从而通过电化学作用抛光所述管件100的内壁。另外，可以通过控制所述管件100的运动速度以调整所述管件100的内壁101的抛光效率及其均匀度。例如，当所述管件100相对于所述负电极块400匀速运动时，所述管件100的所述内壁101的不同部位被抛光的程度相同，从而可以实现管件内壁的均匀抛光。
[0031]所述工作台200包括固持部201以及滑动部202，所述固持部201适于将所述管件100固置于其上，所述滑动部202配置成适于沿所述导引结构300滑动。
[0032]所述固持部201分别位于所述工作台200垂直于所述导引结构300的两端。所述滑动部202分别位于所述工作台的平行于所述导引结构300的两端。如此一来，当所述管件100被配置到所述固持部201上时，所述管件100的中心轴与所述导引结构300的延伸方向平行，且可沿所述导引结构300的延伸方向移动。
[0033]所述固持部201包括卡槽2011，所述卡槽适于固定所述管件100。在本发明的一些实施例中，所述工作台200也可配置成包括多个卡槽结构。换句话说，所述工作台200适于同时将多个管件100固置于其上，从而使得本发明提供的抛光装置可以同时抛光多个管件，以提高其工作效率。另外，所述工作台200也可只配置有一个固持部201。
[0034]所述滑动部202配置成可与所述导引结构300相配合。如3图所示，所述导引结构300包括导轨。相应的，所述工作台200的所述滑动部202配置成具有滑槽2021，所述导引结构300的导轨适于容纳于所述滑槽2021内，且两者之间适于相对滑动。在本发明的一些实施例中，所述导引结构300也可配置成滑槽结构，而所述滑动部202配置成导轨结构或滑轮结构。值得注意的是，所述导引结构300以及所述工作台200的所述滑动部202也可配置成其他结构，只要能保证两者之间可沿预设轨迹相对运动即可，本发明对此不作限制。
[0035]另外，值得一提的是，所述导引结构300的延伸长度至少为管件100轴向尺寸的两倍，从而保证在管件100往复运动时，所述第二电极块400可到达所述管件100的任何位置。即可从管件100的一端进入直至到达管件100的另一端。
[0036]所述第一电极块可通过所述工作台200的所述固持部201与所述管件100相电连接。具体地说，以所述第一电极块为正电极为例，所述第一电极块的一端连接于电源(图中未示出)的正极，另一端通过电线连接于所述工作台200的所述固持部201。另外，由于在抛光时，所述管件100被固定于所述固持部201，因此，所述管件100与所述正电极块可相电连接。当然，所述第一电极块也可直接与所述管件100相电连接，此时，在抛光所述管件100之前，需要先将所述管件100配置于所述工作台200上并连接所述第一电极块与所述管件100，所述第一电极块可随着所述管件100移动。当完成抛光程序之后，再断开所述第一电极块与所述管件100之间的连接。
[0037]另外，所述工作台200的所述固持部201可由导电材料制成，例如由金属制成，从而使得所述管件100与所述第一电极块401可电连接。所述工作台200的滑动部202由