[0027]可以理解，弹簧悬挂式牵引固定吸嘴，吸嘴吸取物品或放下物品是一个动态平衡的过程，一旦吸嘴吸附了硅片导致整体(吸嘴加硅片)重力增加，则吸嘴受到弹性连接件的拉力(竖直方向上的分力)也随之增加，使得吸嘴和硅片立即恢复到到平衡状态，在吸嘴放下硅片时也是同样的原理，实现了吸嘴吸附硅片时在竖直方向上能够软着陆的效果。
[0028]在吸嘴2上连接有真空吸管4，该真空吸管4可拆卸地固定在吸嘴2上，当然，在其他实施例中真空吸管也可以与吸嘴采用一体成型结构。为了便于将真空吸管限制在基板平面内，以防止管线凌乱，妨碍设备运转，容置区11向基板尾部延伸有用于容置真空吸管的容置槽12。真空吸管4置于容置槽12内，可以在容置槽12的中部位置设置凸起，使容置槽在该位置的槽宽变窄，容置槽12在凸起位置处的槽宽与真空吸管4的外径匹配，使真空吸管嵌入在该容置槽的凸起之间，防止真空吸管4脱离容置槽12。
[0029]基板I的尾部是用于将基板固定在吸盘组基座上的固定部，该固定部上设有固定孔5。基板与吸盘组基座之间的固定方式采用现有固定方式即可，如通过螺栓或通过插销固定，此处不--赘述。
[0030]如图1所示，本实施例中基板上容置区11和吸嘴2的数量分别为3，且三个容置区呈三角分布，能够保证在较少吸嘴的情况下实现更佳的吸附效果，而且每个吸嘴2依然通过4根弹簧连接对应的容置区内壁，即以吸嘴2为中心的矩形的四个顶点位置(本实施中的附图所示的弹簧状态尚未连接在吸嘴2上)。吸嘴与弹簧间的连接方式，以及弹簧与容置区内壁的连接方式均是本领域技术人员根据现有技术可以实现的，此处不再赘述，在本实施例中吸嘴2的圆周方向均布设有用于弹簧挂接的连接孔22，而在容置区11内壁上设有凸起，该凸起上设有通孔111用于弹簧3另一端的挂接，本实施例采用此种弹簧连接方式，便于弹簧拆装。
[0031]容置区11的内壁向其对应的吸嘴2方向延伸有隔筋13，隔筋13与容置区11内壁之间或隔筋与隔筋之间形成用于容置弹簧3的弹簧轨道112。本实施例中弹簧的数量为4，吸嘴2左右两侧各只有两根弹簧3，因此在容置区11左右的内壁上各延伸出一个隔离筋13，便能够分别于容置区11的左右侧内壁形成四个弹簧轨道112，使得弹簧3能够在弹簧轨道112内伸缩而不偏离该弹簧轨道，让吸嘴更加平稳的吸取硅片。当然可以理解，在弹簧数量较多的情况下，例如吸嘴左右侧各有3根弹簧时，则隔离区在左右侧分别需要延伸出2个隔离筋，其中一个弹簧轨道必然是由两个隔离筋形成的。
[0032]实施例2:
[0033]由于在上述实施例1中，吸嘴是位于基板平面的容置区内，所以该吸盘的厚度会大幅度减小，从而为本实施例中实现密集型吸盘组结构提供条件。
[0034]如图3所示，本实施例中，吸盘组结构包括一个基座9，基座9上层叠地设置有如上述实施例1中所述的弹性悬挂式吸盘10。
[0035]根据设备承重能力，本实施例中选择20片吸盘的层叠，每两片吸盘之间的距离可设计为8mm到15mm，具体在本实施例中相邻两片吸盘之间的距离为12mm，可保证对空间的合理利用；本图实施例中的吸盘组结构可同时吸取20片薄片式物料，大幅的提升了工作效率，有利于集中取放物料。
[0036]以上对本实用新型实施例所提供的弹性悬挂式吸盘及吸盘组结构进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在【具体实施方式】及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
【主权项】
1.弹性悬挂式吸盘，其特征在于，包括:基板、吸嘴及至少两根弹性连接件，吸嘴的开口方向与基板平面保持垂直，基板上开设有用于容置吸嘴和弹性连接件的容置区，每个弹性连接件的一端连接吸嘴，弹性连接件另一端连接容置区的内壁，吸嘴在基板平面上受到各弹性连接件的圆周向外的力保持平衡。
2.如权利要求1所述的弹性悬挂式吸盘，其特征在于，还包括连接于吸嘴上的真空吸管。
3.如权利要求2所述的弹性悬挂式吸盘，其特征在于，容置区向基板尾部延伸有用于容置真空吸管的容置槽。
4.如权利要求1所述的弹性悬挂式吸盘，其特征在于，所述弹性连接件为弹簧。
5.如权利要求4所述的弹性悬挂式吸盘，其特征在于，吸嘴两侧分别对称设有两根弹黃。
6.如权利要求1所述的弹性悬挂式吸盘，其特征在于，基板上容置区和吸嘴的数量分别为3，且容置区呈三角分布，每个吸嘴通过至少两个弹性连接件连接对应的容置区内壁。
7.吸盘组结构，其特征在于，包括一个基座，基座上层叠地设置有如上述权利要求1至6中任意一项所述的弹性悬挂式吸盘。
【专利摘要】本实用新型公开了弹性悬挂式吸盘及吸盘组结构，该弹性悬挂式吸盘包括：基板、吸嘴及至少两根弹性连接件，吸嘴开口方向与基板平面保持垂直，基板上开设有用于容置吸嘴和弹性连接件的容置区，每个弹性连接件的一端连接吸嘴，弹性连接件另一端连接容置区的内壁，吸嘴在基板平面上受到各弹性连接件的圆周向外的力保持平衡。弹性悬挂式吸盘的吸嘴采用弹性连接件拉紧悬挂固定在基板上，因此吸嘴在吸取物料时在竖直方向上或垂直基板的方向上都具有弹性裕度，实现了物料吸放的软着陆。吸盘组结构采用上述的弹性悬挂式吸盘层叠固定方式，各吸盘间距可进一步缩减，适合薄片物料的叠加吸取，使整个吸盘组结构的空间占用减小，实现集中吸取物料。
【IPC分类】C23C16-458
【公开号】CN204529978
【申请号】CN201520109367
【发明人】朱光, 孟东方
【申请人】深圳光远智能装备股份有限公司
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年2月13日