一种溅射镀膜装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于溅射镀膜技术领域，具体涉及一种溅射镀膜装置。
【背景技术】
[0002]溅射镀膜被广泛应用在玻璃、陶瓷、半导体等领域。一种现有真空溅射镀膜装置设置有溅射腔体，设置在腔体内的传递辊，设置在传递辊之间并与腔体底部连接的挡板，以及设置在腔体内的阴极靶材。腔体底部作为阳极，在放电气体的撞击作用下，阴极靶材中的原子朝向阳极飞溅出来并沉积在传递辊上的玻璃，以完成玻璃的镀膜加工。设置在传递辊之间的挡板为金属材质，可拦截阴极靶材溅出的原子或分子，防止阴极靶材溅出的原子或分子从传递辊之间的空隙或者两个玻璃之间的空隙沉积到传递辊面上或者其他器件上。该挡板的截面呈U形，且需要与腔体底部呈绝缘设置，否则容易引起阴极靶材产生放电打弧等现象，从而严重影响到玻璃镀膜质量和生产效率。
[0003]目前，现有的做法是采用L形板将挡板固定于腔体底部，然而这种方式仍然容易造成挡板与腔体的导通。
[0004]同时，目前市面上的大型磁控溅射镀膜腔室，在溅射室侧壁的底部通常采用表面经过打磨抛光处理的不锈钢挡板，由于抛光表面对溅射物吸附能力有限。溅射室内部在工作时，只有少部分溅射出的靶材被吸附在抛光的不锈钢挡板表面，吸附量并不大，大多数靶材废渣累积于下侧挡板和底板上；当溅射室停止工作后，溅射室温度会慢慢降低，被吸附于抛光表面的溅射物质，由于吸附不够牢固，极易从表面脱裂，溅落在辊道附近。上述结构存在掉渣严重、积渣容易堆积的问题，当有产品经过该溅射室时，溅落的物质容易掉落在产品表面，导致后面膜层溅射不能完全附着在产品上，直接导致产品报废。同时，不锈钢网焊接于溅射区内部，拆卸不变，镀膜线需要频繁地停产、并在溅射区内部进行长时间清洗，维护成本较高。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于提供一种溅射镀膜装置，以解决上述【背景技术】中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:一种溅射镀膜装置，包括腔体、网罩、镀膜腔室、靶材、传递辊、挡板组件、阴极盖、阳极板框、密封件、进口、出口、真空进气装置、控制器，所述镀膜腔室设置在腔体的内部，所述网罩由连接钢板、连接孔、矩形通孔和不锈钢网组成，所述网罩通过螺栓与镀膜腔室固定连接，所述连接孔设置在连接钢板的顶面上，所述矩形通孔设置在连接钢板的顶面上，且矩形通孔间隔设置在连接孔之间，所述不锈钢网通过焊接与连接钢板固定连接，所述阳极板框设置在腔体的底部，所述传递辊和挡板组件均设置在阳极板框内，且挡板组件间隔设置在传递辊之间，所述阴极盖设置在腔体的顶部，所述靶材设置在阴极盖内，所述密封件设置在阴极盖与阳极板框之间，所述进口设置在腔体左侧的中部上，所述出口设置在腔体的右侧，所述真空进气装置设置在腔体的顶部上，所述控制器安装在腔体右侧的上部。
[0007]优选的，所述矩形通孔沿连接钢板的延伸方向均匀分布于连接钢板的顶面，所述矩形通孔与镀膜腔室上的螺纹固定孔一一对应，所述矩形通孔的内部均设置有连接螺栓。
[0008]优选的，所述真空进气装置由钢瓶阀、流量计和进气阀组成，所述钢瓶阀、流量计和进气阀从上到下依次安装在通向镀膜腔室的进气管道上。
[0009]优选的，所述挡板组件由固定板、绝缘件和挡板组成。
[0010]优选的，所述进口和出口上均设有密封固定件。
[0011]优选的，所述控制器由显示屏、中央处理器、控制按钮、控制开关和电流控制装置组成。
[0012]本实用新型的技术效果和优点:该溅射镀膜装置，阴极盖与阳极板框之间设置有密封件，该密封件使腔体能够保持真空环境；挡板组件用于遮挡腔体的底部，以及传递辊的侧部，可在溅镀过程中，防止阴极溅出的原子沉积在传递辊上或者腔体的底部，避免沉积物污染阳极或者传递辊等物件，由此保证玻璃的镀膜效率与良率；在该真空溅射镀膜装置工作时，阳极板框的底部作为阳极，阴极盖作为阴极，腔体内保持真空环境，并通过放电气体对阴极的撞击，使阴极原子溅出并朝向阳极运动，从而沉积在放置于传递辊上的玻璃表面，以完成对工件的镀膜加工；控制器能够对真空溅射镀膜装置中的电流大小控制，从而控制粒子的运动速度和轨迹，因此能够达到最佳镀膜的效果；通过在镀膜腔室的内部安装了以可拆装方式的网罩，在减少掉渣的同时，更容易清洁，当需要清洁网罩时，只需要将网罩拆下，并通过喷砂、或其他工序进行清洁即可，清洁速度快、效率高，维护成本低；通过对挡板组件作模组化设计，并借助绝缘件的设置，不但可保证挡板与腔体的绝缘性能，还能优化挡板组件的组装效率，使挡板组件拆装更为便利。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型的结构示意图；
[0014]图2为本实用新型的网罩结构示意图。
[0015]图中:1腔体、2网罩、21连接钢板、22连接孔、23矩形通孔、24不锈钢网、3镀膜腔室、4靶材、5传递辊、6挡板组件、7阴极盖、8阳极板框、9密封件、10进口、11出口、12真空进气装置、13控制器。
【具体实施方式】
[0016]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0017]本实用新型提供了如图1和图2所示的一种溅射镀膜装置，包括腔体1、网罩2、镀膜腔室3、靶材4、传递辊5、挡板组件6、阴极盖7、阳极板框8、密封件9、进口 10、出口 11、真空进气装置12、控制器13，所述镀膜腔室3设置在腔体I的内部，所述网罩2由连接钢板21、连接孔