运输区域111之下。换而言之，在室壳体102的室侧壁102s中至少一个连接开口 104可部分地被设置在底部面之下(室底部102b的对于运输区域111露出的表面之下)(例如参见图2)。
[0048]根据不同的实施方式，至少一个槽102a或凹部102a可被提供在室底部102b中，用于露出至少一个连接开口 104。换而言之，至少一个槽102a或凹部102a可这样地提供在室底部102b中，S卩，该至少一个连接开口 104对于运输区域露出。明显地，室底部可以是单件的，且可在朝向室侧壁102s的边缘区域上具有槽102a和/或凹部102a。
[0049]根据不同的实施方式，两个相对的室侧壁102s相互之间的侧壁-距离为几米。此夕卜，室侧壁102s的侧壁-距离限定室壳体102的宽度。根据不同的实施方式，槽102a和/或凹部102a沿着室壳体102的宽度(沿着方向103)的空间扩展小于室壳体102的宽度的一半，或小于侧壁-距离的一半。明显地，槽102a和/或凹部102a可不从室侧壁102s至相对的室侧壁102s沿着室壳体102的(或真空室100的)宽度延伸。
[0050]图2示出在连接开口 104的范围中的根据不同的实施方式的真空室100。
[0051 ] 根据不同的实施方式，室底部102b可具有至少一个槽102a或至少一个凹部102a，其中，至少一个槽102a或至少一个凹部102a露出至少一个连接开口 104。明显地，室底部102b可在其侧边缘上在室侧壁102s附近这样地被设置，S卩，室底部102b不盖住连接开口104，使得例如高真空栗可被联接到连接开口 104，且运输区域111可被有效地抽真空。
[0052]根据不同的实施方式，室底部102b对于运输区域111露出的表面202b可限定底部面202e，室底部102b对于运输区域111露出的表面202b基本上(大部分地)在该底部面中延伸。在此，底部面202e可部分地限定运输区域111。此外，底部面202e可基本上平行于运输面地延伸，使得在下述条件下提供具有尽可能小的高度Illd的运输区域111，即，基体可借助于运输系统被运输通过运输区域111。
[0053]根据不同的实施方式，可在底部面202e之下提供区域102a，其使得可使用连接开口 104在底部面202e之下的部分。
[0054]根据不同的实施方式，运输区域111的高度(沿着方向105)在大致5cm至大致1cm之间的范围中。例如，在运输区域111中提供的运输滚筒110的直径在大致3cm至大致7cm的范围中。此外，连接开口 104的直径212d大于10cm，例如在大致15cm至大致30cm的范围中。
[0055]根据不同的实施方式，运输区域111的高度(沿着方向105)可在大致5cm至大致15cm的范围中。例如，在运输区域111中提供的运输滚筒110的直径可在大致5cm至大致1cm的范围中。此外，连接开口 104的直径212d可大于15cm，例如在大致20cm至大致40cm的范围中。
[0056]根据不同的实施方式，提供真空室100，其中，联接到连接开口 104的高真空栗212由于室底部102b中的槽102a而可更好地进入真空室100的内部(例如进入待抽真空的运输区域111)。
[0057]联接到至少一个连接开口 104的高真空栗212例如可以是涡轮分子栗，其中，连接开口 104的直径212d基本上对应于涡轮分子栗的吸气开口的直径。明显地，连接开口 104可被设置成用于高真空栗212的连接法兰。
[0058]根据不同的实施方式，一个方面可在于，借助于高真空栗212尽可能有效地对运输区域111 (运输缝隙)抽真空，例如尽可能快地，其中，高真空栗212的吸气开口大于运输区域111的高度11 Id (缝隙高度)。对此可相应地改变室底部102b。
[0059]在下文中，描述真空室100的不同改变和设置以及连接开口 104和室底部102b的细节，其中，可类似地包括结合图1A和IB描述的基本特征和功能。此外，下文中描述的特征和功能类似地可被转移到在图1和2中描述的真空室100上，或与在图1和2中描述的真空室100结合。
[0060]图3A以示意性的剖视图类似于前述地示出真空室100，此外，室壳体102可具有在室壳体103的上侧中的盖开口 103。此外，室盖304可被设置成匹配室壳体102以及匹配室壳体102的盖开口 103。例如，室盖304可具有密封区域304d或密封面304d，其被设置成匹配密封区域102d或室壳体102的密封面102d，使得室盖304可真空密封地或气密地封闭室壳体102。
[0061]此外，室盖304可这样地被设置，即，其在闭合的室盖304的情况下延伸通过盖开口 103部分地进入室壳体102，例如，室盖304可具有凹部306或部分306，其在闭合的室盖304的情况下延伸通过盖开口 103进入室壳体102。根据不同的实施方式，室盖304可具有在室盖的内侧上的填料306，其在闭合的室盖304的情况下限制运输区域111，且因此减小真空室100中待抽真空的容积。明显地，可这样地设置室盖304，即，其在闭合状态下向上限制运输区域111，且由此减小真空室100的待抽真空的容积111。
[0062]根据不同的实施方式，密封区域304d或室盖304的密封面304d可具有真空密封件(例如沿着密封区域304d或密封面304d环绕)。此外，密封区域102d或室壳体102的密封面102d可具有真空密封件(例如沿着密封区域102d或密封面102d环绕)。该真空密封件例如可具有唇形密封件或另一柔性的密封结构。
[0063]根据不同的实施方式，真空室100 (室壳体102和室盖304)沿着方向103的宽度在大致Im至大致5m的范围中。此外，真空室100沿着方向105的高度可在大致0.3m至大致2m的范围中，例如在大致0.5m至大致Im的范围中。此外，真空室100 (垂直于方向103，105)的长度在大致I米至大致5m的范围中(沿着方向101，参见图5A和图5B)。根据不同的实施方式，室底部102b中的槽102a和/或凹部102a沿着方向103的宽度可在大致1cm至大致2m的范围中，例如在大致1cm至大致Im的范围中，例如在大致20cm至大致80cm的范围中。
[0064]根据不同的实施方式，可在真空室100或在室壳体102中提供运输系统，用于运输真空室100内的基体120，用于运输基体120通过真空室100，用于运输基体120进入真空室100，和/或将基体120运输出真空室100。根据不同的实施方式，可例如借助于多个运输滚筒这样地提供运输系统，即，基体120可沿着运输方向(垂直于方向103，105)被运输。运输系统可提供运输面，在其中基体120或基体带120被运输。在打开的室盖304或打开的真空室100的情况下，运输系统和/或基体120可从盖开口 103外进入。
[0065]图3B示出根据不同的实施方式的在闭合状态下的在图3A中以打开状态示出的真空室100。在此，室盖304可松动地被置于室壳体102上，或借助于额外的固定结构被固定在室壳体102上。在闭合室盖304时，室盖304的和室壳体102的相应密封面相互邻接，使得可提供真空密封的真空室100。
[0066]图4以透视图示出根据不同的实施方式的真空室100，其中，室盖304被置于室壳体102上，如前所述的。在室盖304与室壳体的室底部102b之间可提供运输区域。在运输区域中，运输滚筒110可借助于支架410被保持，例如可旋转地被支承。此外，可提供用于运输滚筒110的至少一部分的驱动部。
[0067]根据不同的实施方式，在运输区域中，在运输滚筒110之间的区域可借助于额外的填料414被填充，使得减小在运输区域中待抽真空的容积。应理解，填料414不阻碍在借助于运输滚筒110(在运输滚筒110上)提供的运输面中的基体运输。
[0068]根据