一种用于氢化炉的加热装置及氢化炉的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种用于氢化炉的加热装置，包括：底盘；多个加热器；多个电极，通过绝缘体贯穿底盘且多个电极沿底盘圆周方向分N环布置，多个电极被分为三组，每组中的多个电极被分为多对，每对电极的电极头部通过一个加热器相连，且每组中的相邻两对电极的电极尾部之间通过导电体串联，三组中的每一组的电极由三相电中的一相供电。本实用新型的用于氢化炉的加热装置结构简单，操作方便，易于实现，且能很好的保证氢化炉的反应功率及温度，提高氢化炉的最大运行功率，能有效地保证氢化转化率，确保系统的平衡及稳定。本实用新型还提供了一种氢化炉。
【专利说明】一种用于氢化炉的加热装置及氢化炉
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及多晶硅生产【技术领域】，特别涉及一种用于氢化炉的加热装置及氢化炉。
【背景技术】
[0002]目前国内主流多晶硅生产技术多采用改良西门子法，该方法通过在高温条件下三氯氢硅和氢气发生化学气相沉积反应得到高纯多晶硅，同时产生大量的副产物四氯化硅需要循环利用。在热氢化工序中，将四氯化硅和氢气送入氢化炉，并给氢化炉内加热器通入电流，当炉内温度达到1250°C时，四氯化硅与氢气反应生成多晶硅生产原料三氯氢硅。氢化加热器的功率直接影响反应温度，从而影响氢化的转化率，而加热器材质的电阻率直接影响氢化加热器的功率。现有技术多采用单相六对加热器三三并联来达到反应功率，增加了每对加热器的电阻，从而增加了加热器的成本，影响氢化效率。
实用新型内容
[0003]本实用新型旨在至少解决上述技术问题之一或至少提供一种有用的商业选择。
[0004]为此，本实用新型的一个目的在于提供一种用于氢化炉的加热装置，该装置结构简单，操作方便，易于实现，且能很好的保证氢化炉的反应功率及温度，提高氢化炉的最大运行功率，能有效地保证氢化转化率，确保系统的平衡及稳定。
[0005]本实用新型的另一个目的在于提供一种氢化炉。
[0006]为了实现上述目的，本实用新型第一方面提供了一种用于氢化炉的加热装置，包括:底盘；多个加热器；多个电极，所述多个电极通过绝缘体贯穿所述底盘且所述多个电极沿底盘圆周方向分N环布置，所述多个电极被分为三组，每组中的多个电极被分为多对，每对电极的电极头部通过一个加热器相连，且每组中的相邻两对电极的电极尾部之间通过导电体串联，所述三组中的每一组的电极由三相电中的一相供电。
[0007]根据本实用新型的用于氢化炉的加热装置，机构简单，操作方便，易于实现，且能很好的保证氢化炉的反应功率及温度，并使每对加热器的电阻降低，从而使加热器材质电阻率的要求降低，材质选取范围增大，从而降低了加热器的采购成本，该装置还可以提高氢化炉的最大运行功率，能有效地保证氢化转化率，确保系统的平衡及稳定。
[0008]另外，根据本实用新型上述的用于氢化炉的加热装置还可以具有如下附加的技术特征:
[0009]在本实用新型中，所述导电体为夹具，所述夹具固定在对应的电极尾部。
[0010]在本实用新型中，所述夹具包括同环双头夹具、环间双头夹具和单头夹具。
[0011 ] 在本实用新型中，所述夹具为镀银的铜制夹具。
[0012]在本实用新型中，所述加热器垂直安装在对应的电极头部之上。
[0013]在本实用新型中，所述加热器由石墨制成。
[0014]在本实用新型中，所述多个电极的电极头部位于所述底盘的上方，所述多个电极的电极尾部位于所述底盘的下方。
[0015]在本实用新型中，所述多个电极被均分为3组。
[0016]在本实用新型中，所述多个电极通过绝缘体贯穿所述底盘且所述多个电极沿底盘圆周方向分3环布置。
[0017]本实用新型第二方面提供了一种氢化炉，包括:炉体；如权利要求1-9任一项所述的用于氢化炉的加热装置，所述用于氢化炉的加热装置设置在所述炉体内。
[0018]根据本实用新型的氢化炉，其内部机构简单，操作方便，易于实现，且能很好的保证氢化炉的反应功率及温度，并使每对加热器的电阻降低，从而使加热器材质电阻率的要求降低，材质选取范围增大，从而降低了加热器的采购成本，该装置还可以提高氢化炉的最大运行功率，能有效地保证氢化转化率，确保系统的平衡及稳定。
[0019]本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
【专利附图】
【附图说明】
[0020]本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:
[0021]图1为根据本实用新型一个实施例的用于氢化炉的加热装置的结构图；
[0022]图2为根据本实用新型另一个实施例的用于氢化炉的加热装置的结构图；
[0023]和
[0024]图3为根据本实用新型一个实施例的氢化炉的结构图。
【具体实施方式】
[0025]下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
[0026]在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为
基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0027]在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0028]下面参考附图描述根据本实用新型实施例的用于氢化炉的加热装置及氢化炉。
[0029]图1是根据本实用新型一个实施例的用于氢化炉的加热装置的结构图。[0030]如图1所示，根据本实用新型一个实施例的用于氢化炉的加热装置120(图中未标出)，包括:底盘1、多个加热器2和多个电极4。
[0031]其中，多个电极4通过绝缘体贯穿底盘I且多个电极4沿底盘I圆周方向分为N环布置，多个电极4被分为三组，每组中的电极被分为多对，每对电极的电极头部通过一个加热器2相连，且每组中的相邻两对电极的电极尾部之间通过导电体串联，三组中的每一组的电极由三相电中的一相供电。
[0032]其中，上述的导电体为夹具，且夹具为镀银的铜质夹具，具有很好的导电性，夹具固定在对应的电极尾部，且夹具包括同环双头夹具3、环间双头夹具5和单头夹具7。具体地，底盘I上设置有多层圆环，多个电极4分布在多个圆环上，同环双头夹具3用于连接同环之间的相临电极，环间双头夹具5用于连接不同环之间的电极，单头夹具7用于连接单个电极。
[0033]多个加热器2由石墨制成，并垂直安装在对应的多个电极4头部之上。
[0034]如图2所示，多个电极4的电极头部位于底盘I的上方，多个电极4的电极尾部位于底盘I的下方，每对电极的电极头部通过一个加热器2相连，且每组中的相邻两对电极的电极尾部之间通过夹具串联，且在本实用新型的一个优选实施例中，结合图1，多个电极4被均分为3组，且多个电极4通过绝缘体贯穿底盘I并沿底盘圆周方向分为3环布置，3组电极分别由U、W、V三相电供电。
[0035]作为具体的示例，结合图1和图2，本实用新型的用于氢化炉的加热装置，包括多个电极4，电极4通过绝缘体穿过氢化炉底盘1，底盘I下部电极通过夹具连接,底盘I下部同环两电极间采用同环双头夹具3按图1连接，底盘I下部环间两电极采用环间双头夹具5按图1连接，底盘I下部单电极采用单头夹具7按图1连接，且多个电极4分为三组，分别由U、V、W和N供电，在未用夹具的底盘I上部两电极头间安装成对加热器2，加热器2垂直树立安装在电极4上，从而通过这种电气连接将U、V、W中每相的6对加热器串联起来，在保证氢化正常运行的情况下，大大降低了每对加热器的电阻，从而使加热器材质电阻率要求降低，材质选取范围增大，大大降低了加热器的成本，而在该热氢化过程中，产生的尾气可通过尾气管道6排放出去。其中，夹具由镀银的铜制成，可以保证其有良好的导电性，加热器2由石墨制成，具有良好的导电性、耐热性和耐腐蚀性，且性价比较高。
[0036]根据本实用新型实施例的用于氢化炉的加热装置，机构简单，操作方便，易于实现，且能很好的保证氢化炉的反应功率及温度，并使每对加热器的电阻降低，从而使加热器材质电阻率的要求降低，材质选取范围增大，从而降低了加热器的采购成本，该装置还可以提高氢化炉的最大运行功率，能有效地保证氢化转化率，确保系统的平衡及稳定。
[0037]图3为根据本实用新型一个实施例的氢化炉的结构图。
[0038]如图3所示，根据本实用新型一个实施例的氢化炉100，包括保温罩110和本实用新型第一方面实施例提出的用于氢化炉的加热装置120，且该用于氢化炉的加热装置120设置在保温罩110内。
[0039]根据本实用新型的氢化炉，其内部结构简单，操作方便，易于实现，且能很好的保证氢化炉的反应功率及温度，并使每对加热器的电阻降低，从而使加热器材质电阻率的要求降低，材质选取范围增大，从而降低了加热器的采购成本，该装置还可以提高氢化炉的最大运行功率，能有效地保证氢化转化率，确保系统的平衡及稳定。[0040]在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0041]尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同限定。
【权利要求】
1.一种用于氢化炉的加热装置，其特征在于，包括: 底盘； 多个加热器； 多个电极，所述多个电极通过绝缘体贯穿所述底盘且所述多个电极沿底盘圆周方向分N环布置，所述多个电极被分为三组，每组中的多个电极被分为多对，每对电极的电极头部通过一个加热器相连，且每组中的相邻两对电极的电极尾部之间通过导电体串联，所述三组中的每一组的电极由三相电中的一相供电。
2.如权利要求1所述的用于氢化炉的加热装置，其特征在于，所述导电体为夹具，所述夹具固定在对应的电极尾部。
3.如权利要求2所述的用于氢化炉的加热装置，其特征在于，所述夹具包括同环双头夹具、环间双头夹具和单头夹具。
4.如权利要求2或3所述的用于氢化炉的加热装置，其特征在于，所述夹具为镀银的铜制夹具。
5.如权利要求1所述的用于氢化炉的加热装置，其特征在于，所述加热器垂直安装在对应的电极头部之上。
6.如权利要求1所述的用于氢化炉的加热装置，其特征在于，所述加热器由石墨制成。
7.如权利要求1所述的用于氢化炉的加热装置，其特征在于，所述多个电极的电极头部位于所述底盘的上方，所述多个电极的电极尾部位于所述底盘的下方。
8.如权利要求1所述的用于氢化炉的加热装置，其特征在于，所述多个电极被均分为3组。
9.如权利要求1所述的用于氢化炉的加热装置，其特征在于，所述多个电极通过绝缘体贯穿所述底盘且所述多个电极沿底盘圆周方向分3环布置。
10.一种氢化炉，其特征在于，包括: 炉体； 如权利要求1-9任一项所述的用于氢化炉的加热装置，所述用于氢化炉的加热装置设置在所述炉体内。
【文档编号】C01B33/107GK203382514SQ201320306035
【公开日】2014年1月8日 申请日期:2013年5月30日 优先权日:2013年5月30日
【发明者】赵桂洁, 顾国宝, 杨丞杰, 王世松, 何书玉, 李鸿祥, 陈忠苑, 付金林, 刘柯, 周文韬, 黄磊, 张新红 申请人:昆明冶研新材料股份有限公司