技术总结
本发明的目的在于提供用以得到十二羰基三钌(DCR)的纯化方法，该DCR为化学沉积原料用的DCR，并且即使在形成钌薄膜时也不会在薄膜中混入杂质。本发明涉及通过重结晶法纯化由DCR构成的化学沉积原料用的有机钌化合物的方法，其中至少在溶解阶段中，溶剂中的溶解氧浓度为0.2mg/L以下。根据本发明，可从DCR中分离出微量的杂质，如果通过由此得到的DCR来形成钌薄膜，则难以在形成的膜中混入杂质。另外，本发明的纯化方法也可在用于形成钌薄膜后，应用于DCR的回收纯化。
技术研发人员：中川裕文;石坂翼;石田博文;熊仓亚希子
受保护的技术使用者：田中贵金属工业株式会社
文档号码：201580029464
技术研发日：2015.06.02
技术公布日：2017.02.22