一种氮化铝原料高温提纯方法与流程

文档序号:12416665阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种氮化铝原料高温提纯方法,通过多段式保温步骤、加热温度的依次递增以及高纯氮气的输入,能够高效的去除氮化铝粉末中的杂质,为后续的氮化铝单晶材料的生长提供了较好的长晶材料。

技术研发人员:吴亮;汪佳;曹凯;刘理想;王智昊;龚加玮;王琦琨
受保护的技术使用者:苏州奥趋光电技术有限公司
文档号码:201611198615
技术研发日:2016.12.22
技术公布日:2017.05.31

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