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一种氮化铝原料高温提纯方法与流程
文档序号:12416665
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来源:国知局
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一种氮化铝原料高温提纯方法与流程
技术总结
本发明公开了一种氮化铝原料高温提纯方法,通过多段式保温步骤、加热温度的依次递增以及高纯氮气的输入,能够高效的去除氮化铝粉末中的杂质,为后续的氮化铝单晶材料的生长提供了较好的长晶材料。
技术研发人员:
吴亮;汪佳;曹凯;刘理想;王智昊;龚加玮;王琦琨
受保护的技术使用者:
苏州奥趋光电技术有限公司
文档号码:
201611198615
技术研发日:
2016.12.22
技术公布日:
2017.05.31
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