一种氮化铝原料的纯化装置的制作方法

文档序号:12548511阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种氮化铝原料的纯化装置,其特征在于,所述纯化装置包括保温层、发热筒、隔离坩埚和原料坩埚;其中,氮化铝原料装填到所述原料坩埚内并封装;所述原料坩埚放置在所述隔离坩埚内;所述隔离坩埚放置在所述发热筒内;所述保温层包裹在所述发热筒的外侧。

2.根据权利要求1所述的氮化铝原料的纯化装置,其特征在于,所述保温层是由碳毡、石墨毡或碳纤维毡制成。

3.根据权利要求1所述的氮化铝原料的纯化装置,其特征在于,所述发热筒由石墨制成。

4.根据权利要求1所述的氮化铝原料的纯化装置,其特征在于,所述隔离坩埚为碳化钽坩埚或碳化钨坩埚。

5.根据权利要求1所述的氮化铝原料的纯化装置,其特征在于,所述隔离坩埚内侧底部设置有若干个具有设定深度的坑槽,所述坑槽的固位件由钨片或碳化钽片制成;所述固位件套设在坩埚外侧。

6.根据权利要求5所述的氮化铝原料的纯化装置,其特征在于,所述坑槽的深度为0-20mm。

7.根据权利要求1所述的氮化铝原料的纯化装置,其特征在于,所述原料坩埚由金属钨或金属铱制成。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1