一种石墨隔热装置及具有石墨隔热装置的CVD反应器的制作方法

文档序号:12183706阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种石墨隔热装置,其特征在于,包括石墨内筒(4),石墨内筒(4)包括两组以上的层级结构,每组层级结构包括两个以上的石墨本体(1),所述石墨本体(1)的上端设有第一榫眼结构(3),下端设有第一榫头结构(2),石墨本体(1)的两侧壁分别设有第二榫眼结构(6)以及第二榫头结构(5);左右相邻的石墨本体(1)通过首尾相连榫接形成层级结构,层级结构之间通过上下相邻的石墨本体(1)榫接。

2.根据权利要求1所述的一种石墨隔热装置,其特征在于,所述石墨本体(1)具有相互配合的斜度。

3.根据权利要求2所述的一种石墨隔热装置,其特征在于,所述石墨内筒(4)为圆筒状。

4.根据权利要求2所述的一种石墨隔热装置,其特征在于,所述石墨内筒(4)最下端的石墨本体(1)的下端不具有第一榫头结构(2),所述石墨内筒(4)最上端的石墨本体(1)的上端不具有第一榫眼结构(3)。

5.根据权利要求1所述的一种石墨隔热装置,其特征在于,所述第一榫头结构(2)、第二榫头结构(5)、第一榫眼结构(3)和第二榫眼结构(6)为梯形。

6.根据权利要求1所述的一种石墨隔热装置,其特征在于,所述第一榫头结构(2)、第二榫头结构(5)、第一榫眼结构(3)和第二榫眼结构(6)为三角形。

7.根据权利要求1所述的一种石墨隔热装置,其特征在于,所述第一榫头结构(2)、第二榫头结构(5)、第一榫眼结构(3)和第二榫眼结构(6)为楔形。

8.根据权利要求1所述的一种石墨隔热装置,其特征在于,所述第一榫头结构(2)、第二榫头结构(5)、第一榫眼结构(3)和第二榫眼结构(6)为半圆形。

9.根据权利要求1所述的一种石墨隔热装置,其特征在于,所述第一榫头结构(2)、第二榫头结构(5)、第一榫眼结构(3)和第二榫眼结构(6)为W形。

10.一种具有石墨隔热装置的CVD反应器,其特征在于,包括石墨隔热装置。

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