1.一种SiC涂层石墨基座，所述石墨基座包括基座体和所述基座体上的多个口袋，其特征在于，所述口袋内有台阶，所述基座体中心位置口袋的台阶低于其他位置口袋的台阶，且所述基座体中心位置口袋的底部凸起，使得底面中心高于底面四周。
2.如权利要求1所述的SiC涂层石墨基座，其特征在于，所述基座体中心位置口袋的台阶比其他位置口袋的台阶低20-100μm，所述基座体中心位置口袋的底面中心比底面四周高5-40μm。
3.如权利要求2所述的SiC涂层石墨基座，其特征在于，所述基座体中心位置口袋的台阶比其他位置口袋的台阶低50-100μm，所述基座体中心位置口袋的底面中心比底面四周高10-40μm。
4.如权利要求3所述的SiC涂层石墨基座，其特征在于，所述基座体中心位置口袋的底面中心比底面四周高10-20μm。
5.如权利要求1-4中任一项所述的SiC涂层石墨基座，其特征在于，所述基座体具有19个4英寸口袋。