一种多晶硅铸锭炉用坩埚保护板的制作方法

文档序号:11329889阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多晶硅铸锭炉用坩埚保护板,其特征在于,包括盖板和隔热层,所述盖板设置于多晶硅铸锭炉坩埚顶部,所述盖板为中间有圆形通孔的矩形体,所述隔热层贴合在所述盖板外侧。

2.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉用坩埚保护板,其特征在于,所述隔热层的材质为石墨硬毡或石墨软毡。

3.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉用坩埚保护板,其特征在于,所述隔热层为矩形结构,四张所述隔热层的外侧边缘与所属盖板外侧边缘对齐,贴合在所述盖板外侧四周边缘,且相邻所述隔热层的边缘拼接在一起,所述隔热层的内侧边缘不能遮挡住所述盖板的圆形通孔。

4.如权利要求3所述的一种多晶硅铸锭炉用坩埚保护板,其特征在于,所述隔热层的宽度范围为100mm-600mm,厚度为4mm-30mm。

5.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉用坩埚保护板,其特征在于,所述隔热层为中间有圆形通孔的矩形体,所述隔热层的外侧边缘与所属盖板外侧边缘对齐,所述隔热层通孔与所述盖板通孔的圆心相同,所述隔热层的通孔的直径等于或大于所述盖板的通孔的直径。

6.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉用坩埚保护板,其特征在于,所述隔热层和通过螺杆螺帽组件固定在所述盖板上。

7.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉用坩埚保护板,其特征在于,所述盖板为碳-碳复合材料盖板。

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