一种多晶硅铸锭炉用坩埚保护板的制作方法

文档序号:11329889阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉用坩埚保护板,包括盖板和隔热层,所述盖板设置于多晶硅铸锭炉坩埚顶部,所述盖板为中间有圆形通孔的矩形体,所述隔热层贴合在所述盖板外侧。本实用新型在盖板上覆盖一层隔热层,一方面利用隔热层来阻挡头部加热器对硅锭边角的直接热辐射,起到调平固液界面的效果,有利于边角长晶,另一方面使得头部加热器辐射到硅液的热量减少,头部硅液对流会减弱,固液界面处的杂质有利于向头部区域扩散,减少晶体中的杂质,提高硅锭的质量。

技术研发人员:陈红荣;胡动力;徐云飞
受保护的技术使用者:江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
文档号码:201621318840
技术研发日:2016.12.05
技术公布日:2017.09.08

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