技术总结
本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的热场结构，坩埚中部的中心圆柱铜电极及中心圆柱加热器，坩埚的中部设置有对应中心圆柱加热器的中心圆柱加热槽，中心圆柱加热器设置在中心圆柱加热槽内；石墨护罩的侧壁由上至下厚度递减并形成倒置梯形，石墨护罩的侧壁对应坩埚的一侧面垂直设置并平行于坩埚的壁面且外侧面倾斜设置；侧部加热器倾斜设置并与石墨护罩侧壁的外侧面平行设置。该实用新型由于在坩埚的中间采用入圆柱加热并通过将热场结构的石墨护罩侧壁厚度逐渐变小，并配合将侧部加热器倾斜设置，可以有效提高坩埚内底部及底角处物料的加热效率，从而整体提高多晶硅的受热均匀度以提高结晶均匀度及铸锭质量。
技术研发人员：蒋兴贤
受保护的技术使用者：常州兆晶光能有限公司
文档号码：201621321580
技术研发日：2016.12.02
技术公布日：2017.09.05