玻璃膜的制造方法以及包含玻璃膜的电子设备的制造方法与流程

本发明涉及玻璃膜的制造方法以及包含玻璃膜的电子设备的制造方法，尤其涉及用于从支承体剥离玻璃膜的技术。

背景技术：

近年来，从省空间化的观点出发，代替以往普及的crt型显示器，液晶显示器、等离子体显示器、有机el显示器、场发射显示器等平板显示器逐渐普及。并且，这些平板显示器谋求进一步的薄型化。

特别是，在有机el显示器、有机el照明中，利用其厚度尺寸非常小(薄)的情况，从而使其具有能够折叠或卷绕这样的功能。由此，不仅便于携带，而且除以往的平面状态以外还能够实现曲面状态下的使用，因此期待灵活应用于各种各样的用途。因此，这些电子设备所使用的玻璃基板、玻璃罩也要求挠性的进一步提高。

为了对玻璃基板赋予挠性，使玻璃基板薄壁化是有效的。在此，例如在专利文献1中，提出了厚度尺寸为200μm以下的玻璃膜，由此，能够对玻璃基板赋予能够实现曲面状态下的使用的程度高的挠性。

另一方面，对平板显示器、太阳能电池等电子设备所使用的玻璃基板实施二次加工、清洗等各种各样的电子设备制造相关处理。然而，当使这些电子设备所使用的玻璃基板薄壁化时，由于玻璃是脆性材料，因此产生即便是略微的应力变化也会导致破损的情况，在进行电子设备制造相关处理时，存在操作非常困难这样的问题。此外，厚度尺寸为200μm以下的玻璃膜富有挠性，因此还存在在实施各种制造相关处理时难以进行定位(例如在进行图案化时产生偏移)这样的问题。

关于上述问题，例如如专利文献2所示，提出了将玻璃膜和支承该玻璃膜的支承玻璃层叠并相互固定而成的层叠体。若对该层叠体实施各种制造相关处理，则即使在使用在单体的情况下缺乏强度、刚性的玻璃膜的情况下，支承玻璃也作为加强材料而发挥作用，因此在进行各处理时作为层叠体而能够容易地进行定位。另外，在处理结束后，通过将支承玻璃从玻璃膜剥离，能够最终仅得到实施了所需的处理的玻璃膜。进一步进行说明，通过将包含玻璃膜的层叠体的厚度尺寸设为与以往(现有)的玻璃基板的厚度尺寸相同，能够期待可将以往的玻璃基板用的生产线用(共用)作电子设备用生产线的优点。

另一方面，在各种制造相关处理中，也存在透明的导电膜的成膜处理、密封处理等伴随有加热的处理。在对上述结构的层叠体实施伴随有加热的处理的情况下，处于直接或者经由树脂层、无机薄膜层等而间接地紧贴的状态下的支承玻璃和玻璃膜的固定力增加，因此产生难以从支承玻璃剥离玻璃膜这样的问题。

为了解决上述问题，例如在专利文献3中提出了如下的方法：在从玻璃基板上紧贴有固定于支承玻璃基板且具有易剥离性的树脂层的带支承体的电子设备剥离由支承玻璃基板以及树脂层构成的支承体时，向支承体的树脂层和玻璃基板的界面插入刀具，由此从包含玻璃基板的电子设备剥离支承体。

另外，为了解决上述问题，例如在专利文献4中提出了如下的玻璃膜层叠体：支承玻璃以从玻璃膜伸出的方式层叠，在支承玻璃的端边设置有薄壁部，玻璃膜的端边的至少一部分在薄壁部上与支承玻璃分离开。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-132531号公报

专利文献2：国际公开2011/048979号

专利文献3：日本特开2013-147325号公报

专利文献4：日本特开2012-131664号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

然而，在如专利文献3所记载那样，想要通过向玻璃膜与支承体之间插入刀具来开始剥离的情况下，需要每次检查插入刀具的位置，并根据检测结果来使刀具移动。因此，所需的机构复杂化。另外，在玻璃膜和支承体在直至其端部的范围内相互紧贴的情况下，在玻璃膜与支承体的界面不存在插入刀具的间隙，需要以较强的力将刀具压入界面。在像这样将刀具压入界面的情况下，可能因作用于玻璃膜的压入力而导致玻璃膜的端部破损。

另一方面，在专利文献4中，在支承玻璃的端部设置有薄壁部，玻璃膜的端边的一部分在该薄壁部上与支承玻璃分离开，因此认为能够容易地把持玻璃膜，能够在不使玻璃膜破损的情况下比较容易地剥离。然而，若采用该方法，则需要预先对支承玻璃的一部分实施特殊的加工，加工成本提高。另外，有时在电子设备的制造相关处理中使用药液等溶剂，若在层叠体的状态下在玻璃膜与支承玻璃之间存在有间隙，则存在因溶剂进入该间隙并固着，从而存在在从支承玻璃剥离玻璃膜时玻璃膜发生破损等问题，因此存在能够应用的范围有限这样的问题。

鉴于以上的情况，在本说明书中，将与制造相关处理的种类无关地简单且低成本地从支承体剥离玻璃膜作为本发明所要解决的第一技术课题。

另外，鉴于以上的情况，在本说明书中，将与制造相关处理的种类无关地简单且低成本地从支承体剥离包含玻璃膜的电子设备作为本发明所要解决的第二技术课题。

用于解决课题的手段

所述第一技术课题的解决通过本发明所涉及的玻璃膜的制造方法来实现。即，该制造方法涉及一种玻璃膜的制造方法，其具备：层叠体形成工序，在该层叠体形成工序中，将玻璃膜与支承玻璃膜的支承体以支承体从玻璃膜伸出的方式层叠，从而形成包含玻璃膜的层叠体；制造相关处理工序，在该制造相关处理工序中，对层叠体实施制造相关处理；以及剥离工序，在制造相关处理工序之后，在该剥离工序中，从支承体剥离玻璃膜，玻璃膜的制造方法的特征在于，剥离工序具有：剥离起点部制作工序，在该剥离起点部制作工序中，从支承体剥离玻璃膜的一部分，来制作成为在玻璃膜的整面上剥离玻璃膜时的起点的剥离起点部；和剥离推进工序，在该剥离推进工序中，以剥离起点部作为起点推进玻璃膜从支承体剥离，剥离起点部制作工序具有：支点形成工序，在该支点形成工序中，在支承体的从玻璃膜伸出的角部设置支承支承体的第一支点，并且在与第一支点分离开的位置设置支承层叠体的第二支点；凹状变形工序，在该凹状变形工序中，在第一支点与第二支点之间设置由外力赋予构件进行作用的外力的作用点，由此以在支承体侧产生凹部的方式使层叠体的一部分变形为凹状；以及插入工序，在该插入工序中，在层叠体的一部分变形为凹状的期间，向玻璃膜与支承体之间插入插入构件，从而剥离玻璃膜的一部分。需要说明的是，这里所说的“制造相关处理”当然包括直接对玻璃膜实施某种加工的处理，还广泛包括其他构件的安装、玻璃膜表面的清洗等、用于间接地使玻璃膜或者包含玻璃膜的设备接近最终产品(出厂状态)的处理。

在本发明中，通过在从玻璃膜伸出的支承体的角部设置第一支点，并且在与第一支点分离开的位置设置第二支点，且在上述双方的支点之间设置外力的作用点，从而使层叠体的一部分变形为凹状，因此能够使上述层叠体的一部分以比以往大的曲率变形。由此，能够提高因支承体与玻璃膜之间的曲率的不同而产生的剪切力，在之后的插入工序中，能够容易地从支承体剥离玻璃膜的一部分。另外，通过以在支承体侧产生凹部的方式使层叠体的一部分变形为凹状，从而在层叠体的凹状变形时，在容易形成为比玻璃膜厚壁(厚度尺寸的限制少)的支承体侧作用有较大的弯曲应力(压缩应力)。由此，能够避免玻璃膜和支承体上作用有过大的负载的情况，从而防止玻璃膜和支承体的破损。另外，在使层叠体的一部分变形为凹状后将插入构件插入支承体与玻璃膜之间，因此在插入有插入构件的期间不增大层叠体的变形量也没有问题。因此，由此也能够避免玻璃膜和支承体上作用有过大的负荷的情况，从而防止在制作剥离起点部时玻璃膜和支承体破损。

另外，在本发明所涉及的玻璃膜的制造方法中，也可以为，以支承体处于上侧而玻璃膜处于下侧的方式将层叠体载置于载置台，且使支承体的至少角部从载置台的载置面伸出，利用载置面的端部设置第二支点。

若像这样设置第二支点，则仅通过将层叠体载置于载置台，便能够容易地设置第二支点。另外，仅通过变更载置面的端部形状，便能够调整第二支点的形态。因此，能够比较容易地控制上述的层叠体的一部分的凹状变形。

另外，在本发明所涉及的玻璃膜的制造方法中，也可以为，利用插入构件设置第一支点。

若像这样设置第一支点，则与通过载置面的端部设置第二支点的情况同样，能够容易地设置第一支点。另外，在插入工序中，插入构件其本身作为第一支点的形成构件而发挥功能，因此随着插入开始后的插入构件的移动，第一支点的位置也沿剥离的推进方向行进。由此，能够将插入构件的插入方式保持为恒定的状态，从而顺畅地进行剥离起点部的形成动作。当然，通过将插入构件兼作为第一支点的形成构件，从而有助于部件数量的削减，因此在设备成本方面也优选。

另外，在本发明所涉及的玻璃膜的制造方法中，也可以为，作为外力赋予构件而使用吸附构件，由吸附构件从玻璃膜侧对第一支点与第二支点之间进行吸附，并使吸附构件向远离支承体的方向移动。

或者，在本发明所涉及的玻璃膜的制造方法中，也可以为，作为外力赋予构件而使用按压构件，由按压构件从支承体侧朝向玻璃膜侧对第一支点与第二支点之间进行按压。

通过如上述那样在对第一支点与第二支点之间进行吸附后使吸附构件向远离支承体的方向移动，或者，在通过按压构件从支承体侧朝向玻璃膜侧对第一支点与第二支点之间进行按压，从而不会对玻璃膜、支承体施加过大的负载，能够在适于使层叠体的一部分变形为凹状的位置(例如，第一支点与第二支点的中间地点)，设置在玻璃膜的厚度方向上远离支承体的方向的外力的作用点。因此，能够稳定地产生层叠体的凹状变形。特别是，若在通过吸附构件对层叠体的一部分进行吸附后，通过使该吸附构件向远离支承体的方向移动(通过吸附构件拉拽层叠体)而使其变形为凹状，则能够避免外力赋予构件继续留于在支承体侧产生的凹部中的情况。因此，能够在插入构件的插入开始后，玻璃膜保持变形为凹状的状态，并同时避免插入构件与外力赋予构件干涉的情况，从而在直至形成剥离起点部为止的期间，将插入构件顺畅地插入。另外，通过以在支承体侧产生凹部的方式使层叠体的一部分变形为凹状，从而支承体以及玻璃膜上作用有要恢复到变形为凹状前的平坦的状态的朝向的反作用力(复原力)。因此，在利用吸附构件对玻璃膜侧进行吸附的情况下，玻璃膜中产生的复原力被由吸附构件产生的朝向下方的拉力抵消，其结果是，成为仅在支承体侧作用有上述的复原力的状态。由此，例如在通过载置面平坦地支承层叠体，并且使层叠体的一部分变形为凹状的状态下，在开始向玻璃膜与支承体之间插入插入构件后，使插入构件沿着载置面的平面方向移动，在该情况下，能够使插入构件沿着与层叠体的被平坦地支承的部位平行的方向滑动，能够顺畅地进行剥离起点部的制作动作。

另外，在本发明所涉及的玻璃膜的制造方法中，也可以为，作为插入构件而使用楔状构件，将楔状构件的插入方向与楔状构件的刃尖方向所成的角设定为20°以上且45°以下，优选设定为20°以上且30°以下，来将楔状构件插入玻璃膜与支承体之间。

在如上述那样作为插入构件而使用楔状构件的情况下，通过确定楔状构件的刃尖形状与插入方向的关系，能够在不对玻璃膜和支承体施加过大的负载的情况下插入楔状构件，从而顺畅地进行剥离起点部的制作动作。

另外，在本发明所涉及的玻璃膜的制造方法中，可以将从第一支点到第二支点的最短距离设定为30mm以上且200mm以下，优选设定为30mm以上且150mm以下，更优选设定为50mm以上且100mm以下。需要说明的是，在如上述那样利用载置面的端部设置第二支点的情况等、存在多个第二支点的情况下，将多个第二支点中的距第一支点的距离最短的第二支点与第一支点的直线距离作为“从第一支点到第二支点的最短距离”来进行处理。

这样，通过在设定了成为凹状变形的对象的层叠体的所谓支点间距离的状态下，使层叠体的一部分变形为凹状，能够从该层叠体的角部高效且稳定地开始由插入构件进行的玻璃膜的剥离。即，这是因为，若支点间距离过长，则无法对角部充分赋予因凹状变形产生的剥离开始力(复原力)，另外若支点间距离过短，则因凹状变形而作用有过大的力导致玻璃膜的破损的可能性升高。

另外，在本发明所涉及的玻璃膜的制造方法中，可以将在层叠体的一部分变形为凹状的期间，在支承体侧产生的凹部的最大深度尺寸设定为1mm以上且5mm以下，优选设定为2mm以上且4mm以下。

这样，通过设定对于层叠体的一部分的凹状变形的程度，也能够从该层叠体的角部高效且稳定地开始由插入构件的插入动作进行的玻璃膜的剥离。即，这是因为：若凹状变形的程度过小(凹部的最大深度尺寸过小)，则无法对角部充分地赋予因凹状变形产生的剥离开始力(复原力)，难以将插入构件顺畅地插入。或者，这是因为：若凹状变形的程度过大(最大深度尺寸过大)，则可能导致玻璃膜的破损。

另外，在本发明所涉及的玻璃膜的制造方法中，可以将插入构件从开始向玻璃膜与支承体之间插入起的移动距离设为5mm以上且50mm以下，优选设为10mm以上且30mm以下。

这样，通过设定插入构件从开始插入动作起的移动距离，也能够在不对玻璃膜和支承体施加过大的负载的情况下插入插入构件，从而顺畅地进行剥离起点部的制作动作。

另外，在本发明所涉及的玻璃膜的制造方法中，也可以为，支承体是板状玻璃。另外，在该情况下，也可以为，通过使板状玻璃与玻璃膜直接紧贴来形成层叠体。

通过像这样将支承体设为板状玻璃，能够低成本地制造面精度优异的支承体。另外，通过像这样使面精度优异的板状玻璃与玻璃膜直接紧贴，能够将玻璃膜不发生位置偏移地固定于支承体，并同时能够通过本发明可靠且安全地将玻璃膜从作为支承体的板状玻璃剥离。

另外，所述第二技术课题的解决通过本发明所涉及的包含玻璃膜的电子设备的制造方法来实现。即，该制造方法涉及一种电子设备的制造方法，其具备：层叠体形成工序，在该层叠体形成工序中，将玻璃膜与支承玻璃膜的支承体以支承体从玻璃膜伸出的方式层叠，从而形成包含玻璃膜的层叠体；安装工序，在该安装工序中，向层叠体的玻璃膜安装电子设备元件而形成带支承体的电子设备；以及剥离工序，在安装工序之后，在该剥离工序中，从带支承体的电子设备的支承体剥离包含玻璃膜的电子设备，包含玻璃膜的电子设备的制造方法的特征在于，剥离工序具有：剥离起点部制作工序，在该剥离起点部制作工序中，从支承体剥离玻璃膜的一部分，来制作成为在玻璃膜的整面上剥离玻璃膜时的起点的剥离起点部；和剥离推进工序，在该剥离推进工序中，以剥离起点部作为起点推进电子设备从支承体剥离，剥离起点部制作工序具有：支点形成工序，在该支点形成工序中，在支承体的从玻璃膜伸出的角部设置支承支承体的第一支点，并且在与第一支点分离开的位置设置支承电子设备的第二支点；凹状变形工序，在该凹状变形工序中，在第一支点与第二支点之间设置由外力赋予构件进行作用的外力的作用点，由此以在支承体侧产生凹部的方式使层叠体的一部分变形为凹状；以及插入工序，在该插入工序中，在层叠体的一部分变形为凹状的期间，向玻璃膜与支承体之间插入插入构件，从而剥离玻璃膜的一部分。

这样，在从带支承体的电子设备的支承体剥离包含玻璃膜的电子设备时，在本发明中，也在从玻璃膜伸出的支承体的角部设置第一支点，并且在与第一支点分离开的位置设置第二支点，且在上述双方的支点之间设置外力的作用点，从而使层叠体的一部分变形为凹状，因此能够使上述层叠体的一部分以比以往大的曲率变形。由此，能够提高因支承体与玻璃膜之间的曲率的不同而产生的剪切力，在之后的插入工序中，能够容易地从支承体剥离玻璃膜的一部分。另外，通过以在支承体侧产生凹部的方式使层叠体的一部分变形为凹状，从而在层叠体的凹状变形时，在容易形成为比玻璃膜厚壁(厚度尺寸的限制少)的支承体侧作用有较大的弯曲应力(压缩应力)。由此，能够避免玻璃膜和支承体上作用有过大的负载的情况，从而防止玻璃膜和支承体的破损。另外，在使层叠体的一部分变形为凹状后将插入构件插入支承体与玻璃膜之间，因此在插入有插入构件的期间不增大层叠体的变形量也没有问题。因此，由此也能够避免玻璃膜和支承体上作用有过大的负荷的情况，从而防止在制作剥离起点部时玻璃膜和支承体破损。由此，根据本发明，能够在不对玻璃膜等施加过大的负载的情况下将包含玻璃膜的电子设备与支承体安全地分离。

发明效果

如以上所述那样，根据本发明，能够与制造相关处理的种类无关地简单且低成本地从支承体剥离玻璃膜。

另外，如以上所述那样，根据本发明，能够与制造相关处理的种类无关地简单且低成本地从支承体剥离包含玻璃膜的电子设备。

附图说明

图1是示出本发明的第一实施方式所涉及的包含玻璃膜的电子设备的制造方法的步骤的流程图。

图2是示出图1所示的剥离工序的详细情况的流程图。

图3是示出图2所示的剥离起点部制作工序的详细情况的流程图。

图4是包含玻璃膜的层叠体的剖视图。

图5是图4所示的层叠体的俯视图。

图6是在图4所示的层叠体安装作为电子设备元件的有机el元件而成的带支承体的有机el面板的剖视图。

图7是本发明的第一实施方式所涉及的玻璃膜的剥离装置的俯视图。

图8是图7所示的剥离起点部制作装置的a-a主要部分剖视图。

图9是用于对使用了图7所示的剥离起点部制作装置的剥离起点部的制作动作的一例进行说明的主要部分剖视图，并且是示出利用吸附构件对玻璃膜进行吸附的状态的图。

图10是用于对使用了图7所示的剥离起点部制作装置的剥离起点部的制作动作的一例进行说明的主要部分剖视图，并且是示出使吸附构件下降而向远离支承体的方向拉拽层叠体的一部分的状态的图。

图11是用于对使用了图7所示的剥离起点部制作装置的剥离起点部的制作动作的一例进行说明的主要部分剖视图，并且是示出插入构件的插入动作开始了的状态的图。

图12是用于对使用了图7所示的剥离起点部制作装置的剥离起点部的制作动作的一例进行说明的主要部分剖视图，并且是示出插入构件的插入动作开始后，使该插入构件沿规定的方向移动了的状态的图。

图13是用于对使用了图7所示的剥离起点部制作装置的剥离起点部的制作动作的一例进行说明的主要部分剖视图，并且是示出通过插入构件的插入动作制作剥离起点部的状态的图。

图14是用于对使用了图7所示的剥离推进装置的剥离推进动作的一例进行说明的主要部分剖视图，并且是示出通过多个吸附垫对支承体进行吸附的状态的图。

图15是用于对使用了图7所示的剥离推进装置的剥离推进动作的一例进行说明的主要部分剖视图，并且是表示使吸附垫从剥离起点部侧起依次上升的状态的图。

图16是用于对使用了图7所示的剥离推进装置的剥离推进动作的一例进行说明的主要部分剖视图，并且是示出在其整面上将玻璃膜从支承体剥离了的状态的图。

图17是本发明的第二实施方式所涉及的剥离起点部制作装置的主要部分剖视图。

图18是用于对使用了图17所示的剥离起点部制作装置的剥离起点部的制作动作的一例进行说明的主要部分剖视图，并且是表示使按压构件下降并与支承体抵接的状态的图。

图19是用于对使用了图17所示的剥离起点部制作装置的剥离起点部的制作动作的一例进行说明的主要部分剖视图，并且是示出使按压构件从与支承体抵接的状态进一步下降的状态的图。

图20是用于对使用了图17所示的剥离起点部制作装置的剥离起点部的制作动作的一例进行说明的主要部分剖视图，并且是示出插入构件的插入动作开始了的状态的图。

图21是本发明的第三实施方式所涉及的剥离起点部制作装置的俯视图。

图22是作为本发明的应用对象即电子设备而制造液晶面板时的带支承体的液晶面板的剖视图。

具体实施方式

以下，参照图1～图16对本发明所涉及的包含玻璃膜的电子设备的制造方法的第一实施方式进行说明。需要说明的是，在本实施方式中，以如下情况为例来进行说明：在制造作为电子设备的有机el面板时，通过玻璃膜与支承体的剥离，将带有支承体的状态的有机el面板分离为有机el面板和支承体。

如图1所示，本发明的一实施方式所涉及的电子设备的制造方法具备：层叠体形成工序s1，在该层叠体形成工序s1中，形成包含玻璃膜的层叠体；安装工序s2，在该安装工序s2中，伴随于对玻璃膜的加热而向玻璃膜安装电子设备元件，来形成带支承体的电子设备；以及剥离工序s3，在该剥离工序s3中，从带支承体的电子设备的支承体剥离包含玻璃膜的电子设备。

另外，如图2所示，剥离工序s3具有：剥离起点部制作工序s31，在该剥离起点部制作工序s31中，从支承体剥离玻璃膜的一部分，来制作成为在玻璃膜的整面上剥离玻璃膜时的起点的剥离起点部；和剥离推进工序s32，在该剥离推进工序s32中，以剥离起点部作为起点推进电子设备从支承体剥离，其中，如图3所示，剥离起点部制作工序s31具有：支点形成工序s311，在该支点形成工序s311中，在支承体的从玻璃膜伸出的角部设置支承支承体的第一支点，并且在从第一支点分离开的位置设置支承电子设备的第二支点；凹状变形工序s312，在该凹状变形工序s312中，以在支承体侧产生凹部的方式使层叠体的一部分变形为凹状；以及插入工序s313，在该插入工序s313中，通过向玻璃膜与支承体之间插入插入构件，从而剥离玻璃膜的一部分。以下，对各工序进行详细说明。

(s1)层叠体形成工序

首先，如图4所示，在支承体1上层叠玻璃膜2而形成层叠体3。

在此，玻璃膜2例如由硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃等形成，优选为由硼硅酸玻璃形成，更优选为由无碱玻璃形成。若玻璃膜2中含有碱成分，则有可能在表面发生阳离子的脱落，发生所谓的出碱(日文：ソ一ダ吹き)的现象。在该情况下，在玻璃膜2中产生在结构方面成为粗糙的部分，若在使该玻璃膜2弯曲(包括凹状变形)的状态下使用该玻璃膜2，则可能由于老化而以成为粗糙的部分为起点导致破损。基于以上的理由，在存在以非平坦状态使用玻璃膜2的可能性的情况下，优选由无碱玻璃形成玻璃膜2。

需要说明的是，这里所说的无碱玻璃指的是实质上不含有碱成分(碱金属氧化物)的玻璃，具体而言，指的是碱成分为3000ppm以下的玻璃。当然，从就连微量的因上述的理由导致的老化也要对其进行防止或减轻的观点出发，优选为1000ppm以下的玻璃，更优选为500ppm以下的玻璃，进一步优选为300ppm以下的玻璃。

玻璃膜2的厚度尺寸设定为300μm以下，更优选设定为200μm以下，进一步优选设定为100μm以下。对于厚度尺寸的下限值能够无别特限制地设定，但考虑到成形后的处理性(相对于支承体1层叠时或者剥离时等)等而设定为1μm以上，优选设定为5μm以上。

支承体1在本实施方式中为板状玻璃，与玻璃膜2同样由硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃、硼硅酸玻璃、无碱玻璃等公知的玻璃形成。但是，在伴随有加热的电子设备的制造相关处理(在本实施方式中为安装工序s2)中，从尽量防止因热膨胀之差引起的玻璃膜2的不必要的变形、破损的观点出发，优选以30℃～380℃的区间的支承体1与玻璃膜2的线膨胀系数之差为5×10^-7/℃以内的方式选择玻璃的种类。在该情况下，优选由相同种类的玻璃形成支承体1和玻璃膜2。

支承体1的厚度尺寸只要能够提高玻璃膜2的处理性则并不特别限定，设定为与玻璃膜2的厚度尺寸相同的水平或者玻璃膜2的厚度尺寸以上。具体而言，支承体1的厚度尺寸设定为300μm以上，优选设定为400μm以上。对于厚度尺寸的上限值能够无特别限制地设定，但优选限于能够承受后述的支承体1的弯曲(凹状变形)的程度的厚度尺寸。具体而言，可以设定为1000μm以下，优选设定为700μm以下。或者也可以设定为500μm以下。

另外，这些支承体1和玻璃膜2通过下拉法等公知的成形方法成形，优选通过溢流下拉法成形。另外，也可以通过浮动法、狭缝下拉法、压延法、引上法等成形。需要说明的是，也可以根据需要实施二次加工(通过再拉来对玻璃一次成形体进行拉伸)，从而设定为小于100μm的厚度尺寸。

在构成层叠体3的状态下，支承体1与玻璃膜2固定为能够相互剥离的程度。作为固定手段可以采用任意的手段，在本实施方式中，通过使作为支承体1的板状玻璃和玻璃膜2不夹有粘合剂等而直接紧贴，从而实现相互固定。

此时，玻璃膜2的支承体1侧的表面2a(图4中的下侧的表面)的表面粗糙度ra和支承体1的玻璃膜2侧的表面1a(图4中的上侧的表面)的表面粗糙度ra均设定为2.0nm以下。通过将各表面1a、2a的表面粗糙度ra设定为上述的范围，能够使支承体1与玻璃膜2以不发生位置偏移而相互固定的状态层叠(形成层叠体3)。当然，从提高紧贴性的观点出发，优选设定为1.0nm以下，更优选设定为0.2nm以下。

另一方面，玻璃膜2的与支承体1相反的一侧的表面2b的表面粗糙度ra的大小并不特别限定，由于其在后述的安装工序s2中成为实施成膜等电子设备相关处理的对象面，因此其表面粗糙度ra优选为2.0nm以下，更优选为1.0nm以下，进一步优选为0.2nm以下。

另外，从保护玻璃膜2的端部的观点出发，在将玻璃膜2与支承体1层叠的状态下，支承体1从玻璃膜2伸出(图4)。在该情况下，支承体1从玻璃膜2的伸出量例如设定为0.5mm以上且10mm以下，优选设定为3mm以上且5mm以下。通过如上述那样减小支承体1的伸出量(最大为10mm左右)，能够整面且高效地支承相对大面积的玻璃膜2。

在本实施方式中，如图5所示，支承体1与玻璃膜2均呈矩形状。另外，在该支承体1上层叠玻璃膜2而成的层叠体3的整个周缘，支承体1从玻璃膜2伸出，由此在支承体1的角部4处，支承体1从玻璃膜2伸出。需要说明的是，在本实施方式中，例示了在层叠体3的全部四个边缘处支承体1从玻璃膜2伸出的形态，但当然也可以采用在三个边缘～一个边缘处支承体1从玻璃膜2伸出的形态。在该情况下，优选在未伸出的一侧的边缘处，玻璃膜2的端面与支承体1的端面一致。

需要说明的是，在形成上述的层叠体3时，也可以在减压条件下进行层叠作业。由此，能够使在将玻璃膜2层叠在支承体1上时在玻璃膜2与支承体1之间产生(残留)的气泡减少或消失。

(s2)安装工序

如上述那样在形成包含玻璃膜2的层叠体3后，对该层叠体3进行伴随有加热的电子设备的制造相关处理，具体而言，进行作为电子设备元件的有机el元件5的安装。由此，如图6所示，在形成层叠体3的一部分的玻璃膜2的与支承体1相反的一侧的表面2b上形成有有机el元件5。而且，通过将玻璃罩6载置在有机el元件5上并将玻璃罩6的周缘固定于玻璃膜2，从而对有机el元件5进行密封。由此，形成在作为电子设备的有机el面板7固定有支承体1的状态的带支承体的有机el面板8。

在此，玻璃罩6的厚度尺寸例如设定为300μm以下，优选设定为200μm以下，更优选设定为100μm以下。通过像这样设定玻璃罩6的厚度尺寸，能够使玻璃罩6具有适当的挠性。

另外，向玻璃膜2上安装有机el元件5的安装方式是任意的，例如可以通过cvd法、溅射等公知的成膜方法，在玻璃膜2的与支承体1相反的一侧的表面2b上依次成膜形成阳极层、空穴输送层、发光层、电子输送层、阴极层等，从而形成有机el元件5(省略详细的图示)。另外，玻璃罩6向玻璃膜2固定的固定手段也是任意的，例如可以使用公知的激光密封技术将玻璃罩6固定于玻璃膜2。在该情况下，通过cvd法、溅射等进行的成膜处理属于伴随有加热的电子设备(有机el面板7)的制造相关处理。因此，通过如上述那样将有机el元件5形成在玻璃膜2的与支承体1相反的一侧的表面2b上，从而玻璃膜2被加热。另外，通过该加热而在玻璃膜2与支承体1之间形成新的结合，与层叠时(形成层叠体3时)相比，玻璃膜2与支承体1的固定力提高。

需要说明的是，在图6所示的形态中，将玻璃罩6与玻璃膜2直接固定，但电可以适当利用公知的玻璃料、分隔件等(省略图示)将玻璃罩6粘合固定于玻璃膜2。或者，也可以对玻璃罩6设置支承体1(省略图示)，在从支承体1剥离玻璃罩6时，也能够应用本发明。

(s3)剥离工序

这样，在形成带支承体的有机el面板8后，从带支承体的有机el面板8的支承体1剥离包含玻璃膜2的有机el面板7(图1)。图7示出用于进行上述剥离的剥离装置10的俯视图。该剥离装置10具备剥离起点部制作装置11和剥离推进装置12，因此剥离起点部制作装置11具备能够载置带支承体的有机el面板8的载置台13、用于对成为凹状变形的对象的层叠体3的一部分(在本实施方式中为伸出区域3a)赋予凹状的变形的凹状变形赋予部14、以及插入机构15。需要说明的是，在图7以后，省略带支承体的有机el面板8所包含的有机el元件5以及玻璃罩6的图示。

载置台13例如由平台构成，能够利用平坦的载置面16来支承包含层叠体3的带支承体的有机el面板8。在本实施方式中，通过以载置面16与玻璃膜2的表面抵接的方式，即如图8所示，以支承体1位于上侧而玻璃膜2位于下侧的方式，将层叠体3载置在载置面16上，从而能够支承包含层叠体3的带支承体的有机el面板8。由此，虽然省略图示，但在如本实施方式那样，在玻璃膜2上安装有有机el元件5以及玻璃罩6的情况下，可以将载置面16设为能够支承有机el元件5以及玻璃罩6的形状。当然，也可以将载置面16设为仅能够支承玻璃膜2(在本实施方式中为玻璃罩6)和支承体1中的一方或者双方的周缘部的形状。需要说明的是，为了通过后述的剥离推进装置12进行剥离推进工序s32，也可以在载置台13的载置面16设置吸附孔，从而构成为能够将玻璃膜2(包括玻璃膜2的有机el面板7)吸附于载置面16。

在本实施方式中，凹状变形赋予部14包括：载置面16；第一支点形成构件17，其在支承体1的从层叠体3的载置面16伸出的角部4设置支承支承体1的第一支点p1；以及外力赋予构件18，其对层叠体3的伸出区域3a赋予外力。

在本实施方式中，载置面16作为整体呈以所要支承的层叠体3(带支承体的有机el面板8)为基准的形状，即呈矩形状，且呈使其一个角部缺少的形状。由此，在将带支承体的有机el面板8载置在载置面16上的状态下，成为如下的状态：带支承体的有机el面板8的除一个角部4以外的全部区域被载置面16支承，并且包括角部4在内的一部分区域伸出(参照图7的左下方)。由此，在该情况下，角部4伸出的一侧的载置面16的端部16a成为第二支点形成构件，该第二支点形成构件在与第一支点p1分离开的位置设置有支承带支承体的有机el面板8的第二支点p2。

第一支点形成构件17能够支承构成带支承体的有机el面板8的层叠体3的角部4，在本实施方式中，将后述的插入构件(楔状构件19)作为第一支点形成构件17。另外，在支承体1从玻璃膜2伸出的状态下构成层叠体3的情况下(参照图5)，第一支点形成构件17能够在角部4处支承从玻璃膜2伸出的支承体1的玻璃膜2侧的表面1a。换言之，第一支点形成构件17在支承体1的角部4设置有支承支承体1的第一支点p1。

外力赋予构件18配置在由第一支点形成构件17形成的第一支点p1与由作为第二支点形成构件的载置面16的端部16a形成的第二支点p2之间。在本实施方式中，外力赋予构件18包括：吸附构件20，其能够吸附于玻璃膜2的与支承体1相反的一侧的表面2b(实际为省略图示的玻璃罩6的表面)；和升降构件21，其能够使吸附构件20沿着载置面16的法线方向、即载置在载置面16上的层叠体3的厚度方向a升降。

在本实施方式中，插入机构15包括：作为插入构件的楔状构件19；和滑动构件22，其能够使楔状构件19在与载置台13的载置面16平行的方向上、即在沿着载置在载置面16上的状态下的层叠体3的平面的方向上滑动。在本实施方式中，楔状构件19构成为，能够在通过支承体1的角部4的顶部和外力赋予构件18的假想中心线的方向(换言之，沿着玻璃膜2的对角线的方向)上滑动(参照图7)。

另外，以楔状构件19的刃尖方向c与通过滑动构件22插入楔状构件19的插入方向b所成的角(以下，也称作楔角度)θ为20°以上且45°以下、优选为20°以上且30°以下的方式，设定楔状构件19的姿态以及滑动构件22的滑动方向。

接下来，根据图7～图13对使用了上述结构的剥离起点部制作装置11的剥离起点部的制作动作的一例进行说明。

(s31)剥离起点部制作工序

首先，如图7以及图8所示，将带支承体的有机el面板8载置在载置台13的载置面16上，并且在能够对形成带支承体的有机el面板8的一部分的层叠体3的从载置面16伸出的角部4(即支承体1的角部4)进行支承的位置，配置作为第一支点形成构件17的楔状构件19。由此，成为包含层叠体3的带支承体的有机el面板8由载置面16和楔状构件19支承的状态。具体而言，在角部4的顶部处在使刃尖19a抵接于支承体1与玻璃膜2之间的位置配置楔状构件19，由此将楔状构件19的刃尖19a与支承体1抵接的抵接点设为第一支点p1，将载置面16的端部16a与玻璃膜2(在本实施方式中省略图示的玻璃罩6)抵接的多个抵接点(即在本实施方式中为抵接线)设为第二支点p2，从而包含层叠体3的带支承体的有机el面板8成为被支承的状态(支点形成工序s311)。另外，在如上述那样支承带支承体的有机el面板8的状态下，除了自重对伸出区域3a的变形的影响以外，带支承体的有机el面板8整体被平坦地支承。

另外，此时，从第一支点形成构件17对角部4的支承位置(即第一支点p1)到载置面16的端部16a对带支承体的有机el面板8的支承位置(即第二支点p2)的最短距离(图7)例如设定为30mm以上且200mm以下，优选设定为30mm以上且150mm以下，更优选设定为50mm以上且100mm以下。在如本图示例那样设定载置面16的形状并且载置带支承体的有机el面板8的状态下，从第一支点形成构件17对支承体1的支承位置(图7所示的第一支点p1)到设置在载置面16的端部16a上的多个第二支点p2中的位于端部16a的长度方向中央的第二支点p2(图7)的直线距离作为上述的最短距离，设定为30mm以上且200mm以下。

接下来，在利用第一支点p1以及第二支点p2从下方支承包含层叠体3的带支承体的有机el面板8的状态下，利用升降构件21使吸附构件20沿着箭头a的方向上升，使吸附构件20与位于层叠体3的下侧的玻璃膜2的表面2b(在本实施方式中省略图示的玻璃罩6的表面)抵接(图9)。然后，从该状态起通过抽吸等而使吸附构件20吸附于玻璃膜2的表面2b。在吸附有玻璃膜2的阶段，包含层叠体3的带支承体的有机el面板8依然保持被平坦地支承的状态。

在像这样吸附玻璃膜2后，如图10所示，通过升降构件21使吸附构件20沿着箭头a的方向下降，对带支承体的有机el面板8中的从载置面16伸出的区域赋予朝向下方的拉力f。换言之，在由第一支点形成构件17(在本实施方式中为楔状构件19)形成的第一支点p1与由载置面16的端部16a形成的第二支点p2之间设置拉力f的作用点。由此，以在支承体1侧产生凹部3c的方式，使成为层叠体3的一部分的伸出区域3a变形为凹状(凹状变形工序s312)。在本实施方式中，通过对成为伸出区域3a的大致重心的位置(图7)赋予朝向下方的拉力f，从而以在从支承体1侧俯视观察的情况下产生呈圆状的凹部3c的方式，使伸出区域3a变形为凹状。

另外，在如上述那样使伸出区域3a变形为凹状的状态下，在支承体1侧产生的凹部3c的最大深度尺寸d设定为1mm以上且5mm以下，优选设定为2mm以上且4mm以下。需要说明的是，此时的伸出区域3a的最大凹状变形量(支承体1的表面1b中的、从凹状变形前的状态最大幅度地向玻璃膜2侧变形的位置处的厚度方向a的变形量)例如通过载置面16以及由第一支点形成构件17支承的支承位置、伸出区域3a的形状及面积、以及从吸附构件20的吸附位置起的沿着箭头a的方向的下降量h1来进行调整。在采用本实施方式所涉及的结构的情况下，最大深度尺寸d与外力赋予构件18(吸附构件20)的下降量h1大致相等。即，吸附构件20的下降量h1设定为1mm以上且5mm以下，优选设定为2mm以上且4mm以下。

而且，在成为层叠体3的一部分的伸出区域3a变形为凹状的期间，通过滑动构件22的驱动开始使楔状构件19向沿着箭头b的方向的朝向移动，将楔状构件19的刃尖19a插入位于伸出区域3a的角部4的顶部的支承体1与玻璃膜2之间(在此为压贴)。由此，如图11所示，处于与支承体1的下侧的表面1a紧贴状态的玻璃膜2的上侧的表面2a从其端部2a1起相对于支承体1的表面1a开始剥离。然后，通过从图11所示的状态起驱动滑动构件22，从而使楔状构件19进一步沿着箭头b的方向移动(滑动)，从而玻璃膜2的剥离区域逐渐扩大(图12)。

此时，在支承体1以及玻璃膜2中分别产生有要恢复至变形为凹状之前的状态(图12中，用双点划线示出的状态)的朝向的反作用力(复原力f1、f2)。因此，在利用吸附构件20对玻璃膜2侧进行吸附的情况下，玻璃膜2中产生的复原力f2被由吸附构件20产生的朝向下方的拉力f抵消，实质上成为仅在支承体1侧作用有上述的复原力fl的状态。因此，根据上述情况，玻璃膜2从支承体1剥离的剥离区域也扩大，例如如图13所示，在支承体1大致恢复至变形为凹状之前的状态的阶段，在支承体1与玻璃膜2之间，形成成为使玻璃膜2在其整面上剥离时的起点的剥离起点部9(插入工序s313)。

(s32)剥离推进工序

在像这样制作剥离起点部9后，通过未图示的吸附垫等把持支承体1侧或玻璃膜2侧将一方向远离另一方的方向拉拽，或者朝向剥离起点部9喷吹水等流体，从而从支承体1将玻璃膜2在其整面上剥离。

在本实施方式中，例如如图7以及图14所示，使用具有多个吸附垫23和能够对各吸附垫23独立地沿上下方向a驱动的驱动部24的剥离推进装置12，来推进玻璃膜2的剥离。具体而言，如图7所示，从在支承体1的上侧配置有多个吸附垫23的状态起，利用驱动部24使各吸附垫23向下方移动，通过各吸附垫23来吸附支承体1的上侧的表面1b(图14)。然后，如图15所示，通过从剥离起点部9侧起使吸附垫23依次上升，由此沿着剥离膜的对角线推进玻璃膜2从支承体1剥离。由此，玻璃膜2在其整面上从支承体1剥离，带支承体的有机el面板8被分离成包含玻璃膜2的有机el面板7和支承体1(图16)。

这样，在从带支承体的有机el面板8的支承体1剥离作为包含玻璃膜2的电子设备的有机el面板7时，在本发明中，在支承体1的从玻璃膜2伸出的角部4设置第一支点p1，并且在与第一支点p1分离开的位置设置第二支点p2，且在上述双方的支点p1、p2之间设置外力(拉力f)的作用点，从而使伸出区域3a变形为凹状。由此，能够使作为层叠体3的一部分的伸出区域3a以比以往大的曲率变形。由此，能够提高因支承体1与玻璃膜2之间的曲率的不同而产生的剪切力，在之后的插入工序s313中，能够容易地从支承体1剥离玻璃膜2的一部分。另外，通过以在支承体1侧产生凹部3c的方式使层叠体3的一部分变形为凹状，从而在层叠体3的凹状变形时，在容易形成为比玻璃膜2厚壁(厚度尺寸的限制少)的支承体1侧作用有较大的弯曲应力(压缩应力)。由此，能够避免玻璃膜2和支承体1上作用有过大的负载的情况，从而防止玻璃膜2和支承体1的破损。另外，由于在使层叠体3的一部分变形为凹状后将楔状构件19插入支承体1与玻璃膜2之间，因此在插入有楔状构件19的期间不增大层叠体3的变形量也没有问题。因此，由此也能够避免玻璃膜2和支承体1上作用有过大的负荷的情况，从而防止在制作剥离起点部9时玻璃膜2和支承体1破损。以上，根据本发明，能够在不对玻璃膜2、有机el元件5、支承体1等施加过大的负载的情况下，将带支承体的有机el面板8安全地分离为包含玻璃膜2的有机el面板7和支承体1。

另外，在本实施方式中，利用楔状构件19设置第一支点p1，因此在伸出区域3a的凹状变形开始时(图10)，楔状构件19作为伸出区域3a的第一支点形成构件17而发挥功能，另一方面，在变形为凹状的状态下，楔状构件19成为已经抵接在玻璃膜2与支承体1之间的状态(图10)。因此，仅通过直接使楔状构件19沿着插入方向b移动(滑动)，便能够将楔状构件19插入玻璃膜2与支承体1之间，能够容易且可靠地制作剥离起点部9。另外，楔状构件19本身作为第一支点形成构件17而发挥功能，因此伴随楔状构件19的插入动作，楔状构件19对伸出区域3a的支承位置、即第一支点p1也向剥离的推进方向、即向沿着层叠体3的平面的方向的中央侧行进。由此，能够将楔状构件19的插入方式保持为恒定的状态，顺畅地进行剥离起点部9的制作动作。

特别是，在该情况下，在利用吸附构件20从玻璃膜2侧吸附层叠体3的伸出区域3a后，向下方拉拽伸出区域3a而使其变形为凹状，从而能够避免外力赋予构件18继续留于在支承体1侧产生的凹部3c中的情况。因此，能够在楔状构件19的插入开始后玻璃膜2保持变形为凹状的状态，并同时避免楔状构件19与外力赋予构件18干涉的情况，从而在玻璃膜2与支承体1能够安全且可靠地剥离的位置、即直至形成剥离起点部9为止的期间，能够顺畅地推进楔状构件19的插入动作。另外，在如上述那样以在支承体1侧产生凹部3c的方式使伸出区域3a变形为凹状的情况下，在支承体1以及玻璃膜2中作用有要恢复至变形为凹状之前的平坦的状态的朝向的复原力f1、f2。因此，在利用吸附构件20对玻璃膜2侧进行吸附的情况下，玻璃膜2中产生的复原力f2被由吸附构件20产生的朝向下方的拉力f抵消，实质上成为仅在支承体1侧作用有上述的复原力f1的状态。由此，能够更加顺畅地进行楔状构件19的插入动作，能够安全且容易地制作剥离起点部9。

以上，对本发明所涉及的包含玻璃膜的电子设备的制造方法的一实施方式(第一实施方式)进行了说明，但该制造方法当然能够在本发明的范围内采用任意的方式。

图17示出本发明的第二实施方式所涉及的剥离起点部制作装置25的主要部分剖视图(与图7所示的剥离装置10的a-a主要部分剖视图相同的位置处的剖视图)。该剥离起点部制作装置25将吸附构件20以及升降构件21配置在层叠体3的上方、即支承体1侧。其他结构与第一实施方式相同，因此省略了说明。

使用了上述结构的剥离起点部制作装置25的剥离起点部9的制作动作(剥离起点部制作工序s31)的一例如图17～图20所示。

首先如图17所示，将带支承体的有机el面板8载置在载置台13的载置面16上，并且将楔状构件19配置在对形成带支承体的有机el面板8的一部分的层叠体3的从载置面16伸出的角部4进行支承的位置。由此，包含层叠体3的带支承体的有机el面板8成为被载置面16和楔状构件19支承的状态。在本实施方式中，在角部4的顶部处在使刃尖19a抵接在支承体1与玻璃膜2之间的位置配置楔状构件19，由此将楔状构件19的刃尖19a与角部4的抵接点、以及载置面16的端部16a与角部4的抵接点分别设为第一支点p1、第二支点p2，带支承体的有机el面板8成为被支承的状态。另外，在如上述那样支承带支承体的有机el面板8的状态下，除了自重对变形的影响以外，带支承体的有机el面板8整体被支承为平坦。

接下来，通过升降构件21使吸附构件20从图16所示的位置沿着箭头a的方向下降，如图18所示，使吸附构件20与位于层叠体3的上侧的支承体1的表面1b抵接。然后，从该状态起继续使吸附构件20沿着箭头a的方向下降，对层叠体3赋予朝向下方的按压力g。由此，如图19所示，在由第一支点形成构件17设置的第一支点p1与由载置面16的端部16a设置的第二支点p2之间设置按压力g的作用点，从而以在支承体1侧产生凹部3c的方式使伸出区域3a变形为凹状。

然后，在使伸出区域3a变形为凹状的状态起，通过滑动构件22的驱动开始使楔状构件19向沿着箭头b的方向的朝向移动，使楔状构件19的刃尖抵接在位于角部4的顶部的支承体1与玻璃膜2之间(例如压贴)。由此，如图20所示，开始楔状构件19朝向支承体1与玻璃膜2之间的插入，通过将从玻璃膜2的端部2a1起的剥离区域扩大到一定程度，从而制作如图13所示的剥离起点部9(剥离起点部制作工序s31)。

然后，在制作剥离起点部9后，虽然省略图示，但例如通过未图示的吸附垫等把持支承体1侧或玻璃膜2侧并将一方朝远离另一方的方向拉拽，或者朝向剥离起点部9喷水等流体，从而从支承体1将玻璃膜2在其整面上剥离。由此，带支承体的有机el面板8被分离成包含玻璃膜2的有机el面板7和支承体1(剥离推进工序s32)。当然，此时例如虽然省略图示，但也可以采用如下方式：通过在不与吸附构件20干涉的位置使用能够从上侧吸附支承体1的如图14所示的剥离推进装置12，从剥离起点部9侧向上拉拽支承体1，从而将玻璃膜2在其整面上从支承体1剥离。

这样，通过沿着箭头a的方向、即以平坦的状态载置在载置面16上的层叠体3的厚度方向从支承体1侧向下方按压伸出区域3a，也能够在不对玻璃膜2、支承体1施加过大的负载的情况下稳定地使伸出区域3a变形为凹状。因此，能够使伸出区域3a以比以往大的曲率变形，能够如上述那样凭借因曲率之差而引起的剪切力，来比较容易地在支承体1与玻璃膜2之间制作剥离起点部9。

需要说明的是，只要为如本实施方式那样从支承体1侧赋予按压力g的情况，就不必限于吸附构件20。也可以例如使用前端呈球状的棒状构件等，只要不给支承体1以及玻璃膜2带来破损等不良情况，就也可以使用任意形状以及结构的按压构件。

另外，关于外力(拉力f、按压力g)的作用点，在上述实施方式中，例示了在角部4处的带支承体的有机el面板8的支承位置(楔状构件19的刃尖19a与支承体1抵接的抵接位置)与载置面16的端部16a的中间位置设置拉力f或者按压力g的作用点的情况，但当然也可以在除此以外的位置设置作用点。例如，也可以采用如下方式：将吸附构件20与支承体1或者玻璃膜2的接触点、即拉力f或者按压力g的作用点设置在比端部16a更接近角部4的一侧，以便在更靠角部4的端部的位置在支承体1与玻璃膜2之间产生相互远离的方向的力。

另外，在上述实施方式中，例示了对伸出区域3a赋予在沿着层叠体3的厚度方向a的方向上朝向下方的拉力f或者按压力g的情况，但也可以通过除此以外的方式赋予外力而使伸出区域3a变形为凹状。例如，虽然省略图示，但也可以采用如下方式：通过与箭头b的方向相比稍微朝向下方按压伸出区域3a中的支承体1的角部，从而以在支承体1侧产生凹部3c的方式使伸出区域3a变形为凹状。

另外，在上述实施方式中，例示了作为载置面16而使用呈缺少一个角部的形状的构件的情况，但当然也可以使用呈除此以外的形状的载置面16来实现支承体1与玻璃膜2的剥离。图21示出其中一例(第三实施方式)所涉及的剥离起点部制作装置26的俯视图。该剥离起点部制作装置26通过将延长支承部27与载置面16一体地设置而成，该延长支承部27从图7所示的载置面16的端部16a的两端沿着要支承的层叠体3(带支承体的有机el面板8)的边缘延长。根据该结构，能够利用载置面16、作为第一支点形成构件17的楔状构件19、以及延长支承部27来支承带支承体的有机el面板8，并同时使上述载置面16、楔状构件19、以及延长支承部27之间的伸出区域3a变形为凹状。因此，能够更加稳定地实施上述的一系列的剥离起点部9的制作动作。

另外，关于第一支点形成构件17，在上述实施方式中，例示了将第一支点形成构件17作为楔状构件19并配置在支承体1的角部4的情况，但当然也可以采用除此以外的结构。例如虽然省略图示，但也可以采用如下方式：在第一支点形成构件17不阻碍楔状构件19的压入动作的范围内，相对于楔状构件19另外设置第一支点形成构件17来支承角部4的顶部以外的区域，使楔状构件19与角部4的顶部抵接。

另外，关于第二支点p2的形成方式，在上述实施方式中，例示了利用载置面16的端部16a连续地设置多个第二支点p2的情况，但当然也可以采用除此以外的方式。例如虽然省略图示，但也可以采用如下方式：利用载置面以外的支承构件(滚动件等)支承带支承体的有机el面板8，并且利用第一支点形成构件17支承支承体1的角部4，在与第一支点p1分离开的位置，相对于上述载置面以外的支承构件而另外设置第二支点形成构件。由此，能够利用任意的构件在带支承体的有机el面板8的任意的位置设置第二支点p2。另外，第二支点p2的数量也是任意，可以设置一个或者多个第二支点p2。

另外，关于楔状构件19的插入方向，在上述实施方式中，例示了通过滑动构件22使楔状构件19在沿着平坦状态的层叠体3的平面方向的方向上滑动的方式，但当然也可以采用除此以外的插入方式。例如也可以采用根据形成剥离起点部9后的伸出区域3a的变形方式(剥离推进时的变形方式)来变更楔状构件19的移动方向的结构。

另外，在上述实施方式中，例示了在剥离起点部制作装置11和剥离推进装置12中共用载置台13(的载置面16)的情况，但当然剥离装置10不限于该例子。也可以采用如下方式：完全独立地制作剥离起点部制作装置11和剥离推进装置12，并将暂时制作有剥离起点部9的带支承体的有机el面板8载置在剥离推进装置12的吸附面上来实施剥离推进工序s32。

另外，在上述实施方式中，例示了作为支承体1而采用板状玻璃并且使该支承体1与玻璃膜2直接紧贴而相互固定的情况，但当然也可以将本发明应用于通过除此以外的手段来将玻璃膜2与支承体1固定而成的层叠体3。例如，也可以将本发明应用于如下层叠体(省略图示)，该层叠体通过丙烯酸粘合层、硅酮薄膜层、无机薄膜层(ito、氧化物、金属、碳)等由非玻璃材料构成的层和板状玻璃构成支承体1，并使非玻璃材料层与玻璃膜2紧贴而成。

另外，在以上的说明中，例示了作为电子设备而制造有机el面板7的情况，但当然也可以将本发明应用于除此以外的电子设备的制造方法。图22示出其中一例所涉及的带支承体的液晶面板28的剖视图。该面板28通过在作为最终产品的液晶面板29的两侧固定一对支承体1、1而成，例如以如下方式形成。即，首先分别形成将支承体1与玻璃膜2层叠而成的一对层叠体3、3(层叠体形成工序s1)。然后，在一方的层叠体3的玻璃膜2的表面2b上形成分隔件30，该分隔件30形成用于封入未图示的液晶的空间，在该分隔件30上固定另一方的层叠体3的玻璃膜2(安装工序s2)。在像这样形成带支承体的液晶面板28后，通过上述的剥离方法将支承体1一个个地剥离(剥离工序s3)，将一张带支承体的液晶面板28分离为两张支承体1、1和一张液晶面板29。由此，通过在制造液晶面板29的情况下也应用本发明，能够在不使玻璃膜2破损的情况下，安全且容易地将带支承体的液晶面板28分离为支承体1和液晶面板29。

当然，在将玻璃膜2本身作为最终产品而取得(制造)的情况下，通过应用本发明所涉及的玻璃膜的制造方法，也能够在不使玻璃膜2破损的情况下，安全且容易地从支承体1剥离玻璃膜2。