技术特征:
技术总结
本发明涉及一种电子级硅粉制备硅块的方法,包括步骤:将电子级硅粉引入位于碳管炉中的管道内;使碳管炉内保持惰性气氛,加热管道内的硅粉使其熔化,并使硅液流入设置在碳管炉中的坩埚中固化成硅块。上述方法,在碳管炉中加热熔化硅粉,使硅粉熔化后形成的硅液注入冷坩埚中,在坩埚中固化成硅块,此种方法不需要借助价格昂贵的铸锭炉或单晶炉铸锭实现,提供了一种工艺简单且成本低的处理方法。
技术研发人员:倪鹏;刘仪科;丁俊
受保护的技术使用者:江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
技术研发日:2017.06.26
技术公布日:2017.10.17