一种亚纳米球形硅微粉的制备方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明提供一种亚纳米球形硅微粉的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）清洗；（2）烘干；（3）球化；（4）分级处理；（5）回收；（6）检测；（7）包装。所述制备方法工艺简便，可操作性好，制得的产品粒径小，真球率高，是理想的新型半导体和化工新材料，用途广泛。

技术研发人员：唐健江
受保护的技术使用者：苏州吉云新材料技术有限公司
技术研发日：2017.06.29
技术公布日：2017.10.24