技术总结
本实用新型公开了一种晶体炉的真空与排气管路结构，包括真空管路、排气管路、进气口、真空及排气管路三通件、真空保护阀、排气保护阀，进气口设置在真空及排气管路三通件的前端，真空保护阀设置在真空管路的前端，真空及排气管路三通件安装在真空保护阀的前端，排气保护阀设置在排气管路的前端，排气保护阀的前端与真空及排气管路三通件连接；通过本技术方案，便于按照晶体炉工艺需求进行正压排气操作和负压抽真空操作，且可有效避免管路部件因高温、振动造成的损毁，从而确保晶体炉整个长晶过程的顺利进行，真空与排气管路结构简洁紧凑，方便拆卸及维护。
技术研发人员：曾炟;赵彦乐;黄小华;陈龙;邱萍;仇春杰
受保护的技术使用者：上海森松新能源设备有限公司
文档号码：201720209488
技术研发日：2017.03.06
技术公布日：2017.10.20