用于生产镀膜玻璃的镀膜段的制作方法

本实用新型涉及一种用于生产镀膜玻璃的镀膜段，特别适用于生产低辐射镀膜玻璃，属于机械领域。

背景技术：

低辐射镀膜玻璃，(Low-E玻璃)即采用物理或化学方法在玻璃表面上镀上含有一层或两层甚至多层膜系的金属薄膜或金属氧化物薄膜，来降低能量吸收或控制室内外能量交换，保障生活、工作的舒适性，并以此达到环保节能的目的。

随着节能减排政策的倡导，人们对低辐射镀膜玻璃提出更高的要求。普通用于生产镀膜玻璃的镀膜段生产的产品已经不能满足人们提出的更高要求。大面积磁控溅射镀膜生产线包含许多组成部分，其中核心区域是镀膜高真空区的工艺布置，即镀膜段。

现有技术中存在镀膜单元安装复杂，灵活性差，隔离系数低，真空环境差、冷却效率低等问题，例如，每个隔离腔室中所要安装的元件都是固定的，无法随意的拆分，当整个设备需要有所变化时，则无形中给用户增加不必要的人力、物力和时间等成本，同时隔离系数低、真空环境差、冷却效果低会严重影响制备的膜层质量。

技术实现要素：

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜段，用于解决现有技术中用于生产镀膜玻璃的镀膜段安装复杂，灵活性差，隔离系数低，真空环境差、冷却效率低的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜段，所述镀膜段至少包括：若干隔离腔室、传输单元、气体隔离单元，阴极靶材、抽真空单元、以及冷却单元；每个所述隔离腔室依次连接，每个所述隔离腔室的顶部设置可打开的盖板，每个所述盖板大小和形状一致；每个所述隔离腔室的内部设置气体隔离单元或者阴极靶材；所述传输单元设置在隔离腔室内的下部且贯通所有隔离腔室；每个装有所述气体隔离单元的隔离腔室上的盖板上设置抽真空装置；安装有所述阴极靶材的隔离腔室内部还设置冷却单元。

优选地，相邻的两个隔离腔室之间设置抽气口。

优选地，每个所述隔离腔室都是规则的6面体且大小一致。

优选地，每个所述盖板和所述隔离腔室之间设有密封圈。

优选地，所述气体隔离单元包括横向设置的横向隔板和纵向设置的纵向隔板，所述横向隔板位于传输单元的上方，所述纵向隔板上端达到隔离腔室的顶部，下端达到横向隔板。

优选地，安装有所述阴极靶材的隔离腔室内部还设置冷却单元，所述冷却单元包括设置在第二隔离腔室内下方的冷却水管道，所述冷却水管道与外部水源连通。

优选地，所述传输单元采用传输辊道，所述传输辊道包括若干辊子。

优选地，所述阴极靶材选自SiAl靶材、TiO靶材、SnAl靶材、ZnAl靶材、ZnSn靶材、AZO靶材、Ni靶材、Cr靶材、NiCr靶材、Ag靶材中的任意一种或几种。

优选地，所述阴极靶材按照SiAl靶材、ZnAl靶材、NiCr靶材、Ag靶材、NiCr靶材、SnZn靶材、ZnAl靶材、NiCr靶材、Ag靶材、NiCr靶材、SnZn靶材、SiAl靶材顺序分别安装在隔离腔室内。

以上顺序是在玻璃上镀膜的生产工艺顺序，在玻璃上依次采用上述靶材镀膜。所述分别安装，是指在每个隔离腔室中安装一个阴极靶材。

优选地，所述隔离腔室共40个，并依次连接，其中第2个隔离腔室和第3个隔离腔室中设置SiAl靶材、第7个隔离腔室和第8个隔离腔室安装ZnAl靶材、第11个隔离腔室安装NiCr靶材、第13个隔离腔室安装Ag靶材、第15个隔离腔室安装NiCr靶材、第18个隔离腔室和第19个隔离腔室安装SnZn靶材、第22个隔离腔室和第23个隔离腔室安装ZnAl靶材、第26个隔离腔室安装NiCr靶材、第28个隔离腔室安装Ag靶材、第30个隔离腔室安装NiCr靶材、第33个隔离腔室和第34个隔离腔室安装SnZn靶材、第38个隔离腔室和第39个隔离腔室安装SiAl靶材，其余的隔离腔室中安装气体隔离单元。

本实用新型的另一方面提供了上述的用于生产镀膜玻璃的镀膜段用于生产镀膜玻璃的用途。

如上所述，本实用新型的用于生产镀膜玻璃的镀膜段，具有以下有益效果：

由于每个隔离腔室采用标准化设计，大小一致，因此，在每个盖板以及内部的工作单元都适用于其他隔离腔室；因此其中的气体隔离单元也是适用于任意一个隔离腔室的。当工艺需要调整时，可以随意调节其中所安装的元件的位置。合理的工艺布置可以满足：多种单、双银产品的生产；生产不同的产品，靶材位置需要变动时，可以简便、及时的变动；未来产品更新换代，需预留一定的工艺升级空间。

附图说明

图1显示为本实用新型结构整体结构示意图。

图2显示为图1中第4个隔离腔室的结构示意图。

元件标号说明

2 第2个隔离腔室

3 第3个隔离腔室

4 第4个隔离腔室

41 盖板

42 抽真空单元

43 抽气口

44 进片口

45 辊子

46 T形隔板

403 纵向隔板

404 横向隔板

7 第7个隔离腔室

8 第8个隔离腔室

11 第11个隔离腔室

13 第13个隔离腔室

15 第15个隔离腔室

33 第33个隔离腔室

34 第34个隔离腔室

38 第38个隔离腔室

39 第39个隔离腔室

具体实施方式

须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

如图1～2所示，本实用新型提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜段，所述用于生产镀膜玻璃的镀膜段包括到不限于：40个隔离腔室、每个隔离腔室采用标准化设计，都是规则的6面体，因此，大小相同，形状一致。每个所述隔离腔室长3900mm，宽900mm，高1000mm。当然，所述隔离腔室的个数是可以根据需要而调节的，其大小和具体的形状也是可以调节的。

图2显示为其中第4个隔离腔室4的结构示意图。由于其他隔离腔室与其结构类似，因此，可以作为参考。每个隔离腔室的下部都设置进片口44，在最后一个隔离腔室还设置出片口相邻的两个隔离腔室之间还设置抽气口43。所述进片口的面积约为0.07m²，所述抽气孔的面积约为0.24m²。因此相邻的两个隔离腔室通过进片口和抽气口连通。

每个隔离腔室的顶部都设置可打开的盖板41，每个所述盖板41大小都相等。

优选地，所述盖板和所述隔离腔室之间还设有密封圈，使得密封效果更好。

在每个隔离腔室的内部的下方都设置传输单元，因此，传输单元时贯通所有隔离腔室的。在本实施例中，所述传输单元采用的是传输辊道，所述传输辊道包括若干个辊子45，每个辊子都水平的设置在隔离腔室进片口的下方，保证从进片口进来的玻璃能被传输到下一个隔离腔室。在本实施例中，每个隔离腔室的下方安装3个辊子。

在其他实施例中，所述传输单元也可以采用传输带。

在本实施例中，所述隔离腔室共40个，并依次连接，其中第2个隔离腔室2和第3个隔离腔室3中设置SiAl靶材、第7个隔离腔室7和第8个隔离腔室8安装ZnAl靶材、第11个隔离腔室11安装NiCr靶材、第13个隔离腔室13安装Ag靶材、第15个隔离腔室15安装NiCr靶材、第18个隔离腔室和第19个隔离腔室安装SnZn靶材、第22个隔离腔室和第23个隔离腔室安装ZnAl靶材、第26个隔离腔室安装NiCr靶材、第28个隔离腔室安装Ag靶材、第30个隔离腔室安装NiCr靶材、第33个隔离腔室33和第34个隔离腔室34安装SnZn靶材、第38个隔离腔室38和第39个隔离腔室39安装SiAl靶材，其余的隔离腔室中安装气体隔离单元。

采用上述实施例制备的镀膜玻璃，使其不仅具有良好的光学和热学性能(U值小于1.5)。

一般的，上述靶材的安装的顺序和个数，是根据所需制备的玻璃而调节的。例如第2和第3个安装的是SiAl靶材，且是连续安装的，但是在其他实施例中可以只安装了一个SiAl靶材，也可以安装更多的SiAl靶材，此时可以不连续安装。

在本实用新型中，由于盖板的大小相等，因此是可以随意调节的。

一般所安装的阴极靶材的种类和个数是根据需要而调节的。根据本实用新型，可以在玻璃上依次进行镀膜。

一般的，所述阴极靶材可以是平面阴极，可以是旋转阴极。在本实施例中，第11、13、15、26、28、30安装平面阴极，其他都是旋转阴极。其中旋转阴极可以制备镀膜玻璃的介质层，起到增透、减反等作用；平面阴极可以制备金属层和功能层，金属层起到保护功能层的作用，功能层能起到降低辐射率作用。

在本实施例中，在盖板的下方安装把靶材固定件，阴极靶材或者旋转靶材通过靶材固定件安装在盖板的下方。在本实施例中，所述靶材固定件包括4个端头，每两个端头为一组，分别位于盖板的两端将阴极靶材固定。所述端头含有传动组件，能固定阴极靶材且与腔体盖板绝缘。

每个装有所述气体隔离单元的隔离腔室上的盖板上设置抽真空单元42。在本实施例中所述抽真空单元选用分子泵(市购)。在本实施例中共安装了四个分子泵，一般的可以安装1～6个分子泵。所述分子泵可以将隔离腔室抽成真空状态。

在另一实施例中，所述气体隔离单元包括横向设置的横向隔板404和纵向设置的纵向隔板403，所述横向隔板位于传输单元的上方，所述纵向隔板上端达到隔离腔室的顶部，下端达到横向隔板。气体隔离装置将隔离腔室分为左右两个完全隔离的空间，能将通入的工艺气体相对的密封在隔离空间内，阻止工艺气体间的相互窜动，影响相邻膜层质量。横向隔板的两端采用螺钉固定在隔离墙上，纵向隔板采用夹板立在横向隔板上固定在隔离腔室中。所述横向隔板水平的设置在进片口上方处，纵向隔板位于隔离腔使的中央位置，因此隔离腔室被分割成两个几乎相同大小的隔离空间。

在另一实施例中，安装有所述阴极靶材的隔离腔室内部还设置冷却单元，所述冷却单元包括设置在隔离腔室内下方的冷却水管道(图中未示出)，所述冷却水管道与外部水源连通。所述冷却水管道盘绕在辊子之间。所述冷却单元能够降低隔离腔室内部的温度，使得镀膜时更加的均匀。

在本实施例中，辊子之间设置横截面为T形的T形隔板46。T形隔板的纵向部分插入辊子之间，横向部分位于相邻的两个辊子之间，所述T形隔板将辊子之间的孔隙得以密封，提高整个装置的密封性能。所述T形隔板的水平部分略低于辊子的最高点。

在另一实施例中，所述布水管道采用铜质材料制作，因为铜的导热性能较好，因此具有较好的传递热量的功能。

以上的镀膜段是用于给镀膜玻璃镀膜的镀膜段，是整个镀膜玻璃生产线的一部分。

以上的实施例是为了说明本实用新型公开的实施方案，并不能理解为对本实用新型的限制。此外，本文所列出的各种修改以及实用新型中方法、组合物的变化，在不脱离本实用新型的范围和精神的前提下对本领域内的技术人员来说是显而易见的。虽然已结合本实用新型的多种具体优选实施例对本实用新型进行了具体的描述，但应当理解，本实用新型不应仅限于这些具体实施例。事实上，各种如上所述的对本领域内的技术人员来说显而易见的修改来获取实用新型都应包括在本实用新型的范围内。