一种多晶铸锭炉的坩埚盖板的制作方法

技术特征：

1.一种多晶铸锭炉的坩埚盖板，其特征在于，包括具有第一通孔的碳化硅板和具有第二通孔的加强板，所述碳化硅板的上表面与所述加强板的下表面固定连接，所述第一通孔和所述第二通孔正对设置；所述碳化硅板的下表面与坩埚的顶端抵接。

2.根据权利要求1所述的多晶铸锭炉的坩埚盖板，其特征在于，所述碳化硅板与所述加强板之间设置有碳化硅铆钉。

3.根据权利要求2所述的多晶铸锭炉的坩埚盖板，其特征在于，所述碳化硅铆钉为周向、等间距分布。

4.根据权利要求2所述的多晶铸锭炉的坩埚盖板，其特征在于，所述第一通孔位于所述碳化硅板的中心处；所述第二通孔位于所述加强板的中心处。

5.根据权利要求2所述的多晶铸锭炉的坩埚盖板，其特征在于，所述碳化硅板的下表面的边缘设置有凹槽，用于与所述坩埚的顶端侧壁相咬合。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的多晶铸锭炉的坩埚盖板，其特征在于，所述碳化硅板的厚度范围为3～10mm；和/或所述加强板的厚度范围为3～10mm。

7.根据权利要求6所述的多晶铸锭炉的坩埚盖板，其特征在于，所述加强板为碳纤维板。

8.根据权利要求6所述的多晶铸锭炉的坩埚盖板，其特征在于，所述加强板为石墨板。