多晶铸锭DS块的制作方法

本实用新型涉及多晶铸锭
技术领域：
，特别涉及一种多晶铸锭DS块。
背景技术：
：由于当多晶硅锭的晶粒竖直性和连续性较好时，则证明其品质较好。而在长晶阶段，由于受热场温度不均衡影响，使得边部晶粒会出现倾斜生长，导致其品质大打折扣。因此对热场改造的基本思想是，抑制多晶铸锭DS块上坩埚内中部的散热，并扩大其边部的散热，这样才能维持坩埚内固液界面水平方向过冷度的一致性，改善晶粒生长竖直性，提高品质良率。现有的对热场改造的方式是，通过在多晶铸锭DS块四周铺设隔热条，以提高坩埚内的纵向温度梯度，防止坩埚内边部晶粒出现倾斜生长，以提高品质良率。现有的对热场改造的方式只能防止坩埚内边部晶粒出现倾斜生长，对硅锭整体晶体生长的热均匀性的调节作用不大，并不能抑制多晶铸锭DS块上坩埚内中部的散热，且降低了坩埚边部的散热效果。技术实现要素：基于此，本实用新型的目的在于提供一种多晶铸锭DS块，用于解决不能有效抑制坩埚内中部的散热和不能有效扩大其边部散热的问题。一种多晶铸锭DS块，包括固定板和设于所述固定板上的承载板，所述承载板背向所述固定板的一侧设有保温槽，所述保温槽内设有保温板，所述保温板的热导率低于所述承载板的热导率，所述保温板用于减缓坩埚中部的散热，所述承载板的侧边设有多个散热凹槽，每个所述散热凹槽均垂直朝向所述固定板凹陷并贯穿所述固定板的底面，以形成多个散热通孔，所述散热凹槽和所述散热通孔用于增大所述坩埚的纵向温度梯度。上述多晶铸锭DS块，通过所述保温槽的设计，有效的对所述保温板起到了承载固定的作用，提高了所述保温板与所述承载板之间结构的稳定性，通过所述保温板的热导率低于所述承载板的热导率的设计，有效的抑制了坩埚内中部温度的散热，通过所述散热凹槽和所述散热通孔的设计，采用在所述多晶铸锭DS块开孔的方式提供热扩散通道，以提高对坩埚边部的散热效果，保持了硅锭整体热平衡，有利于固液界面的水平生长。进一步地，所述保温槽的深度大于所述保温板的厚度，以在所述保温板与所述坩埚底面之间形成一保温通道。进一步地，所述保温槽的侧边设有凸起槽，所述凸起槽采用半圆柱形结构，所述凸起槽用于方便所述保温板的拆卸。进一步地，所述保温板朝向所述固定板的一侧的边缘设有抓取槽，所述抓取槽朝向所述保温板内部凹陷，所述抓取槽用于所述保温板的抓取。进一步地，所述承载板上对立两侧边上的所述散热凹槽的形状和数量均相同。进一步地，所述保温槽的中部垂直设有一限位柱，所述保温板上设有与所述限位柱相匹配的限位孔。进一步地，所述固定板的顶角上设有定位柱，所述定位柱用于方便隔热条的安装。进一步地，所述固定板和所述承载板采用石墨制成，所述保温板采用碳纤维护毡制成。进一步地，所述保温槽的深度小于所述承载板的厚度。进一步地，所述保温槽的底面采用曲面结构，且朝向所述承载板的内部凹陷。附图说明图1为本实用新型第一实施例提供的多晶铸锭DS块的结构示意图；图2为图1的俯视结构示意图；图3为本实用新型第一实施例中固定板与承载板之间的结构示意图；图4为图3中固定板的结构示意图；图5为图3中承载板的结构示意图；图6为图1中保温板的结构示意图；图7为本实用新型第二实施例提供的承载板的结构示意图；图8为本实用新型第二实施例提供的保温板的结构示意图；主要元素符号说明多晶铸锭DS块100固定板10定位柱11承载板20，20a保温槽21散热通孔22散热凹槽23凸起槽24限位柱25保温板30，30a限位孔31抓取槽32如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。具体实施方式为了便于更好地理解本实用新型，下面将结合相关实施例附图对本实用新型进行进一步地解释。附图中给出了本实用新型的实施例，但本实用新型并不仅限于上述的优选实施例。相反，提供这些实施例的目的是为了使本实用新型的公开面更加得充分。请参阅图1至图3，本实用新型第一实施例提供一种多晶铸锭DS块100，包括固定板10和设于所述固定板10上的承载板20，所述固定板10用于承载固定所述承载板20，以提高所述多晶铸锭DS块100整体结构的强度，所述承载板20用于承载固定坩埚，防止坩埚的移动，所述承载板20背向所述固定板10的一侧设有保温槽21，所述保温槽21内设有保温板30，所述保温板30的热导率低于所述承载板20的热导率，所述保温板30用于减缓坩埚底面中部的散热，本发明通过对坩埚下部热交换作用的所述多晶铸锭DS块100进行结构改造，改变长晶阶段热的动态不平衡，提高纵向温度梯度，改善晶粒生长的竖直性。本实施例中所述保温槽21采用方形凹槽结构，凹槽边长350～650mm，凹槽深度为15～30mm，所述保温槽21的深度大于所述保温板30的厚度，以在所述保温板30与所述坩埚底面之间形成一保温通道，进而有效的对坩埚底面中部起到保温效果。在另一实施中，所述保温槽21的底面采用曲面结构，且朝向所述承载板20的内部凹陷，进而进一步增大了所述保温通道的空间，进一步抑制了坩埚中部的散热。优选的，所述固定板10和所述承载板20采用石墨制成，所述保温板30采用碳纤维护毡制成，很好地抑制了坩埚中部散热，使水平方向上固液界面温度趋于一致，利于晶粒的竖直生长，同时由于碳纤维护毡镶入所述保温槽21中，避免直接作用在坩埚重力下，减少磨损避免了频繁更换，节约了成本。请参阅图4至图6，所述承载板20的侧边设有多个散热凹槽23，每个所述散热凹槽23均垂直朝向所述固定板10凹陷并贯穿所述固定板10的底面，以形成多个散热通孔22，所述散热凹槽23和所述散热通孔22用于增大所述坩埚的纵向温度梯度，优选的，每个所述散热凹槽23的结构均相同，本实施例中所述散热凹槽23的截面采用长方形结构，可以理解的，所述散热凹槽23的形状为也可是其他规则形状。所述承载板20上对立两侧边上的所述散热凹槽23的形状和数量均相同，进而保障了对坩埚底面热场的均匀性，所述保温槽21的中部垂直设有一限位柱25，所述保温板30上设有与所述限位柱25相匹配的限位孔31，通过所述限位柱25和所述限位孔31的匹配的设计，方便了所述保温板30的安装且对所述保温板30起到了固定限位的作用，防止了所述保温板30在所述保温槽21内的位置移动，提高了所述保温板30与所述承载板20之间结构的稳定性。优选的，所述固定板10的顶角上设有定位柱11，所述定位柱11用于方便隔热条的安装，所述保温槽21的深度小于所述承载板20的厚度。本发明在所述多晶铸锭DS块100中央区域开挖一个方形槽，并铺设热导率相对较低的碳纤维护毡，可以很好地抑制了坩埚底面中部散热，使水平方向上固液界面温度趋于一致，利于晶粒的竖直生长，同时由于碳纤维护毡镶入所述多晶铸锭DS块100中，避免直接作用在坩埚重力下，减少磨损避免了频繁更换，节约成本，通过沿着所述承载板20上部边界开孔，可以增大边部散热，在不影响所述多晶铸锭DS块100四周隔热条的前提下，增大纵向温度梯度，改善晶硅品质。本实施例中，通过所述保温槽21的设计，有效的对所述保温板30起到了承载固定的作用，提高了所述保温板30与所述承载板20之间结构的稳定性，通过所述保温板30的热导率低于所述承载板20的热导率的设计，有效的抑制了坩埚内中部温度的散热，通过所述散热凹槽23和所述散热通孔22的设计，采用在所述多晶铸锭DS块100开孔的方式提供热扩散通道，以提高对坩埚边部的散热效果，保持了硅锭整体热平衡，有利于固液界面的水平生长。请参阅图7至图8，为本实用新型第二实施例提供的承载板20a和保温板30a的结构示意图，该第二实施例与第一实施例的结构大抵相同，其区别在于，本实施例中所述保温槽21的侧边设有凸起槽24，所述凸起槽24采用半圆柱形结构，所述凸起槽24用于方便所述保温板30a的拆卸，当用户需要进行所述保温板30a的拆卸时，可以通过将手指插入至所述凸起槽24内进行所述保温板30a的抓取拆卸，进而有效的提高了对所述保温板30a的拆卸效率。所述保温板30a朝向所述固定板10的一侧的边缘设有抓取槽32，所述抓取槽32朝向所述保温板30a内部凹陷，所述抓取槽32用于所述保温板30a的抓取，进而可以配合所述凸起槽24进行所述保温板30a的拆卸，再次提高了对所述保温板30a的拆卸效率。上述实施例描述了本实用新型的技术原理，这些描述只是为了解释本实用新型的原理，而不能以任何方式解释为本实用新型保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其他具体实施方式，这些方式都将落入本实用新型的保护范围内。当前第1页1 2 3