等离子雾化制备高能量密度锂离子电池纳米硅用的装置的制作方法

技术特征：

1.等离子雾化制备高能量密度锂离子电池纳米硅用的装置，其特征在于，包括雾化罐体、真空系统、换气系统、等离子发生装置、送粉装置、送气装置和冷却装置；所述真空系统和换气系统分别与雾化罐体相连通；所述送粉装置和送气装置分别通过送粉管和送气管与雾化罐体上端相连通，且所述送气管套设在送粉管外侧；所述等离子发生装置包括等离子发生器和安装座，所述安装座以绕圆周均布的方式设置在雾化罐体上方，所述等离子发生器穿设在安装座内，且能够沿安装座前后移动，所述等离子发生器喷射出的等离子在送粉管出口下端中心处汇合形成等离子体汇集焦点区；所述冷却装置设置在雾化罐体的侧壁上；所述雾化罐体底部设置有出粉管。

2.如权利要求1所述等离子雾化制备高能量密度锂离子电池纳米硅用的装置，其特征在于，所述等离子发生装置的数量为2~6组。

3.如权利要求1或2所述等离子雾化制备高能量密度锂离子电池纳米硅用的装置，其特征在于，所述等离子发生器通过丝杆式调节装置与安装座相连，所述安装座内壁设置有与等离子发生器相贴合的密封件。

4.如权利要求1或2所述等离子雾化制备高能量密度锂离子电池纳米硅用的装置，其特征在于，所述雾化罐体侧壁设置有振动式下料装置，所述振动式粉末下料装置包括振动板、弹性连接件、振动发生装置和控制装置：所述振动板通过弹性连接件安装在真空雾化塔下方的内壁上，并与振动发生装置连接：所述控制装置通过有线或无线与振动发生器电连接。

5.如权利要求4所述等离子雾化制备高能量密度锂离子电池纳米硅用的装置，其特征在于，所述出粉管上设置有过滤筛网。

6.如权利要求1或2所述等离子雾化制备高能量密度锂离子电池纳米硅用的装置，其特征在于，所述冷却装置为镶嵌在雾化罐体侧壁内的盘形水管，雾化罐体的上下两侧分别设置有冷却水进口和冷却水出口，所述冷却水进口和冷却水出口与盘形水管形成水循环。