一种基于多层及大面积石墨烯生长用石英舟的石墨烯生长方法与流程

文档序号:16054062发布日期:2018-11-24 11:32阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明属于石墨烯生长的技术领域,尤其涉及基于石墨烯生长用一层、多层、卷对卷等多功能支撑平台的石墨烯生长方法,所述平台包括管状石英舟、石英插板和石英滑块;所述的管状石英舟是管状石管,其外径小于生长用石英管内径,且其管状石英舟外壁可采用金属箔卷绕,实现大面积卷对卷石墨烯生长;所述的石英插板是多层上下平行的石英插板,可实现单层或多层石墨烯生长,其与管状石英舟内壁以点焊连接;所述的石英滑块用于支撑管状石英舟在生长用石英管内部滑动。本发明的有益效果是:基于设计的石墨烯生长平台,可同时实现石墨烯生长用的单层、多层、卷对卷等多功能石墨烯生长需求,解决了单次装载金属基底较少,以及大面积石墨烯生长需求的问题。

技术研发人员:邱锋;李波;王茺
受保护的技术使用者:云南大学
技术研发日:2018.07.17
技术公布日:2018.11.23
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1