技术特征:
技术总结
本发明属于石墨烯生长的技术领域,尤其涉及基于石墨烯生长用一层、多层、卷对卷等多功能支撑平台的石墨烯生长方法,所述平台包括管状石英舟、石英插板和石英滑块;所述的管状石英舟是管状石管,其外径小于生长用石英管内径,且其管状石英舟外壁可采用金属箔卷绕,实现大面积卷对卷石墨烯生长;所述的石英插板是多层上下平行的石英插板,可实现单层或多层石墨烯生长,其与管状石英舟内壁以点焊连接;所述的石英滑块用于支撑管状石英舟在生长用石英管内部滑动。本发明的有益效果是:基于设计的石墨烯生长平台,可同时实现石墨烯生长用的单层、多层、卷对卷等多功能石墨烯生长需求,解决了单次装载金属基底较少,以及大面积石墨烯生长需求的问题。
技术研发人员:邱锋;李波;王茺
受保护的技术使用者:云南大学
技术研发日:2018.07.17
技术公布日:2018.11.23