一种用于单晶炉SIMS系统的透光片的安装结构的制作方法

本实用新型属于光学元件安装技术领域，具体涉及一种用于单晶炉SIMS系统的透光片的安装结构。

背景技术：

首先，单晶硅的生产过程是在真空状态下对装在单晶炉内石英坩埚中的多晶硅料进行加热熔化，然后在适当的温度下，将单晶籽晶浸入多晶液面下，通过一定速度的提升籽晶，使多晶硅料按照单晶的分子排列方式凝聚在单晶籽晶周围，从而生产出单晶硅。在生产过程中单晶硅棒的直径控制是一项重要的控制指标，关系到硅棒的直径和质量。在现有的单晶炉中有很大比例的单晶炉是上世纪九十年代生产的CG6000单晶炉，此时的单晶炉由于受到当时技术的限制，只能采用直径扫描测量系统即SIMS系统来进行直径的测量和控制。但是由于技术的进步，现在的CG6000单晶炉，已经淘汰了SIMS系统，而采用更为先进和稳定的CCD系统。导致原有的大量采用SIMS系统的单晶炉SIMS部件买不到备件。原装单晶炉SIMS系统的透光片的作用是位于感光传感器之前，用于控制感光元件的感光射入量，一般它是由纯金的薄片制作而成，中间开设有一道长3mm宽0.15mm的狭缝，此狭缝就是感光元件所有的射入光的来源，原有透光片存在如下问题：一、由于现在设备的生产厂商已经不在生产SIMS系统，所以一旦此种透光片损坏，即整个SIMS的损坏，无备件可买可换；二、原有的透光片的中间狭缝过于狭窄，在环境不理想的状况下使用一段时间以后就会堵塞，导致感光不足，SIMS无法正常运转。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对上述存在的问题，提供一种用于单晶炉SIMS系统的透光片的安装结构。

本实用新型的技术方案是：一种用于单晶炉SIMS系统的透光片的安装结构，包括八边形的透光片和用于固定所述透光片的安装结构，所述透光片的左右两侧对称设置有安装孔，透光片的中心位开设有供光源透过的透光孔，所述安装结构包括左边框、右边框和托框，所述左边框和右边框相对的内侧中部开设有供透光片嵌入的凹槽，所述凹槽的一端与边框一端齐平且向边框另一端延伸，其长度为边框长度的四分之三，所述托框设置在左边框下方和右边框下方之间，边框与托框的夹角处设置有补充限位机构，所述补充限位机构包括分别固定在凹槽下端和托框两端的耳片，相邻两个所述耳片的一端呈90°夹角，两个耳片的另一端通过补板连接。

进一步优化，所述透光片采用厚度为0.08-0.12mm的铜皮为制备而成。

进一步优化，所述透光片的长为20-20.6mm，宽为16-17mm。

进一步优化，所述透光孔为直径为0.2-0.3mm的圆孔。

进一步优化，所述左边框和右边框上分别开设有与安装孔相对应的孔洞。

进一步优化，所述耳片的上端临近凹槽的下端。

进一步优化，沿两个耳片夹角的角平分线方向设置有缓冲杆，所述缓冲杆的另一端连接补板。

本实用新型的有益效果为：

一、由透光孔取代现有技术的的狭缝设计，在不降低透光性能的情况下，实现不易堵塞；

二、虽然该透光片的使用寿命为原装产品的五分之一，但该透光片的材质采用价格较低的铜制备，并且维修人员可手工、快速制备，从长久生产成本计算，其加工成本大大降低；

三、透光片的安装结构包括开设有凹槽的左、右两个边框以及托框，透光片通过凹槽滑动进入安装结构内，同时在边框和托框连接的部分设置有补充限位机构，其目的是帮助八边形的透光片限定位置并且有助于保护透光片与补充限位部分相对应的斜边部分，降低透光片的损耗率，提高其使用寿命；

综上所述，本实用新型制作简单、生产成本低、使用方便，如有损坏，可随时更换，不影响生产。

附图说明

图1为透光片的结构示意图

图2为透光片的安装结构示意图

图3为透光片的安装结构的俯视图

图4为左边框的结构示意图

图5为托框的结构示意图

图6为补充限位机构的结构示意图

附图标记：1、透光片，2、安装孔，3、透光孔，4、左边框，5、右边框，6、托框，7、凹槽，8、耳片，9、补板，10、孔洞，11、缓冲杆。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的以及有益效果易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

一种用于单晶炉SIMS系统的透光片的安装结构，其具体实施方式为：包括八边形的透光片1和用于固定所述透光片1的安装结构，所述透光片1采用厚度为0.08-0.12mm的铜皮为制备而成，相对于现有技术中采用纯金材质制备而言，生产成本大大降低，即使寿命短于纯金制造，但从长远生产成本计算来看，其企业利润也得到有效提高，该透光片1的长为20-20.6mm，宽为16-17mm，透光片1的左右两侧对称设置有安装孔2，透光片1的中心位开设有供光源透过的透光孔3，透光孔3为直径为0.2-0.3mm的圆孔，多次使用后不易堵塞；所述安装结构包括左边框4、右边框5和托框6，所述左边框4和右边框5相对的内侧中部开设有供透光片1嵌入的凹槽7，所述凹槽7的一端与边框一端齐平且向边框另一端延伸，其长度为边框长度的四分之三，所述托框6设置在左边框4下方和右边框5下方之间，边框与托框6的夹角处设置有补充限位机构，所述补充限位机构包括分别固定在凹槽7下端和托框6两端的耳片8，相邻两个所述耳片8的一端呈90°夹角，两个耳片8的另一端通过补板9连接，所述耳片8的上端临近凹槽7的下端，沿两个耳片8夹角的角平分线方向设置有缓冲杆11，所述缓冲杆11的另一端连接补板，透光片1通过凹槽7滑动进入安装结构内，同时在边框4和托框6连接的部分设置有补充限位机构，其目的是帮助八边形的透光片1限定位置并且有助于保护透光片1与补充限位机构部分相对应的斜边部分，降低透光片1的损耗率，提高其使用寿命。

进一步优化，所述左边框4和右边框5上分别开设有与安装孔2相对应的孔洞10，供透光片1与边框紧固在一起。

本实用新型应用在直拉单晶炉的使用方法为：将本透光片1嵌入到安装结构内，将安装结构连通透光片1置于感光元件与光源之间，当SIMS系统的旋转电机带动反射镜片旋转时，从光源发出的光线经过反射镜片反射到透光片1上，经过透光片上1的透光孔射入感光元件，感官元件根据光线的强弱，控制输入不同大小的电流，再根据每个周期电流的峰值之间的时间来测量单晶硅棒的直径。

以上显示和描述了本实用新型的主要特征、使用方法、基本原理以及本实用新型的优点。本行业技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会根据实际情况有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。