一种籽晶夹持装置的制作方法

文档序号:18727391发布日期:2019-09-20 23:03阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种籽晶夹持装置,其特征在于:包括相互配合的夹头以及导气套;

所述夹头用于夹持籽晶;

所述导气套包括相对的第一端和第二端,所述导气套具有贯穿所述第一端和第二端的一个安装孔与多个导气槽,所述夹头安装于所述安装孔中、夹持于所述夹头的籽晶自所述第二端暴露于所述导气套外,多个所述导气槽围绕所述安装孔分布,自所述第一端向第二端,至少一个所述导气槽向靠近所述夹头的方向延伸。

2.根据权利要求1所述的籽晶夹持装置,其特征在于:所述夹头通过所述安装孔与所述导气套同轴连接。

3.根据权利要求1所述的籽晶夹持装置,其特征在于:多个所述导气槽围绕所述安装孔均匀分布,自所述第一端向所述第二端,每一个所述导气槽均向靠近所述夹头的方向倾斜,且倾斜的角度一致。

4.根据权利要求3所述的籽晶夹持装置,其特征在于:每个所述导气槽的横截面积均自所述第一端向所述第二端逐渐减小。

5.根据权利要求1所述的籽晶夹持装置,其特征在于:所述导气套包括套筒,以及自所述套筒的内表面向所述套筒中心延伸的多个连接臂,多个所述连接臂的末端位于所述安装孔的外围,每个所述导气槽均位于相邻的两个所述连接臂之间。

6.根据权利要求5所述的籽晶夹持装置,其特征在于:所述夹头的外壁上,与所述连接臂相对应的位置开设多个安装槽,所述连接臂的末端插入所述安装槽。

7.根据权利要求5所述的籽晶夹持装置,其特征在于:所述连接臂的末端设置与所述连接臂紧固连接的内筒,所述安装孔由所述内筒围合形成,所述内筒具有螺纹,所述夹头具有与所述内筒相匹配的螺纹,所述内筒与所述夹头通过所述螺纹紧固连接。

8.根据权利要求5所述的籽晶夹持装置,其特征在于:所述连接臂的末端设置与所述连接臂紧固连接的内筒,所述安装孔由所述内筒围合形成,所述内筒上设置多个卡榫,所述夹头的外壁上,与所述连接臂相对应的位置开设若干卡槽,所述卡榫插入所述卡槽。

9.根据权利要求1所述的籽晶夹持装置,其特征在于:自所述第一端至所述第二端方向,所述导气套的外缘向靠近所述夹头的方向倾斜。

10.根据权利要求1所述的籽晶夹持装置,其特征在于:所述导气槽的横截面形状为扇形、方形、圆形、椭圆形或者不规则形状中的一种。

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