技术总结
本实用新型提供了一种籽晶夹持装置,包括相互配合的夹头以及导气套;夹头用于夹持籽晶;导气套包括相对的第一端和第二端,导气套具有贯穿第一端和第二端的一个安装孔与多个导气槽,夹头安装于安装孔中、夹持于夹头的籽晶自第二端暴露于导气套外,多个导气槽围绕安装孔分布,自第一端向第二端,至少一个导气槽向靠近夹头的方向延伸。本实用新型提供的籽晶夹持装置,能够通过设置在导气套上的导气槽改变惰性气体的流速和流向,使惰性气体快速地向籽晶聚拢,有效地避免单晶炉内的挥发物对籽晶的氧化,确保籽晶的品质。
技术研发人员:魏国锋;白喜军;杨正华;刘平虎;段丽超;李宗飞;孙杨杨
受保护的技术使用者:丽江隆基硅材料有限公司
技术研发日:2019.03.04
技术公布日:2019.09.20