专利名称：：氯化铁系腐蚀废液的再生方法
技术领域：
：本发明涉及一种氯化铁系腐蚀废液的再生方法，该方法极适于腐蚀液的再生处理，从集成电路(IC)、大规模集成电路(LSI)用的引线框架和阴极射线管的遮蔽屏的腐蚀加工处理时产生的氯化铁系腐蚀废液中除去离子化趋势小于铁的金属离子(例如铜、镍)。过去，IC、LSI用的引线框架和遮蔽屏上，使用由例如铜、铁-镍合金材料制成的板状物，这种板状物是利用含有大量氯化铁的腐蚀液经部分腐蚀处理的方法制造的。经过腐蚀处理，腐蚀液中所含的氯化铁被还原成氯化亚铁，氯化铁浓度降低，腐蚀效率变差，所以需要定期更换腐蚀液。经过这种腐蚀处理之后，作为废液的腐蚀废液中，除了高浓度的铁离子之外，还含有相当大量的贵重的铜离子、镍离子等。而且，由这种腐蚀废液中除去这些金属离子后，能够得到一种可以再次使用的腐蚀液。于是，在日本特开平1-167235号公报中揭示了一种腐蚀液的再生方法，该方法在腐蚀废液中加入铁屑或铁粉，还原腐蚀废液中离子化趋势比铁小的金属离子(例如，铜离子、镍离子)，进而回收废液中的铜及镍。然而，在此公报记载的方法中，尚有以下问题，所回收的铜和镍品位低，而且在使用铁屑反应的情况下，与腐蚀废液之间的反应速度慢。于是，在日本特开平6-127946号公报中揭示了一种氯化铁系腐蚀液的再生方法，该方法在含有铜、镍和少量铬的强酸腐蚀废液中加入铁粉，控制氧化还原电位(ORP)和铁离子浓度，使在其中溶存的铜及镍依次被置换析出，得到精制氯化铁溶液，进而从其中分离除去氢氧化铁等悬浮性杂质。然而，在日本特开平6-127946号公报公开的方法中，对于金属离子的还原除去处理来说，由于在搅拌槽内设有搅拌叶片，在马达驱动下使搅拌叶片旋转进行搅拌，所以存在下面(1)～(5)中所说的问题。(1)处理腐蚀废液时不可缺少的条件是维持搅拌槽中腐蚀废液处于良好的流动状态，并且使大量铁粉保持分散状态；但是对于搅拌叶片式的机械搅拌反应槽来说，要使铁粉在腐蚀废液中保持分散状态却存在设备上的限制(例如，使大型搅拌叶片运转的大型马达需要极大功率)，因此不适于大量废液的处理。(2)要使比重大的铁粉大量而均匀地分散在腐蚀废液中，并使之维持这种悬浮流动状态，必须使用极大的动力驱动搅拌叶片，因而运转成本增高。(3)由于铁粉被搅拌叶片高速搅拌，而且搅拌槽内壁和搅拌叶片与铁粉之间接触，因而使其磨耗量增大，搅拌槽的保全费用增大。(4)铁粉会滞留在搅拌槽的角落处，可以形成腐蚀废液得不到充分搅拌的死空间，导致搅拌效率降低，除去腐蚀废液中离子化趋势小于铁的金属离子所需的时间延长。(5)人所共知，在使用搅拌叶片进行强制搅拌的搅拌槽中，使用小粒度铁粉比较容易保持良好的悬浮流动状态，但是使用这种特殊粒度的铁粉将提高原料成本。此外，在将腐蚀废液放入搅拌槽中用铁粉还原除去杂质金属的情况下，如果存在氯化铁高价铁离子，则三价铁离子首先产生反应消耗铁粉，最后使腐蚀废液中二价和三价铁离子总量增大；所以要使之成为适于使用的具有预定浓度的腐蚀液，最后必须稀释，因而形成超过所需数量的大量腐蚀液，使储存设备大型化，而且若不全部使用所产生的腐蚀液，还存在处理未用的剩余腐蚀液的问题。另一方面，可以用于上述腐蚀废液处理方法的铁粉制造方法，例如有日本特公昭57-44724号公报中所记载的方法，该法是由以下四个工序组成。即，在第一工序中，用湿法回收吹纯氧炼钢转炉中产生的粉尘，将粉尘分级使44微米以下粒度的微粒占30％以下；接着在第二工序中使用湿式微粉粉碎机，从粗粉尘中除去锈皮、炉渣等杂质；第三工序中，除去脱除锈皮和炉渣的粉尘中的杂质，得到金属铁；在第四工序中进一步精制这种金属铁得到铁粉。但是，上述日本特公昭57-44724号公报中所记载的方法中，从粉尘中除去杂质的工序，是利用分级、薄流选矿或磁选法进行的，所以存在的问题是粉尘的处理能力低，大量处理困难。此外，对于金属铁精制的工序来说，由于采用氧化铁精制或稀酸浸出精制法等组合方法，所以还有成本高的问题。鉴于上述情况，本发明目的在于提供一种氯化铁系腐蚀废液的再生方法，该方法可以使用从炼钢炉产生的粉尘经洗涤处理得到的铁粉，在更少的动力下高效地还原处理更大量的腐蚀废液，而且还能够还原回收氯化铁系腐蚀废液中存在的铜、镍等离子化趋势比铁小的金属离子(有时也叫做“杂质金属离子”)。此外，本发明的另一目的在于提供这样一种氯化铁系腐蚀废液的再生方法，该方法能够减少多余部分腐蚀液量(向腐蚀废液中加入铁粉还原回收铜、镍等金属，最终将三价铁离子调整到规定浓度时形成的)，而且能够降低设备费用以及由此而造成的生产成本增加。按照上述目的完成的本发明氯化铁系腐蚀废液再生方法，其中包括向处于搅拌槽内含有铜、镍等离子化趋势小于铁的金属离子的氯化铁系废液中混入铁粉，使铁粉与上述金属离子反应，将所说的金属离子析出除去后，对铁粉处理液进行氧化处理，其特征是向所说的搅拌槽中供给所说的氯化铁系废液，同时从所说搅拌槽的上部取出使铁粉反应后的铁粉处理液，循环供给到搅拌槽的底部，借以形成使铁粉分散悬浮的流化床，并且从搅拌槽的上部取出多余的铁粉处理液。本发明的氯化铁系腐蚀废液再生方法，从搅拌槽上部取出除去了杂质金属离子的铁粉处理液，将其循环供给到搅拌槽底部，利用这种方法形成流化床，能够处理全部铁粉处理液。所以即使所供给的氯化铁系废液量发生变化，也能稳定地形成流化床，其结果能够使氯化铁系废液与铁粉之间的反应在稳定状态下进行。此外，由于采取了从搅拌槽上部取出一部分铁粉处理液，并从底部供入的措施，所以在搅拌槽内不会形成不参与反应的死空间，而且能够形成流化床，因而能够提高所供给的氯化铁系废液中杂质金属离子的除去效率。本发明的氯化铁系腐蚀废液再生方法中，使氯化铁系废液从搅拌槽底部供入，有助于形成所说的流化床，而且令人高兴的是，利用这种方法还能够提高氯化铁系废液与铁粉之间的接触程度，从而提高处理速度。此外，本发明的氯化铁系腐蚀废液再生方法中，最好在搅拌槽上部设置一段相对于形成流化床的流化床形成区域扩径的铁粉分离区域，使上升液在扩径区域的流速下降，借以抑制分散悬浮的铁粉的上升。用这种方法，使搅拌槽内流体的上升液流在所说的铁粉分离区域减速，超过规定粒度的铁粉不能漂浮进入铁粉分离区域，即使搅拌槽内的流量发生一些变化也能使流化床上端保持在固定位置上，因而能够在稳定的条件下进行杂质金属离子的除去操作。在上述本发明的氯化铁系腐蚀废液的再生方法中，最好将供入搅拌槽中的氯化铁系废液处理成一种还原氯化铁水溶液，即通过预电解处理使氯化铁系腐蚀废液中三价铁离子部分或者全部被还原成二价铁离子，其理由如下。按照上述方式电解处理氯化铁系腐蚀废液，使三价铁离子还原成二价铁离子，二价铁离子和三价铁离子的铁离子总浓度不变。从而使最终工序中氧化处理(例如通入氯气)二价铁离子形成三价铁离子的氯化铁系废液再生处理时，由于铁含量不变化，所以再生得到的适用浓度的腐蚀液量不增加。即，按照传统方法只使用铁粉处理时，由于所含三价铁离子与铁粉之间会反应形成二价铁离子，结果使所含的铁成分量增加超过所需值，使最后工序中氧化处理二价铁离子时产生多余的溶液；然而本发明中还原三价铁离子为二价铁离子时由于不使用铁粉，所以能够彻底杜绝多余溶液的产生，由此能够降低因处理这种多余液而招致的成本，同时还能使处理设备小型化。此外，由于在氯化铁系废液再生处理时减少了铁粉使用量，所以还能够降低处理成本。上述的电解处理时，所说的氯化铁系腐蚀废液的平均电解电压和电流密度应当分别控制在1～4.5(优选1.5～3)V和2～40(优选3～20)A/dm2。按照这种方法，将电解处理时的电解电压、电流密度控制在特定范围内，所以氯化铁系废液中所含的铜、镍等杂质金属离子不析出，保证所需的还原效果，进而能够有效地再生处理氯化铁系废液。其中，如果电解电压低于1V，则实际上比还原三价铁离子为二价铁离子所需的理论电解电压低，不能得到所需的还原效果；反之，如果电解电压超过4.5V，则氯化铁系腐蚀废液中所含的铜、镍等杂质金属离子析出，因而不好。此外，如果电流密度低于2A/dm2，由于氯化铁系废液的处理能力降低，要处理预定量液体需要大型化设备；反之，如果电流密度超过40A/dm2，则会使电解电压增高加大电力成本，因而不经济。此外，电极负荷加大，电极的使用寿命缩短，同时促使杂质金属离子析出，因而不好。此外，上述电解处理期间，电解槽中阳极板和阴极板之间的距离优选为1.5～50mm。采用这种结构，由于电解槽中阳极板和阴极板之间的极间距离被保持在特定范围内，所以能抑制阳极板处产生的氯气侵入阴极部分，可以阻止二价铁离子的氧化，同时也能防止电解电压的提高。其中，如果极间距离小于1.5mm，则阳极板处产生的氯气易于透过薄膜侵入阴极部分，成为该处二价铁离子被氧化成三价的重要原因()。而且向电极表面供给溶液实际上将变得更加困难，所以铜、镍等金属容易析出。另外，如果极间距离大于50mm，则由于电解电压提高使电力成本加大，因而不好。而且更优选的极间距离为2～20mm。利用具有透液性的薄膜，将进行电解处理的电解槽分隔成备有阳极的阳极室和具有阴极的阴极室，从所说阴极室的某处供给氯化铁系腐蚀废液，也可以从该阴极室的它处取出通过该阴极室并被还原处理的还原氯化铁水溶液。采用这种方法，可以防止供入的氯化铁系腐蚀废液与还原氯化铁水溶液实际上发生混合作用，使电解处理有效地进行。另外，应当使经上述电解处理法处理的上述还原氯化铁水溶液中残存的三价铁离子浓度处于10～120克/升范围内。其理由是还原氯化铁水溶液中残存的三价铁离子浓度低于10克/升时，单位电流能够还原三价铁离子为二价铁离子的数量减少，同时其中所含的铜离子和镍离子也析出形成铜和镍，所以不好；反之，如果还原氯化铁水溶液中残存的三价铁离子浓度超过120克/升，则三价铁离子在搅拌槽中与铁粉反应，增加铁粉的消耗量，同时伴随着多余的腐蚀液量增大。虽然按上述说明应当使还原氯化铁水溶液中的三价铁离子浓度处于10～120克/升范围内，但是最好使之处于100克/升之下。其中，最好将上述电解处理时从所说的阳极处生成的氯气，部分或者全部通入从搅拌槽取出的上述铁粉处理液中，使一部分二价铁离子氧化成三价铁离子。这种方法可以在不生成无用副产物的条件下对氯化铁系腐蚀废液进行有效地再生处理。本发明中使用的铁粉，优选使用这样制备的精制铁粉；即利用湿法处理炼钢炉产生的含有氧化钙等杂质的粉尘，回收铁粉粉尘，将其粉碎之后用水洗除其中的杂质，然后酸洗。这种方法可以有效地利用炼钢炉产生的铁粉，减少再生处理过的腐蚀液中的氧化钙等杂质。上述铁粉粉尘的酸洗过程也可以这样进行，即利用设置在滞留有所说铁粉粉尘的沉淀槽中、其上部备有酸液注入口的螺旋输料器，将铁粉粉尘缓缓排出的过程中进行酸洗。这种方法通过连续处理氯化铁系废液还原处理时所使用的铁粉，能够大量而廉价地加以制造。其中，沉淀槽中酸处理液的氢离子浓度，按pH计算优选0.5～3。这样，精制铁粉中氧化钙等杂质含量可以达到预定水平，同时酸液成本、处理成本和设备保全成本都能保持在适当范围内，进而可以在低成本下进行氯化铁系废液的再生处理。如果酸液的氢离子浓度(pH)小于0.5，则酸液的腐蚀性增大，必须对设备进行特殊的耐酸处理，使设备的保全成本增加。另一方面，如果氢离子浓度大于3，则包括附着在铁粉上的铁屑、炉渣等在内的杂质不能充分溶出，因而不理想。以上记载的本发明的氯化铁系腐蚀废液再生方法中，所谓“氯化铁系废液”，是指其中含有氯化亚铁(FeCl2)、氯化铁(FeCl3)的腐蚀废液等酸性的水溶液，其中还含有在腐蚀过程中溶解的铜、镍和镉等离子化趋势比铁小的金属离子。所谓铁粉，是例如粒径为44～250微米的粉末状铁；其形状包括球形、多孔状等，但是并不限于这些，可以使用铁粉、雾化铁粉等。所谓流化床，是指供给搅拌槽内的铁粉通过由下部供给的物流，依靠本身重力和粘性阻力之间达到平衡，能在一定空间内悬浮流动的铁粉密度高的区域。所谓铁粉处理液，是指以通过流化床并从其上方区域溢出的铜、镍等杂质金属离子被还原除去的水溶液为主体的液体，其中还含有少量(例如低于20重量％的)未分离的铁粉和固体悬浮物。所谓铁粉分离区域，是指沿搅拌槽纵向划分，位置处于流化床上方，互相之间并没有物理间隔的区域。这种铁粉分离区域，就其水平截面来说上部扩大，所以由搅拌槽下部供给的氯化铁水溶液的流速下降，悬浮流动的铁粉不会侵入铁粉分离部区域，实质保持在流化床内起作用。附图1是适于氯化铁系腐蚀废液再生的、本发明第一实施例中使用的腐蚀废液处理设备结构的示意说明图。附图2是同一废液处理设备中的电解装置说明图。附图3～附图7是分别表示电解装置中氯化铁系腐蚀废液的供给位置以及还原氯化铁水溶液取出位置之间多数搭配方式中各种搭配方式的示意图。附图8是同一废液处理设备中铁粉精制设备的结构的说明图。附图9是铁粉精制设备中使用的水洗装置和酸洗装置的断面侧视图。附图10是图9中沿I-I线的断面图。附图11是获得铁粉粉尘使用的铁粉收集设备的配置图。附图12是同一废液处理设备中搅拌槽的说明图。附图13(a)、(b)和(c)分别是电解装置中电解电压、电流密度和三价铁离子浓度随时间推移的变化图。附图14(a)、(b)、(c)和(d)是氯化铁系废液再生处理时离子浓度的变化方式图。附图15是铁粉粉尘中氧化钙浓度的变化图。附图16适于氯化铁系腐蚀废液再生的、本发明第二实施例中使用的腐蚀废液处理设备结构的示意说明图。附图17是同一设备上使用的第二搅拌槽的断面图。附图18是表示其他形式的第二搅拌槽的断面侧视图。附图19是附图18中沿II-II线的向视图。以下参照附图，基于所附的具体实施例说明本发明。这些说明只限于对本发明的理解。(第一实施例)首先，参照附图1～12说明本发明第一实施例中使用的适于氯化铁系腐蚀废液再生方法的废液处理设备10的结构。如图1所示，废液处理设备10具有用于还原原料氯化铁系腐蚀废液11中三价铁离于为二价铁离于的电解装置12，精制从一种具体炼钢炉实例的转炉13中排出的铁粉粉尘14从而得到精制铁粉15用的铁粉精制设备16，在其中搅拌经过电解装置12处理的还原氯化铁水溶液17和由铁粉精制设备16得到的精制铁粉15，使杂质金属从还原氯化铁水溶液17中析出的搅拌槽18，以及氧化从搅拌槽18中取出的铁粉处理液19中二价铁离子为三价铁离子，以便得到再生的腐蚀液20使用的氯气处理装置21。以下，说明具有上述结构的废液处理设备10中各装置的结构。首先，参照图2～图7具体说明电解装置12的具体结构。如图2所示，电解装置12具有阳极板(阳极)23和阴极板(阴极)24被保持在规定距离，其下部备有氯化铁系腐蚀废液11进液口25，上部备有经过处理的还原氯化铁水溶液17出液口26的电解槽27，向阳极板23和阴极板24施加电压用的直流电源装置28，可以向其中输入电解槽27的电流密度(D)、还原氯化铁水溶液17中的三价铁离子浓度(C)、阳极板23产生的氯气量等数据，以便控制电解电压(E)和氯化铁系腐蚀废液11的供给流量(Q)等参数用的控制装置29。电解槽27被设置在阳极板23四周的隔膜30分割成阳极室31和阴极室32，在阳极室31上部设有用于收集阳极板23产生氯气用的氯气排气口33。本实施例中，电解槽27上的氯化铁系腐蚀废液11的供给位置以及经电解槽27处理后的还原氯化铁水溶液17的取出位置如图2所示；氯化铁系腐蚀废液11的进液口25和还原氯化铁水溶液17的出液口26均设在阴极室32一侧，这种方法采用的是阴极进液和阴极出液的方式。按照这种方式操作，所供给的氯化铁系腐蚀废液11和经处理的还原氯化铁水溶液17中的二价铁离子，不会被阳极板23产生的氯气所氧化，而且能够快速向阴极板24表面附近供给氯化铁系腐蚀废液11中的三价铁离子。但是，上述氯化铁系腐蚀废液11的进液口25和还原氯化铁水溶液17的出液口26，也可以配置成图3-图7所示的电解槽34-37、37a那样。而且在各种方式的电解槽34-37、37a中，氯化铁系腐蚀废液11的进液口25和还原氯化铁水溶液17的出液口26的形成位置，也可以按需要上下调换。此外，在图2-图7的电解槽27、34-37、37a中，示意表示的是一对阳极板23和阴极板24组合而成的情况，但是实际上也可以将被隔膜分割成阳极室和阴极室的部分，设计成数个排列的结构。其中，在图7中，阳极板23完全被隔膜30所隔离，使氯气从上部排出。而且本发明的电解槽并不限于图2-图7的实例上，例如也可以使用众所周知的压滤机式或槽式电解槽；向电解槽供给电力的方式，有单极式和双极式两种。阳极板23优选使用钛表面部分覆盖有钌氧化物的电极，例如ペルメック社制造的DSE电极、DSA电极等。阳极板23，虽然也可以使用覆盖白金的钛和石墨板等，但是最好使用氯过电压低、氧过电压高而且电阻低的DSE电极。作为阴极板24的材料，石墨、钛、铁、不锈钢、铜、镍、镍合金等可能是适用的，最好使用氢过电压高、电阻小的钛或镍合金。此外，阳极板23和阴极板24的形状，可以是利用压延金属板的方法得到的具有多条小缝隙结构的，所谓冷胀合金的那种形状、棒状、板状或帘子状的材料。图2中的隔膜30，使阳极板23处产生的氯气与阴极室32隔开，阻止阴极室32内氯化亚铁的氧化反应()，同时具有捕集氯气的作用。隔膜30的材料，最好是一种具有透液性，对产生的氯气的阻气性好，而且价格低的材料。具体讲，滤布、离子交换树脂是适用的，其中使用厚度大约1mm的株式会社泉制的滤布(其商品名为〖パィレンフィラメントPF4000〗)。在这个实施例中，阳极板23和阴极板24之间的极间距离L虽然设定为8mm，但是必要时也可以使极间距离，即极间间隙在1.5-50mm范围内变化，最好将极间距离设定为2-20mm。控制装置29是由预先输入预定处理程序，由所输入的程序进行处理的程序控制器(程序装置)组成的一种控制装置；但是将其省略，也可以由操作员自己对供料流量Q、电解电压E等进行控制操作。现在，说明这种控制装置29的功能如下向电解槽供给的电流i可以由设置在直流电源装置28和电解槽27之间的电流表38测量，此电流值除以阳极板23和阴极板24的有效面积S可以求出电流密度D(＝i/S)。而且可以使用离子计连续或间歇测定从电解槽27中取出的还原氯化铁水溶液17中的金属离子浓度。此外，在控制装置29中，输入上述电流密度D和三价铁离子浓度C的控制数据，基于该控制数据可以调整电解电压E和氯化铁系腐蚀废液11的供给流量Q。接着参照图8-图10，具体说明铁粉精制设备16，该设备通过精制由转炉13取出的铁粉粉尘14能够制造出精制铁粉15。如图8所示，铁粉精制设备16包括铁粉粉尘14原料的加料器40、一次磨矿球磨机41、预洗涤艾金斯型分级机42、二次磨矿浆磨机43、水洗装置44、酸洗装置45、二次洗涤艾金斯型分级机46、气流干燥机47和振动筛48；将这些装置串联排列后可以制造精制铁粉15。其中除了水洗装置44和酸洗装置45之外，其他装置的结构是众所周知的，所以省略了对它们的详细说明。以下参照附图9和附图10，说明作为铁粉精制设备16主要部分的水洗装置44和酸洗装置45的结构。如图所示，水洗装置44具有容纳投入的铁粉粉尘14处理物的倒圆锥形第一沉淀槽49、和洗净第一沉淀槽49中沉淀物并将其取出用的螺旋输料器50。另一方面，酸洗装置45具有承接从水洗装置44的螺旋输料器50上部排出的洗净铁粉用的倒圆锥形的第二沉淀槽51，和将第二沉淀槽51中的沉淀物捞出并具有洗净、分级和除水作用的螺旋输料器52。所说的螺旋输料器50和52，其下部分别浸于第一沉淀槽49和第二沉淀槽51之中，他们沿着与水平方向呈10--50度角度的方向倾斜设置，而且螺旋输料器50和52至少在上部具有开放的槽形结构。而且，在螺旋输料器50、52内部，各自分别设有用于提升第一、第二沉淀槽49、51底部堆积的沉淀物使之上升移动的输料螺旋体53、54。通过马达等使未图示出的输料螺旋体53、54旋转，可以把滞留在第一、第二沉淀槽49、51底部的沉淀物经螺旋输料器50、52缓缓移送到上部。此外，在螺旋输料器50、52的输料螺旋体53、54各自的上部，分别设有供水管55和供酸管56。在供水管55和供酸管56上分别设有放水口57和注酸口58，以便能够分别将洗涤水和酸洗液供给到螺旋输料器50、52上部的敞开部分。处于螺旋输料器50、52内的、分别在输料螺旋53、54旋转作用下作上升移动的沉淀物，与处于螺旋输料器50、52内在重力作用下分别向下流动的洗涤水和酸洗液之间，由于发生有效的搅拌和混合作用，使得沉淀物中粒度较小的颗粒在洗涤液流作用下在螺旋输料器50、52内下降，积累在第一、第二沉淀槽49、51中，除去微粉的沉淀物从螺旋输料器50、52上部向下设置的排料口59、59a分别被排出。此外，在上述的预洗涤艾金斯分级器42和二次洗涤艾金斯分级器46上也分别设有螺旋输料器，其结构与上述水洗装置相同。另外，由转炉13排出向铁粉精制设备16供给的铁粉粉尘14，可以使用例如图所示的铁粉收集设备60收集。即，如图11所示，在转炉13上部设有用于收集转炉13排出的粉尘和炉气的捕集罩61，捕集罩61与排气系统62的始端相连，排气系统62的尾端与烟筒63连接，从烟筒向大气中排放经过下述的粉尘收集和无害化处理的气体。在处于排气系统62上游侧的第一直管段62a上端和下部，分别设有第一喷水口67和第一扑捉粉尘排出口67a。从第一喷水口67向第一直管段62a内喷射水，使在排气系统62内流动的发生气与水接触，发生气中含铁粉的粉尘几乎完全(95％)被水所捕获。而且，被捕获的粉尘在与水混合的状态下，可以经过第一扑捉粉尘排出口67a，送到后述的湿式分级机64中。而且，如图11所示，第一直管段62a的下游侧通过一个水平段与第二直管段62b相连，其上端和下部分别设有第二喷水口65和第二扑捉粉尘排出口65a。通过此第二喷水口65向第二直管段62b内喷射水，使在排气系统62内流动的发生气与水接触，可以完全扑捉发生气中所含的残余粉尘(5％)。进而，通过第二扑捉粉尘排出口65a将混有扑捉粉尘的喷射水送入粉尘处理槽66中。由于这种喷射水只含少量粉尘，所以可以将其作为第一直管段62a的喷射用水，用泵P输送到第一直管段从第一喷水口67向其中喷射，因而能有效地加以利用。湿式分级机64具有粉尘沉淀槽68；而且如图11所示，从第一直管段62a排出的、含有铁粉的粉尘与喷射水一起被送入这个粉尘沉淀槽68之中。而且，只有含有铁粉的粉尘作为沉淀粉尘D沉淀在粉尘沉淀槽68底部。粉尘沉淀槽68内，设置有长尺寸管体69a以及在管体69a内旋转的输料螺旋69构成的螺旋输料器70，其始端处于粉尘沉淀槽68内，同时其尾端从粉尘沉淀槽68的上缘伸出。而且在螺旋输料器70的尾端设置有洗涤水供水装置70a。因而，在这种湿式分级机64内，通过从螺旋输料器70的终端侧供给洗涤水等，沉淀物中微粉部分沿着螺旋输料器70内壁选择性地下降流出，所以可以使沉淀物中粒度比较大的并除去过量水分的沉淀物(铁粉粉尘)从螺旋输料器70的上部取出。另外在本实施例中，将粉尘沉淀槽68上部的上清液输送到并列设置的增稠器64a中，使上清液中的微小成分(氧化铁等)沉淀除去制成洗涤水，再使用这种水作为洗涤水从第二喷水口65喷射到第二直管段62b内。这样，通过循环使用水可以使铁粉操作所需的费用降低。在上述的铁粉收集设备60中，将排气系统62的第一喷水口67和第二喷水口65制成缩口状，利用这种节流结构喷入水时，能够有效地产生排气或粉尘与水的混合作用，水可以有效地扑捉被捕获的粉尘。以下参照附图12，说明搅拌槽18的结构。在该搅拌槽中搅拌还原氯化铁水溶液17和精制铁粉15，使杂质金属从还原氯化铁水溶液17中析出。如图所示，搅拌槽18是由上下方向水平截面积各不相同的第一区段71～第五区段75等五个区段构成的反应容器，总容积为17立方米，最大内径大约3.2米，能够使氯化铁系废液处理用精制铁粉15数量保持例如大约21吨。搅拌槽18最上部的第一区段71，是一段水平截面积最大的直筒段构成的区域，其上端开口与大气相通，因而可以从上部向搅拌槽18中加入精制铁粉15。此外，与第一区段71相连的第二区段72，是向下逐渐缩径的截锥段组成的区域。因此，第一和第二区段71、72共同形成铁粉分离区域(自由空间)，它能降低上升物流的流速，防止在还原氯化铁水溶液17中悬浮流动的，即处于分散悬浮状态下的铁粉，从后述的流化床侵入到铁粉分离区域中。在第二区段72的下部，是由与第二区段72具有相同截面积的直筒段形成的第三区段73，在第三区段73下端连接由倒截锥段组成的第四区段74，在第四区段74下端链节由小直径的直筒段形成的第五区段75。因此，在第三～第五区段73～75中，以还原氯化铁水溶液17为主的循环液流可以使铁粉保持在悬浮流动状态下，形成图12中虚线表示的铁粉密度高的流化床。在上述形成铁粉分离区域的第一区段71和第二区段72的侧壁上，分别设有取出部分处理液的出液口76、77，同时还在形成流化床下部的第五区段75的侧壁上设有处理液进液口78。于是，取出部分处理液的出液口76、77和处理液进液口78，由中途备有循环泵79的处理循环管80连通。所以通过驱动循环泵79，可以分别经由部分处理液出液口76、77，从第一和第二区段71、72中取出铁粉含量极少或者不含铁粉的处理液19；然后借助于处理液循环泵80和处理液进液口78，使铁粉处理液19流入第五区段75之内，从而在搅拌槽18中形成自身循环液流。此外，为了控制经由两个部分取出处理液的出液口76、77，经过处理液循环泵80的铁粉处理液19的流量，在处理液循环管80的上端设置有第一和第二循环物流量控制阀81、82，在处理液循环管80下端设置有供给流量控制阀83。利用这些第一和第二循环物流量控制阀81、82和供给流量控制阀83，能够容易地控制循环的液体流量。所以，通过中间备有废液供给阀84的、供给还原氯化铁水溶液17(有时是氯化铁系腐蚀废液)用的配管85以及处理液出液口78，向搅拌槽18中供给还原氯化铁水溶液17(有时是氯化铁系腐蚀废液)时，无论供给量多少，都能够借助于循环物流将供入搅拌槽18中的精制铁粉15的流动状态维持在适当范围内，形成流化床。而且，在铁粉特别容易沉淀的小直径直筒段构成的第五区段75上，放出一部分铁粉处理液19，可以使铁粉等向上运动，并且抑制在搅拌槽18中形成死空间。还原氯化铁水溶液17(有时是氯化铁系腐蚀废液11)，通过在供给流量控制阀83和循环泵79之间配管上装设废液供给阀86的供给管87，或者通过处于第一区段71上的供给配管85被输送到搅拌槽18中。在形成铁粉分离区域的第一区段71和第二区段72的侧壁上，除了上述部分取出处理液出液口76和77之外，还分别设有处理液排出口88和89；处理液排出口88和89上连接中途设置有泵90的处理液输送管91。处理液输送管91的出口侧与氯气处理装置21连通。因而使在搅拌槽18内处理得到的铁粉处理液19，在泵90的驱动下，通过处理液输送管91被输送到氯气处理装置等之中。而且由处理液排出口88和89排出的铁粉处理液19，可以利用分别设置在与处理液排出口88和89相连的处理液输送管91中途位置设置的第一排出流量控制阀92和第二排出流量控制阀93加以调整。这样一来，由于可以从处理条件各异的不同反应区段按要求选择铁粉处理液19，或者由个别的区段取出其特性各异的铁粉处理液19，所以可以调整被泵90输送的铁粉处理液19中的铁离子浓度，使以后的废液处理控制在适当范围内。当搅拌槽18中的精制铁粉15不足时，可以从搅拌槽15上部供给精制铁粉。而且为了排出沉淀在底部的固形物，在搅拌槽18底部还设有带有底部排出阀94的排出管94a，可以由此取出固形物等。以下说明氯气处理装置21的结构，使用该装置将从搅拌槽18中取出的铁粉处理液19中二价铁离子氧化为三价铁离子，制得再生腐蚀液20。氯气处理装置21未在附图中示出。由于必须使高腐蚀性铁粉处理液19保持在储存状态下，所以氯气处理装置21应当由FRP(纤维强化的塑料)等耐腐蚀性强的材料制成的反应容器组成。而且向经搅拌槽18处理过的铁粉处理液19中，通入在电解装置12等中生成的氯气或者向其中鼓泡，使铁粉处理液19中的二价铁离子部分或全部被氧化物成三价铁离子，用这种方法可以得到再生的腐蚀液20。其中，可以按照例如分成一次氯气处理工序和二次处理工序的方式实现这种氯气处理反应，这样可以进一步提高与氯气的反应效率。接着，就采用上述结构的废液处理设备10的、属于本发明第一实施例的氯化铁系腐蚀废液的再生方法，进行详细说明。首先，就使用附图8和9所示的铁粉精制设备16精制从转炉3捕集的铁粉粉尘14制取精制铁粉15的方法进行说明。如图8-10所示，经原料给料器40，向一次磨矿球磨机41中投入从图11的湿式分级机64中排出的含有水份的铁粉粉尘14。一次磨矿球磨机41是一种近圆筒形的球磨机，它能够处理由原料给料器40连续投入的铁粉粉尘14，该球磨机41的转数为20～36rpm，作为粉碎介质用的磨球使用量达3～5吨。而且，向这种一次磨矿球磨机41中供给的含有铁粉粉尘14的水量，为200～1000(平均270)l/hr，铁粉粉尘14的浓度为50～80(平均65)重量％。这种一次磨矿球磨机41中铁粉粉尘14的滞留时间或处理时间是约60～120分钟，经过这种粉碎处理，铁粉粉尘14中所含的杂质可以部分与铁粉分离。进行上述湿式粉碎处理的理由是，由转炉13回收的粉尘自身，如上所述是含有大量水分的湿粉，如果使用干法处理必须采用干燥工序作为前处理工序，而且随后的酸处理本身也是用湿法进行的，所以在酸处理后必须再度干燥处理，因而不经济。而且若进行干法粉碎处理，则容易产生粉尘，针对这种粉尘必须提出环境对策，从而招致额外费用，因而不好。接着，将由一次磨矿球磨机4排出的铁粉粉尘14的处理物，输送到与图1所示湿式分级机64的结构相同的预洗涤艾金斯分级器42中，对从铁粉上剥离的杂质进行流动洗涤操作。其中从预洗涤艾金斯分级器42的沉淀槽中上升形成上升流体的速度为3～10(平均为5)米/小时，在螺旋给料器的开放上部供给的洗涤水量为3-25(平均5)立方米/小时。经过使用这种预洗涤艾金斯分级器42洗涤处理，从上述处理物中铁粉上剥离的杂质被部分分离除去，同时由于除去了铁粉中的微粒部分，所以铁粉的粒度分布可以向大粒径方向移动。然后将从预洗涤艾金斯分级器42中排出的处理物，放送入二次磨矿浆磨机43中粉碎。二次磨矿浆磨机43是容量为1000升的振动式粉碎机，含铁粉粉尘14的水供给量为200～1000(平均270)升/小时，铁粉粉尘14的浓度控制在50～80(平均65)重量％。经过使用这种二次磨矿浆磨机43粉碎处理，在混合物中铁粉上附着残存的杂质被进一步粉碎细，可以得到以后的工序中铁粉和杂质分离效率高的铁粉粉尘14的处理物。附图15中表示铁粉的处理物中作为一种存在的杂质例含有的氧化钙浓度变化；由图15可知，投入一次磨矿球磨机41中之前(图15(A))，氧化钙浓度处于2～7重量％范围内；经过使用预洗涤艾金斯分级器42一次磨矿洗涤之后(图15(B))减少到0.5～5重量％。但是，这种铁粉粉尘14的处理物中，由于还残存许多杂质，所以在再生处理氯化铁系废液过程中作为还原剂使用时，其纯度不够，不能直接使用。由于这个原因，必须使用如图9和图10所示的水洗装置44和酸洗装置45对铁粉粉尘14作进一步洗涤分级处理。为此将铁粉粉尘14的处理物，由水洗装置44的上部，通过给料管95投入到第一沉淀槽49中。这样一来，铁粉粉尘14中的大粒径铁粉部分立即沉淀，在第一沉淀槽49底部形成沉淀物层。进而利用马达等驱动装置使配置在螺旋输料器50内的输料螺旋体53旋转。此时，以平均3～25立方米/小时的供水速度由供水管55的进水口57供给洗涤水，使洗涤水在螺旋输料器50中形成下降的液流，像上述的那样由铁粉粉尘供料管95向第一沉淀槽49中供给铁粉粉尘的处理物，所以包括细铁粉和粉尘在内，全部比重较小的物质都形成上升物流。如果将这种上升物流的上升速度调节到3～10(平均5)米/小时，则可以进行铁粉粉尘14的分离精制。利用上述操作，铁粉粉尘14中的微细部分以上升物流的形式被洗涤流出系统，而粗粒部分以洗净铁粉的形式被选择性地从螺旋输料器50的上部排出。这样一来，经过二次磨矿和水洗涤后铁粉粉尘中的大部分杂质被除去，所以可以得到一种洗净铁粉，这种洗涤使铁粉铁粉粉尘14中的杂质(氧化钙)，如图15(C)所示，降低到0.3～1.7重量％范围内，同时粒度分布也移向粗粒侧。将这样得到的洗净铁粉，自水洗装置44上部的排出口59输送到第二沉淀槽51中。借助于它，洗净铁粉中比重比较大的部分立即沉淀，在第二沉淀槽51的底部形成沉淀物层。进而利用马达驱动使螺旋输料器52内的输料螺旋54旋转，将沉淀物从沉淀槽51中排出外部。在此过程中，调整来自排出口59的洗净铁粉的输入量和由沉淀物沉淀槽51的排出量，使第二沉淀槽51中形成上升物流，同时将其上升速度调整到适于分离和精制的3～10(平均5)米/小时范围内。而且使用由后段工序中二次洗涤艾金斯分级器46排出的洗涤后液，将供给速度为30～100升/小时的比重1.9的98重量％浓硫酸稀释成稀酸后，由酸液供给管56的注酸口58供入螺旋输料器52内，使螺旋输料器52内部形成酸液的下降流。其中，沉淀槽51内的酸洗液pH为0.5～3，其数值取决于来自上述二次洗涤艾金斯分级器46的洗涤后液的稀释量。通过上述操作，由于将洗净铁粉投入第二沉淀槽51中，所以洗净铁粉中的微粉部分被酸洗除，粗粒部分在第二沉淀槽51中积累，同时由粗粒部分组成的洗净铁粉经螺旋输料器52从第二沉淀槽51中排出，在此排出过程中，沿螺旋输料器52流下的酸液和液体中上升液流将洗净铁粉中杂质洗脱除去。因此，含有精制铁粉的粗粒部分选择性地从螺旋输料器52的上部排出口59a排出，第二沉淀槽51中的上清废液同时从第二沉淀槽51的上部排出。接着，如图8所示，使用与上述水洗装置44构造相同的二次洗涤艾金斯分级器46处理酸洗涤处理后的处理物，将变成酸性的处理物洗净。此时，以1～10m3/hr的供给速度供给由工业用水制成的洗涤水，可以除去残存的酸液。然后将酸处理后的处理物置于气流干燥机中，用150～250℃气流除去水份。测定了这种干燥后的精制铁粉15的粒度分布，结果如下表1所示。最后，使用100～150目泰勒(Tyler)标准筛范围内的任何筛目的振动筛48，将精制铁粉15分级。这样，可以按要求分别使用粒度各异的精致铁粉15。例如，在腐蚀废液处理时可以使用筛上的部分作为除铜用的精制铁粉，使用筛下部分作为除镍用的精制铁粉。其中，上面所述的100、150目泰勒(Tyler)标准筛，是指孔径分别为147和104微米的筛。利用这种方法，可以得到这样一种精制铁粉15，其中杂质(CaO)被大幅度除去，其含量处于图15(D)所示的0.01～0.10wt％(低于允许值)范围内。因此，即使从经济上考虑，要获得一吨精制铁粉产品，也应当把必需的硫酸和盐酸量分别设定在10～400升和25～700升范围内。以下，说明使用电解装置12由氯化铁系腐蚀废液11得到还原氯化铁水溶液17的方法。如图2所示的方式进行操作，即通过废液供给管，从注液口25向电解槽27供给引线框架等腐蚀处理后的废液—氯化铁系腐蚀废液11，将氯化铁系腐蚀废液11中的三价铁离子(Fe3+)还原成二价铁离子(Fe2+)，使之成为还原氯化铁水溶液17。这种还原操作是在这样的目的下进行的，即为了回收并有效利用氯气，同时阻止以后在使用精制铁15粉除去杂质金属的过程中，由于精制铁粉15被三价铁离子氧化溶出，使Fe2+浓度显著过剩。其中氯化铁系腐蚀废液11是一种水溶液，其中含有的三价铁离子浓度及二价铁离子浓度分别是100～250克/升5～70克/升，此外还含有氯离子(Cl-)和HCl，同时含有杂质金属离子镍离子(Ni2+)、及铜离子(Cu2+)。这种氯化铁系腐蚀废液11在电解槽27中阳极板23和阴极板24处的反应用下式表示阳极阴极即在阳极板23处生成氯气，在阴极板24处三价铁离子被还原成二价铁离子，其总反应可以用下式表示上述总反应中自由能变化ΔG，可以由各成分自由能G在反应前后的变化量计算出，ΔG＝+13784卡/摩尔。然后利用理论公式E0＝ΔG/zF确定电解所需的理论电解电压E0。其中，F是法粒第常数，z是参与反应的电子摩尔数，根据这些数值可以得到理论电解电压E0＝0.5977伏。接着在高于上述理论电解电压E0的电解电压下对FeCl3进行电解，使之生成氯气，而且可以将电解电压设定在氯化铁系腐蚀废液11中存在的铜离子、镍离子不还原的范围内，例如设置在1伏左右。而且通过考虑电流效率、变成直流的变换效率和电解槽27的电解电压等因素，若将生产每吨氯气(Cl2)实际所需的电量设定为1000～3500千瓦小时，则可以确定电解装置12的规模和式样。以下，参照表示电解装置12中电解电压E、电流密度D及还原氯化铁水溶液17中三价铁离子浓度C随时间变化的图13，进一步详细说明氯化铁系腐蚀废液的再生方法。如图2所示，在电解槽27中供入氯化铁系腐蚀废液11至预定水平，充满后施加电解电压E一定时间使之达到稳定状态。进而通过废液供给管以及与其相连的注液口25，在供给流量Q相当于一对1m2面积的电极(即一个电池)为4.6升/小时的条件下供入氯化铁系腐蚀废液11，并且由排出处理液的排液口26取出与供给流量几乎相等流量的还原氯化铁水溶液17。然后，如图13(a)所示，将上述的稳定状态开始的时刻定为t0，将电解电压E设定在处于1～4.5V控制范围内的1.5V。如图13(b)、(c)所示，此时电流密度D处于预定范围内的区间2～40A/dm2之内，而且三价铁离子浓度C处于10～120g/l范围内的区间50～60g/l之内，然后从氯气排出口33排出氯气，这样可以维持所需的电解状态。如图13所示，如果三价铁离子浓度C变化到规定范围之外时(在t1时刻)，通过调节电解电压E可以得到含有规定浓度三价铁离子的还原氯化铁水溶液17。当阴极板24上析出铜等杂质金属时，可以向铜的析出部位供给氯化铁系腐蚀废液11，使溶液中的三价铁离子与铜产生以下反应将铜再溶解。作为另外方法，也可以像图13中时刻(t2～t3)区间所示的那样，使电解电压E保持在0，或者像时刻(t4～t5)区间所示的那样在预定时间内加反向电压，使析出的铜再溶解。由于在图13(c)时刻(t2)以后进入稳定的操作，所以将以后的操作说明省略。电解工序中电解处理液的温度应当控制在30～100℃范围内。电解处理液的温度低于30℃时电阻增大，铜、镍等容易析出；反之，电解处理液的温度高于100℃时，产生处理液沸腾现象，所以都不好。利用这种电解工序得到的还原氯化铁水溶液17中的三价铁离子，正如图14中所示的各种离子浓度随时间变化图说明的那样，例如在处理前氯化铁系腐蚀废液11中三价铁离子浓度是207g/l(图14(a))，与之相比处理后减少到50～60g/l(图14(b))。而镍离子(Ni2+)和铜离子(Cu2+)等浓度几乎维持在处理前的数值上。其中镍离子和铜离子在图14中是用Mn+表示的。采用这种方式，由于还原氯化铁水溶液17中的三价铁离子浓度固定在比杂质金属离子浓度稍高的水平上，所以在电解中杂质金属离子不被还原，因此可以在不消耗无用电力的条件下进行高效电解处理。表2表示上述说明的电解装置12的稳定状态下使用的电解条件及其结果，生成氯气的有效电流与总电流之比(表示氯气回收电流效率)达67％。表2<tablesid="table2"num="002"><tablewidth="540">电解条件阳极材料DSE电极阴极材料钛隔膜材料PF4000极间距离L8mm电解电压E1.5V电流密度D5A/dm2氯化铁系腐蚀废液的供给位置阴极室侧(阴极)还原氯化铁水溶液的取出位置阴极室侧(阴极)氯化铁系腐蚀废液的供给流量4.6l/hr电解结果氯回收电流效率67％还原氯化铁水溶液的三价铁离子浓度55g/l还原氯化铁水溶液的二价铁离子浓度172g/l</table></tables>接着，如图12所示，将作为一种氯化铁系废液实例的氯化铁系腐蚀废液11经电解处理得到的还原氯化铁水溶液17，供给搅拌槽18中，利用铁粉粉尘14经精制而成的精制铁粉15，使还原氯化铁水溶液17中所含的铜、镍等杂质金属离子还原除去。现在就此方法说明以下。首先，如图12所示，将精制铁粉15从搅拌槽18的上部开口处供入搅拌槽18内，同时经由废液供给阀86和处理液入口78向搅拌槽18中供给还原氯化铁水溶液17。其后，驱动循环泵79，抽取铁粉处理液19使之经第一循环物流量控制阀81和第二循环物流量控制阀82并且流过流化床，同时通过设置在搅拌槽18最下部的供给流量控制阀83，以一定角度向搅拌槽18供给铁粉处理液19，使之形成旋流在搅拌槽18内自下而上的循环物流动。这种方式可以使容易沉淀在槽底部的铁粉上浮形成流化床，在槽内没有死空间的状态下实现精制铁粉15和还原氯化铁水溶液17的有效混合。其中，在水平方向截面积各不相同的第一区段71～第三区段73中，精制铁粉15的分布状态和滞留时间等也不同。由于这个原因，从第一区段71排出的铁粉处理液中铁粉浓度低于从第二区段72排出处理液中的铁粉浓度。必要时，分别使用第一和第二排出流量控制阀92、93，调整铁粉浓度不同且还原反应程度也不同的铁粉处理液19的排出量，这种方法可以控制被排出的铁粉处理液19的性质。以这种方式，能够使搅拌槽18中形成浆料的固液比处于1∶0.6～1∶0.7范围内的流化床的同时，残存的三价铁离子与精制铁粉反应而形成二价铁离子，而且铜离子、镍离子等离子化趋势小于铁的金属离子按以下方式产生还原反应，生成铁粉处理液19。其中，离子化趋势小于铁的铬离子也同样被精制铁粉还原。这样的还原反应，受浆液中的铁粉浓度、铁粉的表面积、浆液温度和氯离子浓度的影响，因此可以利用这些因素，或者加入pH调解剂加以适当调整。除去杂质金属离子的工序中，虽然精制铁粉15溶解在还原氯化铁水溶液17中形成二价铁离子，但是还原氯化铁水溶液17由于预电解处理除去三价铁离子，或者由于其浓度减小，所以可以把精制铁粉15的溶出量抑制在必要的最低限度内，同时不妨碍杂质金属离子的除去，能够高效地得到精制的铁粉处理液19。因此，这种铁粉处理液19中的各种金属离子浓度，正如图14(c)所示的那样，处于比电解处理后的还原氯化铁水溶液17(图14(b))中的杂质金属离子(Mn2+)量减少的状态下。接着除去从上述搅拌槽18中排出的铁粉处理液19中所含的铁粉和其他杂质，制成含有大量氯化亚铁的铁粉处理液，再将这种含有大量氯化铁的铁粉处理液供给上述的氯气处理装置21中，吹入电解装置12等中生成的氯气，或者用氯气鼓泡，用这种方法将所含的部分或全部二价铁离子氧化成三价铁离子，得到再生的腐蚀液20。也就是说，向氯气处理装置21中鼓入上述电解装置12中生成的氯气，作为二价铁离子的氧化剂，使铁粉处理液中残存的二价铁离子氧化。因此能够得到如图14(d)所示的那种除去杂质金属离子而且FeCl3浓度被调整到560～730克/升的再生腐蚀液20。这种情况下，优点还在于能够在自身设备内有效利用废液处理设备10中产生的氯气。正如以上说明的那样，在第一实施例中，与传统方式预先使用铁粉还原三价铁离子的方法不同，伴随还原工序中铁粉的溶出而形成铁离子的增量小，再生预定铁离子浓度的腐蚀液时，能够使调整铁离子浓度所必须加入的稀释液数量降低到最低限度。而且，可以大幅度减少还原除去铜离子和镍离子时使用铁粉的数量，消减整个工序中的铁粉使用总量，并且减小与使用铁粉有关的成本，此外还能回收电解时生成的氯气，并将其有效地在后续工序中用于氯化，因而可以按比例减小氯气的使用费用。此外，由于氯化铁系腐蚀废液11再生处理时使用的稀释液数量没有显著增加，所以可以使废液处理设备10小型化。(第二实施例)以下，参照附图16～19，详细说明本发明第二实施例的氯化铁系腐蚀废液的再生方法；与附图1所示的、适用于第一实施例中氯化铁系腐蚀废液再生方法的设备结构不同的部分是不使用电解装置12，而且使用搅拌槽18以及具有新结构的第一和第二搅拌槽115及119；所以省略了对于与第一实施例结构和标注符号相同部分的详细说明。在第二实施例的氯化铁系腐蚀废液的再生方法中，虽然第一搅拌槽115使用传统的搅拌叶片式搅拌槽，但是优选使用图12所示的流化床型搅拌槽18；如上所述，在不同情况下，将氯化铁系腐蚀废液电解处理后，也能够应用在第二实施例的氯化铁系腐蚀废液的再生方法上。如图16所示，第二实施例的氯化铁系的再生方法中使用的腐蚀废液处理设备110，具有从腐蚀废液中除去铜的脱铜装置113、从除铜后的腐蚀废液中除去镍和铬的脱镍装置122、未图示出的碳、硅等悬浮性杂质的除去装置、和将除去杂质后的处理液氧化制成腐蚀液的氯气处理装置21(参见图1)。以下对它们分别进行详细说明。所说的脱铜装置113包括用于混合分别由腐蚀废液罐111和pH调节剂罐112供给的腐蚀废液和所需量pH调节剂、通过螺旋给料器118由铁粉储藏罐114供入的铁粉、由未示出的水源(例如供水管道)加入的水、以及在此脱铜装置113中回收的部分固形物，并排出含有被还原的铜的悬浮液状的铁粉混合液1A用的第一搅拌槽115；将由第一搅拌槽115供入的铁粉混合液1A，分离成为含有较小颗粒的脱铜处理液1B和含有比较大颗粒的含铜铁粉混合液1C使用的液体旋风分离器116；使第一搅拌槽115排出的铁粉混合液1A，经过锥形罐(倒圆锥形罐)121，被输送到液体旋风分离器116中使用的泵127；使从液体旋风分离器116下部排出的含铜混合液1C被分级、洗涤，得到粉状固形物的第一艾金斯分级机117；以及取出部分固形物，再洗涤，制成铜粉用的第二艾金斯分级机117a。其中，第一搅拌槽115是一种约呈圆筒状的FRP制的容器，槽内备有使槽内浆状铁粉混合液1A强制搅拌用的搅拌叶片128，被搅拌处理的铁粉混合液1A可以从槽上部的流出口115a排出。第一和第二艾金斯分级机117、117a分别包括容纳供入的含还原铜的铁粉混合液1A使用的粉尘沉淀槽120和120a，依靠管内旋转的螺旋体使粉尘沉淀槽120和120a内的固形物在管内卷起上升，边进行除水边进行洗涤的、未图示出的、固形物上升管，以及未图示出的洗涤水喷雾装置。在这种第一和第二艾金斯分级机117、117a中，固形物中的微粉部分在粉尘沉淀槽120和120a中被分级，而固形物中粒度较大的除去过量水分的固形物则从固形物上升管的上端排出。作为氯化铁系废液的实例，上述的脱镍装置122包括用于混合由脱铜装置113中液体旋风分离器116排出的脱铜处理液1B、由铁粉储罐114a供给的铁粉、及脱镍装置122内回收的固形物，使所含的镍离子和铬离子等还原的一次铁粉处理液2B排出使用的第二搅拌槽119；将铁粉储罐114a的铁粉供给第二搅拌槽119用的螺旋输料器118a；使供入的上述一次铁粉处理液2B分离成含有微小颗粒铁粉的脱镍处理液2C和含有析出镍的铁粉颗粒的含镍铁粉混合液2D的液体旋风分离器116a；使从第二搅拌槽119排出的一次铁粉处理液2B通过锥形罐121a输送到液体旋风分离器116a的泵127a；水洗从液体旋风分离器116a排出的含镍铁粉混合液2D，使之成为镍粉及附着镍的铁粉粉末的艾金斯分级机117b；以及使来自液体旋风分离器116a的脱镍处理液2C与凝集剂罐125中的凝集剂混合的搅拌调节槽124。其中，如图16实线d所示的那样，必要时也可以根据氯化铁系腐蚀废液的种类，直接从废液罐111向此第二搅拌槽119内供给的脱铜处理液1B中，供给部分或全部腐蚀废液。如图17所示，第二搅拌槽119是一个容积17M3的反应容器，是由纵向的水平断面的各不相同的第一区段130～第五区段134五个区段构成的，最大内径大约3.2M，其中能够保持腐蚀废液处理用铁粉大约21吨。第二搅拌槽119内部设置有搅拌叶片128a，需要时搅拌仅在下部位置供给的，例如作为氯化铁系废液的脱铜处理液1B和铁粉，其上部设有驱动搅拌叶片128a旋转使用的马达129。通常，不使用搅拌叶片128a进行浆液的搅拌，如以下说明的那样，借助于循环泵126从搅拌槽119上部取出铁粉处理液2E再供给其下部形成液体循环，以此作为主要搅拌手段，所以与利用马达驱动搅拌叶片搅拌式的传统反应槽相比，对于铁粉和液体的固液比(重量比)为1∶1的浆液来说具有处理速度为1.5倍的处理能力。在第二搅拌槽119最上部的第一区段130，是由水平截面积最大的直筒段组成的区段，其上端开口与大气相通，所以能够从上部向搅拌槽119中投入上述方法制造的精制铁粉15。另外，与第一区段相连130的第二区段131，是由自上而下逐渐缩径的截锥部分构成的区段。在第二区段131下部，形成一个截面积与第二区段131下端相同的直筒段构成的第三区段132，在第三区段132下端连接一个由截锥段构成的第四区段133，在第四区段133下端连接一个小直径直筒段构成的第五区段134。所以在第三～第五区段132～134中，所供入的铁粉、从下部供入的铁粉处理液2E以及氯化铁系腐蚀废液处理得到的上述脱铜处理液1B，如图17中的剖面线所示的那样，形成高铁粉密度的流化床。于是在上升流速慢的第一和第二区段130、131中，铁粉的下降速度高于处理液的流速，因而形成铁粉密度极小的铁粉分离区域(自由空间)。在形成上述铁粉分离区域的的第一区段130和第二区段131的侧壁上，分别设有部分处理液取出口145、145a，同时在形成流化床的下部的第五区段134侧壁上设有处理液注入口145b。部分处理液取出口145、145a和处理液注入口145b，由中途装有循环泵126的处理液循环管145d接通连接起来。因此，在循环泵126的驱动下，通过部分处理液取出口145、145a，从第一和第二区段130、131中分别取出铁粉含量少的铁粉处理液2E，然后经过处理液循环管145d及处理液注入口145b，使铁粉处理液2E流入第五区段134中，以这种方式在第二搅拌槽119中形成自循环物流，使第三～第五区段132～134内形成所说的流化床。在处理液循环管145d上端，设有第一和第二循环物流量控制阀135、136，分别控制从上下部分处理液的取出口145、145a流出，通过处理液循环管145d的铁粉处理液的流量；在处理液循环管145d的下端，设有供给流量控制阀143。借助于使用第一和第二循环流量控制阀135、136和供给流量控制阀143，能够方便地进行循环液体的流量控制。所以，无论通过中途备有废液供给阀142的脱铜处理液供给管147供给脱铜处理液1B的供给量多少，都能借助于所说的循环物流使供给到第二搅拌槽119中铁粉的流动状态维持在适当范围内，而且都能使之形成流化床。其中，还设有图中尚未示出的搅拌叶片取出装置，当不使用搅拌叶片128a时，也可以从第二搅拌槽119中取出搅拌装置。而且，从铁粉最容易沉淀的、设置在第二搅拌槽119最下部的小直径直筒部分形成的第五区段134，放出铁粉处理液2E，可以使铁粉等剧烈卷起，可以抑制第二搅拌槽119内形成死空间。在形成铁粉分离区域的第一区段130和第二区段131侧壁上，分别设有排出作为上述处理液的一次铁粉处理液2B的处理液排出口145e和145f，这种处理液排出口145e和145f与中途设置有锥形罐121a(参见图16)和泵127a的处理液输送管127c相连，在处理液输送管127c的出口侧连接有液体旋风分离器116a。其中，利用由定量泵127a的排出侧部分回流到锥形罐121a的方法进行总流量的调节。而且由处理液排出口145e和145f排出的一次铁粉处理液2B的流量，可以分别利用与处理液排出口145e和145f连接的处理液输送管127c中途设置的第一排出流量控制阀138和第二排出流量控制阀139调节。这样可以根据需要从处理条件各异的反应区段选择一次铁粉处理液2B，或者从多个区段取出成分特性各异的一次铁粉处理液2B。而且当第二搅拌槽119内铁粉15不足时，可以从搅拌槽119上部供给精制铁粉15。在第二搅拌槽119底部设置排出管146a，其上备有排出沉淀在底部的固形物使用的底部排出阀146，由此可以排出固形物等。下面的表3中示出对照例和上述第二搅拌槽119的处理条件和处理结果。表3</tables>注处理能力和pH调节剂使用量是以对照例中的重量为1时的重量比。接着就这样一种氯化铁系腐蚀废液的处理方法作更详细的说明，该方法在后半部分利用上述腐蚀废液处理设备110并且使用了本发明第二实施例的氯化铁系腐蚀废液的再生方法。其中，进行第一搅拌槽115的搅拌处理时，所示的实例虽然使用了传统的搅拌叶片，但是当然可以更改成利用上述第一实施例中流化床的搅拌槽18，这样可以提供一种更有效和更经济的氯化铁系腐蚀废液的再生方法。如图16所示，首先通过螺旋给料器118、118a，从铁粉储藏罐114、114a向第一搅拌槽115和第二搅拌槽119中加入预定量铁粉。用于还原杂质金属离子的这种铁粉，例如可以使用粒度为44～250微米的铁粉。而且氯化铁系腐蚀废液，使用腐蚀处理遮蔽屏和引线框架后，溶液中氯化铁(FeCl3)浓度低，其中含有铜、镍、铬等金属离子的水溶液。通过泵从腐蚀废液储罐111向第一搅拌槽115供给这种氯化铁系腐蚀废液，同时搅拌叶片128旋转，使铁粉在氯化铁系腐蚀废液中悬浮混合，形成混合浆。因而使这种混合浆液中离子化趋势小于铁(Fe)的铜离子还原析出，同时铁粉在溶液中变成铁离子而溶出，经过铁粉处理，以仅含少量铁粉的铁粉混合液1A形式排出。必要时，在上述混合浆液中加入盐酸等pH调节剂，将混合浆液的pH值调整到例如0.5～1.5范围内，这种方法可以使上述还原反应的速度或效率维持在预定的范围内。接着，将这种铁粉混合液1A从设置在第一搅拌槽115上部的出口115a取出，送入锥形储罐121中。用泵127将这种锥形储罐121中的铁粉混合液1A供给液体旋风分离器116中。液体旋风分离器116将铁粉混合液1A分离成含有铜且含铁粉多的含铜铁粉混合液1C以及铜和铁粉被大部分除去的脱铜处理液1B。从液体旋风分离器116下部排出的含铜铁粉混合液1C，经过第一和第二艾金斯分级机117、117a洗涤分离，最终得到铜粉117e。其中，经第一艾金斯分级机117处理过的、含铁粉多的浆液部分回收后，也可以将其供给到第一搅拌槽115中。另一方面，由上述液体旋风分离器116上部排出的脱铜处理液1B，被供入脱镍装置122中，按照以下所示的顺序除去镍、铬等杂质金属。如图16、17所示，首先将脱铜处理液1B经由废液供给阀142供入第二搅拌槽119中，同时利用螺旋给料器118a连续地从铁粉储藏罐114a供给精制铁粉15。其中，利用马达129也能够驱动搅拌叶片128a以规定的转速，例如5～60rpm低速旋转。但是，使用搅拌叶片128a对第二搅拌槽119进行搅拌时，由于脱铜处理液1B中铁粉的比重显著大于液体部分的比重，所以不能直接使铁粉分散得充分、均匀，因而会使铁粉沉淀堆积在第二搅拌槽119的底部，形成死空间，产生不能使铁粉与脱铜处理液间反应效率维持在预定水平上等问题。不仅如此，如果加大马达129的功率，使搅拌叶片128a高速旋转，对脱铜处理液1B进行强烈搅拌，则第二搅拌槽119中死空间减少，而且铁粉也能够分散得均匀，但是马达129所消耗的电力也会过分增大，同时由FRP等制成的第二搅拌槽119槽壁等的磨耗变大，更换槽的维修成本提高，而且搅拌叶片128a也磨损。所以不使用搅拌叶片128a，而且必要时从第二搅拌槽119中取出搅拌叶片128a，像图17所示的那样驱动循环泵126并通过第一循环流量控制阀135和第二循环流量控制阀136抽吸含有少量铁粉的铁粉处理液2E，同时借助于设置在第二搅拌槽119最下部的供给流量控制阀143，以一定角度供给上述铁粉处理液2E，使之在第二搅拌槽119内产生自下而上的循环物流。这种方法可以使易于沉淀在第二搅拌槽119底部的铁粉上浮，消除槽内的死空间，而且在循环泵的马达126功率小的情况下也能实现铁粉与脱铜处理液1B的有效混合，此外，由于上述第一区段130呈直筒状且处于上位置，第二区段呈截锥状，所以铁粉的分布状态和滞留时间不同，第一区段130排出的铁粉处理液中铁粉浓度低于从第二区段131排出的铁粉处理液中的铁粉浓度。在必要时，铁粉浓度不同，而且还原反应程度也不同的铁粉处理液的排出量，分别利用第一和第二排出流量控制阀138、139进行调整，因此可以控制锥形罐121a排出的一次铁粉处理液2B的性质和状态。此外，在此实施例中，一边使第二搅拌槽119内形成所希望的循环物流，一边使搅拌叶片128a以低速下旋转，使圆周速度最大值维持在1m/S。这样一来，由于除上升流之外还产生旋转流，所以可以期待搅拌效率的提高。此时，如果使搅拌叶片128a以中速或高速旋转，则第二搅拌槽119和搅拌叶片128a产生磨损，因而不好。铁粉与镍离子和铬离子等产生以下的还原反应，这样可以形成一次铁粉处理液2B。因此，这种还原反应也受第二搅拌槽119内浆液2A中铁粉浓度、铁粉表面积、浆液2A的温度和氯离子浓度等影响，所以可以适当调整(加入pH调节剂)这些参数。此时第二搅拌槽119中浆液2A的固液重量比为1∶(0.6～0.7)，如表3所示。得到的这种一次铁粉处理液2B送入锥形罐121a后，经过泵127a输送，被液体旋风分离器116a分别处理成脱镍处理液2C和含镍铁粉混合液2D。从液体旋风分离器116a下部排出的含镍铁粉混合液2D，一部分再返回到第二搅拌槽119的同时，大部分被送到艾金斯分级机117b中分离成镍及附着镍的铁粉117f。由液体旋风分离器116a上部排出的脱镍处理液2C被送入搅拌调整槽124中，加入由凝集剂罐125供给的凝集剂后，再送入未图示出的下一悬浮性杂质除去装置之中。含有碳、硅(二氧化硅)等悬浮性杂质的上述脱镍处理液2C，用倾析器等固液分离机处理，将其分离成悬浮性杂质和作为腐蚀液原料的二次铁粉处理液2F(相当于图1中的铁粉处理液19)，最后经氯气处理制成再生的腐蚀液20。表3示出的对照例使用了无循环物流发生机构的搅拌叶片搅拌式机械搅拌槽，其中反应器容积11m3，浆液的最大流速(圆周速度)6m/s，铁粉保有容量6吨。与表3所示的对照例相比，上述第二实施例中最大流速可以由6m/s降低到1m/s，固液比可以由传统的1∶3提高到1∶(0.6～0.7)。因此，不但能够提高处理效率，而且由于降低了第二搅拌槽119的磨损还可以减少装置保养成本。此外，因为能够使用粒度较大的铁粉，所以还能构降低原料成本。以下说明第三搅拌槽150，搅拌槽150是以上说明的本发明第二实施例氯化铁系腐蚀废液再生方法中使用的第二搅拌槽119的一种变化例。如图18和19所示，第三搅拌槽150是由纵向水平截面积各不相同的的第一区段151～第三区段153等三段构成的反应容器；第三搅拌槽150内可以保持预定量的氯化铁系腐蚀废液处理用铁粉或由上述铁粉精制装置16制造的精制铁粉15；伴随第三搅拌槽150的运转而消耗的铁粉部分，可以从未图示出的铁粉供给装置连续补充。在第三搅拌槽150内底部备有分割第三区段153及其下方流体供给部分154的分割盘155。在分割盘155上装设的数个喷咀156呈交错起伏状或栅格状(称为“丝网”)，使从分割盘155下方流体供给区154供入的处理液以水平方向上分散式地从分割盘155中喷出。而且在铁粉分离区域的第一区段151上，设置有取出形成流化床所需量铁粉处理液3A用的出液口157。接着，利用循环泵158将取出的上述铁粉处理液3A供给设在流体供给区域154侧面的供给口159，以便使第三搅拌槽150内的铁粉流态化形成循环物流。此外，在流体供给区域154底部和/或侧部，设置脱铜处理液供给口160，用于供给前阶段经第一搅拌槽115及其附属设备处理的脱铜处理液1B；在第三搅拌槽150上部第一区段151处，设置排出铁粉处理液3B(相当于第一实施例中的铁粉处理液19)用的排出口161。使用这种第三搅拌槽150的实例中，当循环泵158运转时，取出经过喷咀156供给流化床的处理液，这样可以维持第三搅拌槽150内铁粉的流动状态。与使用具有搅拌叶片的、按表3所示方式构成的搅拌槽对铁粉和处理液进行搅拌的对照例相比，这种改进实例中浆液的最大流速从6m/s降低到0.25m/s，固液比由1∶3提高到1∶1，能够在这些条件下进行处理。此外，正如表3中铁粉粒度条件项下所示的那样，在第二实施例及其改进实例中，利用在内部形成处理液的循环系统，可以方便地控制搅拌条件，因而能够使用粒度从小粒到中粒范围内的铁粉。与此相比，在对照例的情况下只能使用小粒铁粉，显然使原料的成本加大。本发明氯化铁系腐蚀废液的再生方法中，由于铁粉流化床是使铁粉处理液从搅拌槽底部循环供给的方式穿过流化床而形成的，所以可以获得以下(1)～(4)所示的效果。(1)为了使流化床状态维持在适当范围内，可以供入从搅拌槽上部流出的铁粉处理液作为必要量的流动介质。所以，当所供给的氯化铁系废液之供给速度不足时，通过利用搅拌槽中的部分铁粉处理液形成的自循环液流，可以使铁粉维持在良好的流动状态下；而且当氯化铁系废液之供给速度过大时，借助于减少铁粉处理液的自循环量通常可以在稳定条件下进行氯化铁系废液的还原处理。(2)搅拌槽的形状制成上方扩径状，同时适当设置铁粉处理液的取出位置，几乎可以完全消除搅拌槽的死空间，而且能够提高最小设备内有效除去氯化铁系废液中杂质金属离子的除去效率。(3)可以使流化床内铁粉的运动均匀化，与使用机械搅拌方式的流动层的情况相比，没有因铁粉流动而产生的局部磨损现象，能够延长装置的使用年限，减少保养成本。(4)能够确保铁粉与氯化铁系废液在比较狭窄空间的流化床中的良好搅拌状态，整个装置可以小型化。其中，尤其对于从搅拌槽底部供给氯化铁系废液来说，不存在氯化铁系废液混入处理液的问题，多供给的氯化铁系废液还能够促进流化床形成。此外，在本发明氯化铁系腐蚀废液的再生方法中，优选使搅拌槽上部相对于本体部分扩径，这样能使搅拌槽内流动介质的上升速度下降，促进铁粉沉淀。而且上部能够形成铁粉分离区域，即使当槽内流量波动时，也能保证流化床上端不超过规定位置，铁粉处理液中混入的铁粉少，可以在稳定条件下除去杂质金属离子，能够进一步提高杂质金属离子的除去效率。因此在本发明氯化铁系腐蚀废液的再生方法中，所供给的氯化铁系废液经过预电解处理也可以使原废液中的三价铁离子部分或几乎全部被还原成二价铁离子。这样一来，由于三价铁离子经阴极反应还原，所以该液中三价铁离子和二价铁离子总量不变。从而在氯化铁系废液的再生处理时，要将三价铁离子浓度调节到规定浓度不必使用大量稀释液(具体讲是水)，能够减少处理剩余液时所需的花费，同时处理设备也能制得更小。由于氯化铁系废液再生处理的铁粉使用量减小，所以能够降低氯化铁系废液的处理成本。不仅如此，在本发明氯化铁系腐蚀废液的再生方法中，在电解处理时也可以将氯化铁系腐蚀废液的电解电压控制在特定范围内。因此，能够在氯化铁系腐蚀废液中所含的铜、镍等杂质金属离子不析出的条件下还原三价铁离子和更有效地进行氯化铁系废液的再生处理。本发明氯化铁系腐蚀废液的再生方法中，可以使电解处理用电解槽中阳极板和阴极板之间的极间距离处于特定范围内，这样不但能够抑制阳极板处产生的氯气侵入阴极室中，防止二价铁离子的氧化，而且还能够抑制电解电压的增加。本发明氯化铁系腐蚀废液的再生方法中，能够将氯化铁系废液供入经隔膜分隔成阳极室侧和阴极室侧的上述电解槽的阴极室侧，而且也能够从阴极室侧的它处取出处理后的还原氯化铁水溶液。这样一来，由阳极板处产生的氯气和所供入的氯化铁系腐蚀废液产生的干扰受到抑制，因而能够有效地进行电解。本发明氯化铁系腐蚀废液的再生方法中，上述还原氯化铁系腐蚀废液中三价铁离子的浓度也可以控制在10～120g/l。因此，氯化铁水溶液中的铜、镍等杂质金属离子不被还原，不干扰以后的再生处理，可以降低以后的再生处理成本。本发明氯化铁系腐蚀废液的再生方法中，由于向搅拌槽中排出的铁粉处理液中吹入电解处理时生成的氯气，所以也可以使该铁粉处理液中所含的部分二价铁离子氧化成三价铁离子。所以不会生成无用的副产物，能够将除去杂质金属离子的铁粉处理液中三价铁离子浓度调整到所希望的值，有效地得到必要成分和浓度都得到调整的氯化铁水溶液的再生液。本发明氯化铁系腐蚀废液的再生方法中，所说的铁粉可以使用按以下方法得到的精制铁粉用湿法从炼钢炉产生的含有氧化钙等杂质的粉尘中回收铁粉粉尘，使其经过粉碎和水洗，进而酸洗。因此可以使用处理炼钢炉产生的粉尘得到的杂质少的、高纯度精制铁粉，对氯化铁系废液作廉价再生。本发明氯化铁系腐蚀废液的再生方法中，铁粉粉尘的酸洗，是在利用倾斜地配置于沉淀槽中的、其上部备有酸液注入口的螺旋输料器缓缓排出的过程中进行的。因此氯化铁系废液还原处理时使用的铁粉，是以连续处理的方式大量而低成本地获得的，所以能够在低成本下实施氯化铁系废液的再生处理。权利要求1.一种氯化铁系腐蚀废液的再生方法，其中包括向处于搅拌槽内含有铜、镍等离子化趋势小于铁的金属离子的氯化铁系废液中混入铁粉，使铁粉与所说的金属离子反应，除去所说的金属离子后，氧化处理所说的铁粉处理液；其特征在于向所说的搅拌槽供给所说的氯化铁系废液的同时，从所说的搅拌槽的上部取出使所说铁粉反应后得到的所说铁粉处理液，循环供入所说搅拌槽底部，形成铁粉分散悬浮的流化床，进而从所说搅拌槽上部取出过剩的所说铁粉处理液。2.按照权利要求1所述的氯化铁系腐蚀废液的再生方法，其中从所说搅拌槽的底部供给所说的氯化铁系废液，以促进所说的流化床形成。3.按照权利要求1所述的氯化铁系腐蚀废液的再生方法，其中在所说搅拌槽上部设有铁粉分离区域，该区域相对于形成所说流化床的流化床形成区域扩径，以便降低上升液的流速，抑制分散悬浮的铁粉的上升。4.按照权利要求1所述的氯化铁系腐蚀废液的再生方法，其中进入所说搅拌槽的氯化铁系废液，是经过对氯化铁系腐蚀废液电解处理，使三价铁离子中部分或者几乎全部还原成二价铁离子的还原氯化铁水溶液。5.按照权利要求4所述的氯化铁系腐蚀废液的再生方法，其中所说氯化铁系腐蚀废液的电解电压和电流密度，分别控制在1～4.5V和2～40A/dm2范围内。6.按照权利要求4所述的氯化铁系腐蚀废液的再生方法，其中进行所说电解处理的电解槽中，阳极板和阴极板之间的极间距离处于1.5～50mm范围内。7.按照权利要求4所述的氯化铁系腐蚀废液的再生方法，其中所说进行电解处理的电解槽，被具有透液性的隔膜分隔成具有阳极的阳极室和具有阴极的阴极室，从所说的阴极室某处供给所说的氯化铁系腐蚀废液，从所说阴极室的它处取出通过所说的阴极室被还原处理的所说还原氯化铁水溶液。8.按照权利要求4所述的氯化铁系腐蚀废液的再生方法，其中使所说的还原氯化铁水溶液中残存的三价铁离子浓度保持在10～120g/l的范围内。9.按照权利要求4所述的氯化铁系腐蚀废液的再生方法，其中使用在所说电解处理过程中由所说阳极生成的部分或全部氯气来氧化处理所说的铁粉处理液。10.按照权利要求1所述的氯化铁系腐蚀废液的再生方法，其中所说的铁粉是按以下方法得到的精制铁粉用湿法回收由炼钢炉产生的含有氧化钙等杂质的粉尘中的铁粉粉尘，将所说的铁粉粉尘粉碎和水洗除去所说的杂质，进而酸洗后得到精制铁粉。11.按照权利要求10所述的氯化铁系腐蚀废液的再生方法，其中所说铁粉粉尘的酸洗，是在利用倾斜配置于滞留有所说铁粉粉尘的沉淀槽中的、其上部备有酸液注入口的螺旋输料器缓缓将铁粉粉尘排出的过程中进行。全文摘要一种氯化铁系腐蚀废液的再生方法,其中包括向处于搅拌槽内的含有铜、镍等离子化趋势小于铁的金属离子的氯化铁系腐蚀废液11中混入铁粉,使铁粉与金属离子反应,除去金属离子。由容纳有铁粉的搅拌槽18的底部,供入氯化铁系腐蚀废液11或作为其中间处理液的氯化铁系废液17,同时取出自搅拌槽18上部排出的铁粉处理液19,循环供入搅拌槽18的底部,用这种方法使之形成流化床,得到除去离子化趋势小于铁的金属离子的铁粉处理液19。文档编号C01G49/00GK1178261SQ9711402公开日1998年4月8日申请日期1997年6月27日优先权日1996年6月28日发明者井下力,北泽忠雄,松本博行,永岛正毅,吉野宽,永冈米次郎,三户克正申请人:株式会社亚斯泰克入江(译名待定)