湿法刻蚀用hf槽的排液系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及太阳能电池片生产技术领域，更具体地说，涉及一种在湿法刻蚀工艺中HF槽的排液系统。
【背景技术】
[0002]多晶硅太阳能电池片在生产的过程中涉及一道湿法刻蚀的工序，该工序主要是通过化学药剂腐蚀来使电池片正面和背面绝缘，HF(氢氟酸)槽是湿法刻蚀工艺中去除太阳能电池片表面氧化层和磷硅玻璃所不可缺少的一个槽体，太阳能电池片在载片辊的作用下通过HF槽，从而实现对其表面的处理。
[0003]在实际生产过程中，经常会由于载片辊不在同一水平面上，或者电池片放斜甚至出现叠片等情况而导致电池片破碎，破碎的电池片会掉入到HF槽内，较大的碎片容易被及时清理掉，但是较为细微的碎渣将会沉积在HF槽的槽底，这种碎渣只能通过设备维护才能够清理。
[0004]在设备维护时，需要通过HF槽的排液系统将HF槽内的药液全部排出，以便达到清理的目的，排液系统包括与HF槽相连的排液管和用于控制排液管开闭的气动阀，由于目前的排液系统中没有设置任何的过滤装置，HF槽内存留的细微碎渣非常容易进入到气动阀内，进而导致气动阀的密封失效，造成HF槽漏液。
[0005]因此，如何能够避免HF槽内的细微碎渣进入到气动阀内，以保证气动阀工作的可靠性是目前本领域技术人员亟需解决的技术问题。
【发明内容】
[0006]有鉴于此，本发明的目的在于提供一种湿法刻蚀用HF槽的排液系统，以便能够避免HF槽内的细微碎渣进入到气动阀内，从而保证气动阀工作的可靠性。
[0007]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案:
[0008]一种湿法刻蚀用HF槽的排液系统，包括与HF槽相连的排液管和用于控制所述排液管开闭的气动阀，该排液系统还包括设置在所述排液管上，且位于所述HF槽与所述气动阀之间的过滤装置。
[0009]优选地，所述过滤装置为内置在所述排液管中的过滤网。
[0010]优选地，所述排液管包括:
[0011]与所述HF槽相连的第一固定段；
[0012]与所述气动阀相连的第二固定段；
[0013]两端分别与所述第一固定段和所述第二固定段相连的可拆段，所述过滤网内置在所述可拆段中。
[0014]优选地，所述排液管至少包括一个直角折流部，且所述过滤装置为设置在所述直角折流部的T型过滤器。
[0015]优选地，内置在所述T型过滤器中的过滤网为不锈钢过滤网。
[0016]优选地，所述不锈钢过滤网的目数为80目。
[0017]由以上技术方案可以看出，本发明中所公开的排液系统在排液管上设置了过滤装置，并且该过滤装置位于HF槽与气动阀之间。在系统维护时，HF槽中的药液将首先通过过滤装置，然后才能经过气动阀被排出。过滤装置可以将药液中的细微碎渣过滤，从而有效避免碎渣进入到气动阀内而对气动阀的性能造成影响，因而该排液系统也就保证了气动阀工作的可靠性。
【附图说明】
[0018]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本发明实施例中所提供的HF槽的排液系统的结构示意图；
[0020]图2为图1中T型过滤器以及安装套管的结构示意图。
[0021]其中，
[0022]1为HF槽，2为排液管，3为T型过滤器，4为气动阀，31为入口套管，32为过滤器壳体，33为不锈钢过滤网，34为出口套管。
【具体实施方式】
[0023]本发明的核心在于提供一种湿法刻蚀用HF槽的排液系统，以便能够避免HF槽内的细微碎渣进入到气动阀内，从而保证气动阀工作的可靠性。
[0024]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0025]请参阅图1至图2，图1为本发明实施例中所提供的HF槽的排液系统的结构示意图，图2为图1中T型过滤器以及安装套管的结构示意图。
[0026]本发明中所公开的湿法刻蚀用HF槽的排液系统，包括与HF槽1相连的排液管2和用于控制排液管2开闭的气动阀4，并且该排液系统还包括设置在排液管2上，并且位于HF槽1与气动阀4之间的过滤装置。
[0027]由于在排液管2上设置了过滤装置，因此在系统维护时，HF槽1中的药液将首先通过过滤装置，然后才能经过气动阀4被排出。过滤装置可以将药液(氢氟酸)中的细微碎渣过滤，从而有效避免碎渣进入到气动阀4内而对气动阀4的性能造成影响，因而该排液系统也就保证了气动阀4工作的可靠性。
[0028]容易理解的是，过滤装置的实现具有多种选择，例如过滤网、过滤棉等，在本发明实施例中，过滤装置为内置在排液管2中的过滤网，当然，该过滤网的目数应当设置在适当的范围内，在实际应用的过程中发现，采用80目的过滤网即可将药液中的碎渣过滤完全，因此一方面为了保证排液效率，另一方面为了保证能够将药液中的碎渣过滤完全，本发明中优选的推荐80目的过滤网作为过滤装置。
[0029]更进一步的，为了能够及时清理过滤出来的碎渣杂质，本实施例中的排液管设置为分段形式，具体的，排液管2包括第一固定段、第二固定段和可拆段，其中第一固定段与HF槽1相连，第二固定段与气动阀4相连，可拆段的一端与第一固定段相连，另一端与第二固定段相连，过滤网内置在可拆段中。
[0030]由于过滤网内置在可拆段中，因此当需要对碎渣等过滤杂质进行清理时，仅需将可拆段从第一固定段和第二固定段上拆除，并将杂质倒出即可。
[0031]除此之外，本发明实施例还对排液管2的流向进行了优化，在本实施例中，排液管2上至少有一个直角折流部，过滤装置为设置在直角折流部处的T型过滤器3，如图1中所示。在排液过程中，药液在流至直角折流部时流向将发生变化，流向的迅速变化将导致混杂在药液中的碎渣迅速沉降，因此在该位置设置T型过滤器3可以提高过滤装置对HF槽1中药液的过滤效果，同时T型过滤器3内的过滤网可以方便的进行清洗和更换。
[0032]当然，本领域技术人员容易理解的是，内置在T型过滤器3中的过滤网材质应当根据药液的特性进行选择，过滤网不应当与药液发生反应或者给药液带来杂质，由于HF槽1中的药液为氢氟酸，因此在本实施例中，内置在T型过滤网3中的过滤网也为不锈钢过滤网33。同样的，过滤网的目数优选的为80目，在该目数时，过滤网的丝径(径*玮)为:
0.4mm*0.3mm，孔径为 180 μ m。
[0033]为了保证可靠连接，排液管2的端部均设置有带螺纹的接口，T型过滤器3的入口处设置有入口套管31，出口处设置有出口套管34，如图2中所示，通过入口套管31和出口套管34与排液管2端部带有螺纹的接口固定连接。更进一步的，还在T型过滤器3的进口和出口处设置有密封圈，以避免药液的泄露。
[0034]本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
[0035]对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
【主权项】
1.一种湿法刻蚀用HF槽的排液系统，包括与HF槽(1)相连的排液管(2)和用于控制所述排液管(2)开闭的气动阀(4)，其特征在于，还包括设置在所述排液管(2)上，且位于所述HF槽⑴与所述气动阀⑷之间的过滤装置。2.如权利要求1所述的排液系统，其特征在于，所述过滤装置为内置在所述排液管(2)中的过滤网。3.如权利要求2所述的排液系统，其特征在于，所述排液管(2)包括: 与所述HF槽⑴相连的第一固定段； 与所述气动阀(4)相连的第二固定段； 两端分别与所述第一固定段和所述第二固定段相连的可拆段，所述过滤网内置在所述可拆段中。4.如权利要求1所述的排液系统，其特征在于，所述排液管(2)至少包括一个直角折流部，且所述过滤装置为设置在所述直角折流部的T型过滤器(3)。5.如权利要求4所述的排液系统，其特征在于，内置在所述T型过滤器(3)中的过滤网为不锈钢过滤网(33)。6.如权利要求5所述的排液系统，其特征在于，所述不锈钢过滤网(33)的目数为80目。
【专利摘要】本发明公开了一种湿法刻蚀用HF槽的排液系统，包括与HF槽相连的排液管和用于控制所述排液管开闭的气动阀，该排液系统还包括设置在所述排液管上，且位于所述HF槽与所述气动阀之间的过滤装置。在系统维护时，HF槽中的药液将首先通过过滤装置，然后才能经过气动阀被排出。过滤装置可以将药液中的细微碎渣过滤，从而有效避免碎渣进入到气动阀内而对气动阀的性能造成影响，因而该排液系统也就保证了气动阀工作的可靠性。
【IPC分类】C30B28/06, C30B29/06
【公开号】CN105274620
【申请号】CN201510712433
【发明人】马康
【申请人】英利集团有限公司
【公开日】2016年1月27日
【申请日】2015年10月28日