专利名称：光致抗蚀剂组合物的制作方法
光致抗蚀剂组合物 本发明涉及一种用于制造滤色片的含羟胺酯的可自由基聚合组合物。本发明进一步涉及新型羟胺酯。本发明进一步涉及羟胺酯在需要后烘烤的所有液晶显示组件中的用途。包含位于玻璃基板上的黑色矩阵以及红色、绿色和蓝色像素的液晶显示器(IXD) 用滤色片(CF)通过使用自由基可光聚合抗蚀剂借助光刻技术而制造。在光刻工艺之后，通常通过例如在230°C下加热30分钟进行后烘烤以聚合剩余的丙烯酸双键，从而获得CF/LCD 制备工艺中所需的耐久性以及作为永久性涂层长期存在于LCD中。出于如下原因，在市场上存在对后烘烤工艺中更低温度和/或更短时间的强烈需求1)使用热稳定性较差但廉价的钠钙玻璃作为基板以降低成本；2)减少能量消耗；3)以更短的节拍时间实现更高的生产率，和/或4)在CF材料的选择中具有更大自由度。除滤色片抗蚀剂之外，对用于制造显示器的其他抗蚀剂和固化组合物而言，可能需要低温固化。抗蚀剂制造商们试图通过使用现有的热自由基引发剂如过氧化物来获得低温固化CF抗蚀剂。JP10010718公开了一种包含作为热聚合引发剂的有机过氧化物的颜色形成剂，以及通过在光刻工艺之后，优选在100 180°c下施行后烘烤工艺而制造具有良好耐溶剂性的滤色片。JP2003330184公开了一种即使在树脂组合物经历相当低的温度热处理后仍能形成具有高耐热性、高硬度和高耐溶剂性的滤色片的着色光敏树脂组合物。该树脂由具有Wl 二唑结构或含三卤代甲基的三嗪结构的聚合引发剂构成。JP2003128957提供了一种用于形成保护性膜的可固化组合物，该保护膜即使在不高于树脂基板变形温度或变色温度下形成时，仍能提供具有各种优异物理性能的保护膜。 该可固化组合物包含(A)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐(al)、含环氧基的不饱和化合物 (a2)以及除单体(al)和(a2)之外的烯属不饱和化合物(a3)的共聚物；(B)除组分(A)之外的环氧树脂；以及(C)能在热或辐射下产生酸的化合物。该保护膜由所述可固化组合物形成。形成所述保护膜的方法包括用所述可固化组合物涂布该树脂基板的顶部表面，然后进行热和/或光处理。该处理在不超过180°C的温度下进行。JPA2003015288公开了一种包含热聚合引发剂(如有机过氧化物、氢过氧化物和偶氮化合物)的辐射敏感组合物，当在塑料基板上形成滤色片时，即使采用不会导致塑料基板变形或变黄的低温处理时，仍能形成对塑料基板具有令人满意的粘合性的滤色片；并且还提供了由所述组合物形成的滤色片。该辐射敏感组合物包含着色剂(A)、碱溶性树脂 (B)、多官能单体(C)、光聚合引发剂(D)和热聚合引发剂(E)。欧洲专利EP309400 (Ciba)描述了用于稳定环境可固化的或酸催化的热固性涂料组合物的N-酰氧基位阻胺稳定剂。
已知羟胺酯为用于聚合烯属不饱和单体的热引发剂。国际公开专利W02001090113 (Ciba)描述了包含羟胺酯和烯属不饱和单体或低聚物的可聚合组合物。国际公开专利W003029332 (Ciba)涉及一种使用羟胺酯作为自由基源交联不饱和聚合物树脂如不饱和聚酯的方法。国际公开专利W004081100 (Ciba)涉及一种可热和紫外辐射双重固化的涂料组合物，其包含至少一种烯属不饱和化合物以及作为热引发剂的羟胺酯。国际公开专利W02006027327 (Ciba)涉及利用羟胺酯组合物使聚丙烯降解。已发现当使用如W02006027327中所公开的羟胺酯作为用于制造滤色片的可自由基聚合组合物的热自由基引发剂时，与不含这些羟胺酯的相应组合物相比以及与含有除这些羟胺酯之外的其他其他热自由基引发剂(TRI)如过氧化物的相应组合物相比，可在光固化工艺之后进行的热固化(后烘烤)工艺中令人惊讶地以更低的温度和/或更短的时间获得足够高的C = C转化。因此，本发明涉及一种可自由基聚合组合物，其包含(a)至少一种可碱显影树脂；(b)至少一种丙烯酸酯单体；(c)至少一种光引发剂；和(d)至少一种式I的羟胺酯化合物其中Ra表示酰基；Rb与I 。中一个表示氢且另一个表示取代基；或Rb与R。二者表示氢或者相同或不同的取代基；或Rb与R。一起表示氧；或Rb与R。一起形成环；R1-R4各自表示C1-C6烷基；且R5和&各自彼此独立地表示氢、C1-C6烷基或C6-Cltl芳基；或者&与& 一起表示氧。定义可碱显影树脂具有游离羧基，其酸值为10-600mg KOH(氢氧化钾)/g，优选为 20-300mg KOH/g，且分子量为约 1，000-1，000，000，优选为 2，000-200，000。可碱显影树脂的实例为具有作为侧基的羧酸官能的丙烯酸系聚合物，如通过使烯属不饱和羧酸与一种或多种选自(甲基)丙烯酸的酯、乙烯基芳族化合物、酰胺类不饱和化合物、乙烯基或烯丙基酯、乙烯基或烯丙基醚、巴豆酸酯、衣康酸酯、马来酸酯或富马酸酯、 多烯类化合物、甲基丙烯腈、甲基异丙烯基酮、乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、新戊酸乙烯酯、马
10来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-甲基苯基马来酰亚胺、N-甲氧基苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-烷基马来酰亚胺、马来酸酐、聚苯乙烯大分子单体、聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体、聚(甲基)丙烯酸丁酯大分子单体的单体共聚而获得的共聚物；所述烯属不饱和羧酸如(甲基)丙烯酸、2-羧乙基(甲基)丙烯酸、2-羧丙基(甲基)丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、马来酸、马来酸酐、马来酸的半酯、富马酸、肉桂酸、单[2_(甲基)丙烯酰氧基乙基]琥珀酸酯、单[2_(甲基)丙烯酰氧基乙基]己二酸酯、单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]邻苯二甲酸酯、单[2_(甲基)丙烯酰氧基乙基]六氢邻苯二甲酸酯、单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]马来酸酯、单[2_(甲基)丙烯酰氧基丙基]琥珀酸酯、单[2-(甲基)丙烯酰氧基丙基]己二酸酯、单[2-(甲基)丙烯酰氧基丙基]邻苯二甲酸酯、单[2-(甲基)丙烯酰氧基丙基]六氢邻苯二甲酸酯、单[2_(甲基)丙烯酰氧基丙基]马来酸酯、单[2-(甲基)丙烯酰氧基丁基]琥珀酸酯、单[2_(甲基)丙烯酰氧基丁基]己二酸酯、单[2-(甲基)丙烯酰氧基丁基]邻苯二甲酸酯、单[2_(甲基)丙烯酰氧基丁基]六氢邻苯二甲酸酯、 单[2_(甲基)丙烯酰氧基丁基]马来酸酯、3-(烷基氨基甲酰基)丙烯酸、α-氯丙烯酸、 马来酸、单酯化马来酸、柠康酸和ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯；所述(甲基)丙烯酸的酯如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸苄基酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸羟乙酯、(甲基)丙烯酸羟丙酯、(甲基)丙烯酸四氢糠基酯、(甲基)丙烯酸羟丁酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯、(甲基)丙烯酸二羟丙酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基) 丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸甲氧基苯酯、(甲基)丙烯酸甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸甲氧基二甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基丙酯、(甲基)丙烯酸甲氧基二丙二醇酯、(甲基)丙烯酸异冰片基酯、(甲基)丙烯酸二环戊二烯酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸三环[5. 2. 1. O2’ 6]_癸-8-基酯、(甲基)丙烯酸氨基乙酯、(甲基)丙烯酸N，N-二甲基氨基乙酯、(甲基) 丙烯酸氨基丙酯、(甲基)丙烯酸N，N-二甲基氨基丙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸2-甲基缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸3，4-环氧基丁酯、(甲基)丙烯酸6，7-环氧基庚酯；乙烯基芳族化合物，如苯乙烯、α -甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对氯苯乙烯、聚氯苯乙烯、氟苯乙烯、溴苯乙烯、乙氧基甲基苯乙烯、甲氧基苯乙烯、4-甲氧基-3-甲基苯乙烯、二甲氧基苯乙烯、乙烯基苄基甲基醚、乙烯基苄基缩水甘油基醚、茚、1-甲基茚；酰胺类不饱和化合物，如(甲基)丙烯酰胺、二丙酮丙烯酰胺、N-羟甲基丙烯酰胺、N-丁氧基甲基丙烯酰胺、Ν，Ν-二甲基(甲基)丙烯酰胺、Ν，Ν-二乙基(甲基)丙烯酰胺、Ν，Ν-二丁基(甲基)丙烯酰胺、N, N- 二乙基己基(甲基)丙烯酰胺、N, N- 二环己基(甲基)丙烯酰胺、N， N- 二苯基(甲基)丙烯酰胺、N-甲基-N-苯基(甲基)丙烯酰胺、N-羟乙基-N-甲基(甲基)丙烯酰胺、N-甲基(甲基)丙烯酰胺、N-乙基(甲基)丙烯酰胺、N-丙基(甲基)丙烯酰胺、N- 丁基(甲基)丙烯酰胺、N-羟乙基(甲基)丙烯酰胺、N-庚基(甲基)丙烯酰胺、N-辛基(甲基)丙烯酰胺、N-乙基己基(甲基)丙烯酰胺、N-羟乙基(甲基)丙烯酰胺环己基、N-苄基(甲基)丙烯酰胺、N-苯基(甲基)丙烯酰胺、N-甲苯基(甲基)丙烯酰胺、N-羟基苯基(甲基)丙烯酰胺、N-萘基(甲基)丙烯酰胺、N-苯基磺酰基(甲基) 丙烯酰胺、N-甲基苯基磺酰基(甲基)丙烯酰胺和N-(甲基)丙烯酰基吗啉；乙烯基或烯丙基酯，如乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、新戊酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯、三甲基乙酸乙烯酯、二乙基乙酸乙烯酯、硼酸乙烯酯、己酸乙烯酯、氯乙酸乙烯酯、二氯乙酸乙烯酯、 甲氧基乙酸乙烯酯、丁氧基乙酸乙烯酯、苯基乙酸乙烯酯、乙酸乙烯酯、乙酰乙酸乙烯酯、乳酸乙烯酯、苯基丁酸乙烯酯、环己基甲酸乙烯酯、水杨酸乙烯酯、氯苯甲酸乙烯酯、四氯苯甲酸乙烯酯、萘甲酸乙烯酯、乙酸烯丙酯、丙酸烯丙酯、丁酸烯丙酯、新戊酸烯丙酯、苯甲酸烯丙酯、己酸烯丙酯、硬脂酸烯丙酯、乙酰乙酸烯丙酯、乳酸烯丙酯；乙烯基或烯丙基醚，如乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、乙烯基己基醚、乙烯基辛基醚、乙烯基乙基己基醚、乙烯基甲氧基乙基醚、乙烯基乙氧基乙基醚、乙烯基氯乙基醚、乙烯基羟乙基醚、乙烯基乙基丁基醚、乙烯基羟基乙氧基乙基醚、乙烯基二甲基氨基乙基醚、乙烯基二乙基氨基乙基醚、乙烯基丁基氨基乙基醚、乙烯基苄基醚、乙烯基四氢糠基醚、乙烯基苯基醚、乙烯基甲苯基醚、乙烯基氯苯基醚、乙烯基氯乙基醚、乙烯基二氯苯基醚、乙烯基萘基醚、乙烯基蒽基醚、烯丙基缩水甘油基醚；巴豆酸酯，如巴豆酸丁酯、巴豆酸己酯、单巴豆酸甘油酯；衣康酸酯，如衣康酸二甲酯、衣康酸二乙酯、衣康酸二丁酯；以及马来酸酯或富马酸酯，如马来酸二甲酯、富马酸二丁酯；多烯类化合物，如丁二烯、异戊二烯、氯丁二烯等。共聚物的实例为丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯与丙烯酸或甲基丙烯酸的共聚物以及与苯乙烯或取代苯乙烯、酚醛树脂(例如酚醛清漆树脂)、(聚)羟基苯乙烯的共聚物；以及羟基苯乙烯与丙烯酸烷基酯、丙烯酸和/或甲基丙烯酸的共聚物。共聚物的优选实例为(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸的共聚物、 (甲基)丙烯酸苄基酯/(甲基)丙烯酸的共聚物、(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸乙酯/(甲基)丙烯酸的共聚物、(甲基)丙烯酸苄基酯/(甲基)丙烯酸/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸苄基酯/(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸羟乙酯的共聚物、(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸丁酯/(甲基)丙烯酸/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸甲酯 /(甲基)丙烯酸苄基酯/(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸羟苯酯的共聚物、(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体的共聚物、(甲基)丙烯酸苄基酯/(甲基)丙烯酸/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体的共聚物、(甲基)丙烯酸四氢糠基酯/苯乙烯/(甲基)丙烯酸的共聚物、(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸/聚苯乙烯大分子单体的共聚物、(甲基)丙烯酸苄基酯/(甲基)丙烯酸/聚苯乙烯大分子单体的共聚物、(甲基)丙烯酸苄基酯/(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟乙酯/聚苯乙烯大分子单体的共聚物、(甲基)丙烯酸苄基酯/(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟丙酯 /聚苯乙烯大分子单体的共聚物、(甲基)丙烯酸苄基酯/(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸 2-羟基-3-苯氧基丙酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体的共聚物、(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟乙酯/聚苯乙烯大分子单体的共聚物、(甲基) 丙烯酸苄基酯/(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟乙酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体的共聚物、N-苯基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸苄基酯/(甲基)丙烯酸与苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸苄基酯/ (甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/琥珀酸单[2-(甲基) 丙烯酰氧基乙基]酯/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸烯丙酯/(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/琥珀酸单[2_(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸苄基酯/(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/单(甲基)丙烯酸甘油酯/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸苄基酯/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸/ N-苯基马来酰亚胺/单(甲基)丙烯酸甘油酯/苯乙烯的共聚物以及(甲基)丙烯酸苄基酯/(甲基)丙烯酸/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯的共聚物。商业产品的实例为由SiowaHighpolymer 提供的 Ripoxy SPC-2000。在本申请的上下文中，术语“(甲基)丙烯酸酯”意指丙烯酸酯以及相应的甲基丙烯酸酯。可碱显影树脂的其他实例为在分子结构中具有至少两个烯属不饱和基团和至少一个羧基官能团的聚合物或低聚物，如通过使饱和或不饱和多元酸酐与环氧基化合物与不饱和单羧酸的反应产物反应而获得的树脂(例如，来自UCB Chemicals的EB9696 ；来自 Nippon Kayaku Co. LTD.的 KAYARAD TCR1025 ；来自 Shin-Nakamura Chemical Co.， Ltd.的 NK0LIG0 EA-6340、EA-7440)。这类粘合剂的其他实例描述于 JP2002-206014A、 JP2004-69754A、JP2004-302245A、JP2005-77451A、JP2005-316449A、JP2005-338328A 和 JP3754065B2 中。其他实例为通过使含环氧基的不饱和化合物加成至含羧酸基聚合物的一部分羧基上而获得的反应产物(例如，来自Daicel Chemical IndustriesLtd.的ACA200、 ACA200M、ACA210P、ACA230AA、ACA250、ACA300、ACA320 以及由 Showa Highpolymer 提供的 Ripoxy SPC-1000)。作为所述含羧酸的聚合物，可为由不饱和羧酸化合物与一种或多种可聚合化合物反应而获得的上述粘合剂聚合物，例如(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸苄基酯、苯乙烯和(甲基)丙烯酸2-羟乙酯的共聚物，(甲基)丙烯酸、苯乙烯和α -甲基苯乙烯的共聚物，(甲基)丙烯酸、N-苯基马来酰亚胺、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄基酯的共聚物，(甲基)丙烯酸与苯乙烯的共聚物，(甲基)丙烯酸与(甲基)丙烯酸苄基酯的共聚物、 (甲基)丙烯酸四氢糠基酯、苯乙烯和(甲基)丙烯酸的共聚物等。含环氧基的不饱和化合物的实例在下式(V-I)-(V-15)中给出
权利要求
1. 一种可自由基聚合组合物，其包含(a)至少一种可碱显影树脂；(b)至少一种丙烯酸酯单体；(c)至少一种光引发剂；和(d)至少一种式I的羟胺酯化合物
2.如权利要求1的可自由基聚合组合物，其包含式I的羟胺酯化合物，其中凡为氢且 Rc为取代基-0-G，从而得到式IA化合物
3.如权利要求1的可自由基聚合组合物，其包含式I的羟胺酯化合物，其中凡为氢且 Rc为-NG1G2，从而得到式IB化合物
4.如权利要求1的可自由基聚合组合物，其包含式I的羟胺酯化合物， 其中Rb与I 。形成环，从而得到式IC化合物
5. 一种式IC'的羟胺酯其中
6.如权利要求5的羟胺酯，其中式IC‘中的基团Ra为选自-C ( = 0) -C1-C32烷基、-C ( = 0) -C2-C4亚烷基-C ( = 0) -C1-C32烷基、-C ( = 0)-苯基或被甲氧基取代的-C (= 0)-苯基、-c( = 0)-0-(^-(^ 烷基、-c( = 0)-0-苄基、-c( = 0)-NH-C1-Q2 烷基、_C(= 0)-ΝΗ-苯基的酰基。
7.如权利要求5或6的羟胺酯，其中 G3为如下基团
8.如权利要求7的羟胺酯，其中基团R3tl为间隔有一个或多个氧的C1-C32烷基、苯基或苄基或被一个或多个卤原子取代的苯基，或被0R8、-(^)^-0( = 0)-C1-Q2烷基或0-苄基、-O-C1-C32烷基、-NH-C1-C32烷基、-NH-苯基取代。
9.如权利要求5或6的羟胺酯，其中G3为如下基团
10.如权利要求5或6的羟胺酯，其中G3为如下基团
11.如权利要求5或6的羟胺酯，其中G3为
12. —种式IA'的羟胺酯
13.如权利要求12的羟胺酯，其中Ra为选自_C(= 0)-(^-(^烷基、-C( = 0)-C2-C4 亚烷基-C ( = 0) -C1-C32烷基、-C ( = 0)-苯基或被甲氧基、-C ( = 0) -O-C1-C32烷基、-C (= 0) -O-苄基、-C ( = 0) -NH-C1-C32烷基、-C ( = 0) -NH-苯基取代的-C ( = 0)-苯基的酰基。
14.如权利要求12或13的羟胺酯，其中G优选为-C(= 0)-C1-C32烷基、-C ( = 0)-C2-C4 亚烷基-C ( = 0) C1-C32烷基；或者G为-C ( = 0) -C2-C4链烯基-苯基或-C ( = 0)-苯基，其中苯基可任选被一个或多个卤素、OR9取代。
15.一种可自由基聚合组合物，其包含(a)至少一种可碱显影树脂；(b)至少一种丙烯酸酯单体；(c)至少一种光引发剂；(d)至少一种如权利要求5和12所定义的式IA'和IC'羟胺酯化合物。
16.一种组合物，其包含至少一种烯属不饱和的可聚合单体或低聚物；和至少一种如权利要求5和12所述的上述(IA')和(IC')化合物。
17.—种通过自由基聚合制备低聚物、共聚低聚物、聚合物或共聚物的方法，其特征在于使包含如下物质的组合物置于自由基聚合的反应条件α )至少一种烯属不饱和的可聚合单体或低聚物；和β ) 一种如权利要求5和12所述的如上所定义的新颖化合物(IA')和(IC')。
18.如权利要求1或15的可光聚合组合物在制造用于各种显示器应用的滤色片，IXD 隔垫物，滤色片和LCD保护层，LCD密封剂，用于各种显示器应用的光学膜，LCD绝缘层，在等离子显示面板、电致发光显示器和IXD、阻焊剂的制造工艺中产生结构或层的抗蚀剂或光敏感性组合物，作为光致抗蚀剂材料用于在印刷电路板的顺序堆叠层中形成介电层中的用途。
19.如权利要求1或15的可光聚合组合物在提高后烘烤工艺中C= C转化率中的用途。
20.如权利要求1的式I或如权利要求5的式IC'或如权利要求12的式IA'的羟胺酯在提高后烘烤工艺中C = C转化率中的用途。
21.如权利要求1的式I或如权利要求5的式IC'或如权利要求12的式IA'的羟胺酯在制造滤色片中的用途。
22.一种制造滤色片的方法，其包括a)将如权利要求1或如权利要求15的可光聚合组合物施涂至支持体上；b)干燥所述可光聚合组合物；c)使所述可光聚合组合物透过掩膜暴露于UV光中；d)用碱性显影剂使曝光组合物层显影，形成着色的图案；和e)在180-230°C下对曝光的光致抗蚀剂进行后烘烤。
23.如权利要求5或12的式IA'和IC'羟胺酯任选与其他引发剂组合以制备涂层的用途。
24.如权利要求5或12的式IA'和IC'羟胺酯在聚丙烯的受控降解和聚乙烯分子量的受控增加或交联中的用途。
全文摘要
本发明涉及一种用于制造滤色片的含羟胺酯的可自由基聚合组合物。本发明进一步涉及一种新颖羟胺酯。本发明进一步涉及羟胺酯在所有需要后烘烤的液晶显示器组件中的用途。本发明涉及一种可自由基聚合组合物，其包含(a)至少一种可碱显影树脂；(b)至少一种丙烯酸酯单体；(c)至少一种光引发剂；(d)至少一种式I的羟胺酯化合物；其中Ra表示酰基；Rb和Rc中的一个表示氢且另一个表示取代基；或者Rb和Rc二者各自表示氢或者相同或不同的取代基；或者Rb和Rc一起表示氧；或者Rb和Rc一起形成环；R1-R4各自表示C1-C6烷基；且R5和R6各自彼此独立地表示氢、C1-C6烷基或C6-C10芳基；或者R5和R6一起表示氧。
文档编号C08K5/32GK102361896SQ201080013256
公开日2012年2月22日 申请日期2010年3月17日 优先权日2009年3月23日
发明者P·内斯瓦德巴, 仓久敏, 国本和彦, 大和昌纪, 鲛岛香织 申请人:巴斯夫欧洲公司