生物芯片的封装结构和封装方法与流程

文档序号:13274301阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种生物芯片的封装结构和封装方法,该封装结构包括:第一基板和第二基板;位于第一基板朝向第二基板一侧的布线层;位于布线层背离第一基板一侧的生物芯片,生物芯片背离布线层一侧表面具有检测单元;覆盖布线层和生物芯片的第一疏水层,第一疏水层曝露检测单元,第一疏水层背离布线层一侧表面与检测单元背离布线层一侧表面平齐;位于第二基板朝向第一基板一侧的第二疏水层,第一疏水层和第二疏水层之间形成流体通道;生物芯片背离布线层一侧具有电连接区域,电连接区域通过硅片通道与布线层电连接,解决了由于柱形结构支撑芯片引进的流体通道存在障碍,流动平稳性差、封装结构易被污染,重复利用率低,不易微型化的问题。

技术研发人员:侯西亮;赵慢;王琳
受保护的技术使用者:珠海创飞芯科技有限公司
技术研发日:2017.08.08
技术公布日:2017.12.22
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