与腔体中的氢气进行碰 撞，产生高能中性氢分子来轰击聚合物表面，引发聚合物表面交联反应，形成结合牢固、致 密的表面交联层，新形成的表面交联层相对本体有更高的水汽阻隔能力。该方法反应条件 温和，在交联聚合物表面的过程中不会造成聚合物分子降解破坏，能够有效提高薄膜的水 汽阻隔能力，同时保留聚合物膜原有的物理性质（如机械强度，透光率）。
[0023] 进一步，在步骤（1)冲洗完毕后用惰性气体将聚合物吹干。如使用氮气将聚合物 表面吹干。
[0024] 进一步，步骤（2)抽真空后等离子腔体内气压为0~10Pa，抽真空可以快速的排出 空气，使后续中性氢分子轰击提供良好的环境条件。由于绝对真空无法达到，本领域技术人 员应当明白以上抽真空后腔体内的气压是不能为零的，但在技术允许的情况下可以无限接 近绝对真空〇Pa。优选为I X KT4~2 X KT1Pa,根据现有技术的限制优选以上气压对应的真 空度，在加工成本和加工品质之间实现良好的平衡。
[0025] 进一步，距离等离子体放电区5~IOcm处放置负电极，电极的作用是加速等离子 体使其具有一定的动能，可以轰击聚合物表面产生新的自由基，电极也可以被称为加速电 极，对应加压称为加速电压，电极的电压范围为80~250V。优选电压为100-250V。
[0026] 进一步，被处理的聚合物薄膜样品离等离子放电区距离为40-70cm，薄膜样品上方 10~20cm处分别放有正负两个电极板。
[0027] 超热氢处理样品的原理示意图如图1所示，微波装置激发的等离子体1在第一电 场2的加速作用下获得大量动能，然后进入碰撞室3和其中的中性氢分子碰撞，使氢分子具 有大量动能。然后从碰撞室3出来的等离子被第二电场4去极，仅保留中性的氢分子从缝 隙中通过。具有动能的氢分子通过第二电场4后，轰击在样品5上，使样品表面的碳碳键、 碳氢键等断裂形成自由基，进而实现聚合物表面的交联反应。
[0028] 下面结合试验例及【具体实施方式】对本发明作进一步的详细描述。但不应将此理解 为本发明上述主题的范围仅限于以下的实施例，凡基于本
【发明内容】
所实现的技术均属于本 发明的范围。
[0029] 实施例1
[0030] 将聚氯代对二甲苯薄膜（厚度100 μm)固定在超热氢系统（CN 102414359 A)的 样品台上，被处理的聚合物薄膜样品离等离子放电区距离为50cm，薄膜样品上方10-20cm 处分别放有正负两个排斥电极板。打开真空泵抽真空，然后通入14SCCM (标准毫升/分钟） 氢气，并打开微波等离子，开启加速电源和排斥电源，加速电压为100V，用氢气轰击薄膜样 品时间为lmin，得到改性提高表面水汽阻隔性能的聚合物薄膜。
[0031] 实施例2
[0032] 实用和实施例1中相同的聚氯代对二甲苯薄膜固定在超热氢系统的样品台上，被 处理的聚合物薄膜样品离等离子放电区距离为60cm，薄膜样品上方10-20cm处分别放有正 负两个排斥电极板。打开真空泵，使腔体内真空度达到6X KT4Pa时，依次通入14SCCM氢气， 并打开微波等离子，开启加速电源和排斥电源，其中微波功率为300W，加速电压为100V、用 氢气轰击薄膜样品时间为lmin，得到表面水汽阻隔性能增强的薄膜。
[0033] 实施例3
[0034] 将聚氯代对二甲苯薄膜（厚度IOOym)放入含有丙酮的容器中超声清洗15min，用 氮气吹干。将薄膜固定在超热氢系统的样品台上，被处理的聚合物薄膜样品离等离子放电 区距离为45cm，薄膜样品上方10-20cm处分别放有正负两个排斥电极板。打开真空泵，使腔 体内真空度达到6X KT4Pa时，依次通入14SCCM氢气，并打开微波等离子，开启加速电源和 排斥电源，其中微波功率为300W，加速电压为100V，用氢气轰击薄膜样品时间为lmin，得到 表面水汽阻隔性能增强的薄膜。
[0035] 实施例4
[0036] 将聚氯代对二甲苯薄膜（厚度IOOym)依次放入含有乙醇的容器中超声清洗 15min，用氮气吹干。将薄膜固定在超热氢系统的样品台上，被处理的聚合物薄膜样品离等 离子放电区距离为60cm，薄膜样品上方10-20cm处分别放有正负两个排斥电极板。打开真 空泵，使腔体内真空度达到6 X KT4Pa时，依次通入14SCCM氢气，并打开微波等离子，开启加 速电源和排斥电源，其中微波功率为300W，加速电压为100V、用氢气轰击薄膜样品时间为 lmin，得到表面水汽阻隔性能增强的薄膜。
[0037] 实施例5
[0038] 将聚氯代对二甲苯薄膜（厚度IOOym)依次放入含有丙酮、乙醇的容器中超声清 洗15min，用氮气吹干。将薄膜固定在超热氢系统的样品台上，被处理的聚合物薄膜样品离 等离子放电区距离为60cm，薄膜样品上方10-20cm处分别放有正负两个排斥电极板。打开 真空泵抽真空，然后通入14SCCM氢气，并打开微波等离子，开启加速电源和排斥电源，加速 电压为100V，用氢气轰击薄膜样品时间为lmin，得到改性提高表面水汽阻隔性能的聚合物 薄膜。
[0039] 实施例6
[0040] 实用和实施例1中相同的聚氯代对二甲苯薄膜固定在超热氢系统的样品台上，被 处理的聚合物薄膜样品离等离子放电区距离为60cm，薄膜样品上方10-20cm处分别放有正 负两个排斥电极板。打开真空泵，使腔体内真空度达到6X KT4Pa时，依次通入14SCCM氢气， 并打开微波等离子，开启加速电源和排斥电源，其中微波功率为300W，加速电压为100V、用 氢气轰击薄膜样品时间为3min，得到表面水汽阻隔性能增强的薄膜。
[0041] 实施例7
[0042] 将聚氯代对二甲苯薄膜（厚度100 ym)放入含有丙酮、乙醇的容器中超声清洗 15min，用氮气吹干。将薄膜固定在超热氢系统的样品台上，被处理的聚合物薄膜样品离等 离子放电区距离为60cm，薄膜样品上方10-20cm处分别放有正负两个排斥电极板。打开真 空泵，使腔体内真空度达到6 X KT4Pa时，依次通入14SCCM氢气，并打开微波等离子，开启加 速电源和排斥电源，其中微波功率为300W，加速电压为100V、用氢气轰击薄膜样品时间为 5min，得到表面水汽阻隔性能增强的薄膜。
[0043] 实施例8
[0044] 将聚氯代对二甲苯薄膜（厚度IOOym)依次放入含有丙酮、乙醇的容器中超声清 洗15min，用氮气吹干。将薄膜固定在超热氢系统的样品台上，被处理的聚合物薄膜样品离 等离子放电区距离为60cm，薄膜样品上方10-20cm处分别放有正负两个排斥电极板。打开 真空泵，使腔体内真空度达到6 X KT4Pa时，依次通入14SCCM氢气，并打开微波等离子，开启 加速电源和排斥电源，其中微波功率为300W，加速电压为100V、用氢气轰击薄膜样品时间 为lOmin，得到表面水汽阻隔性能增强的薄膜。
[0045] 实施例9
[0046] 将聚氯代对二甲苯薄膜（厚度IOOym)依次放入含有丙酮、乙醇的容器中超声清 洗15min，用氮气吹干。将薄膜固定在超热氢系统的样品台上，被处理的聚合物薄膜样品离 等离子放电区距离为60cm，薄膜样品上方10-20cm处分别放有正负两个排斥电极板。打开 真空泵，使腔体内真空度达到6 X KT4Pa时，依次通入14SCCM氢气，并打开微波等离子，开启 加速电源和排斥电源，其中微波功率为300W，加速电压为10