涂敷装置及其涂敷位置修正方法

专利名称：涂敷装置及其涂敷位置修正方法
技术领域：
本发明涉及液晶面板等平面面板制造用的涂敷装置，特别涉及备有门形架的涂 敷装置及其涂敷位置修正方法。在该涂敷装置中，门形架设有可移动的涂敷头，一边使 这些涂敷头在X、Y轴方向移动，一边从涂敷头往基板上涂敷粘接剂等浆料，在基板上描 绘出预定的浆料图案。
背景技术：
在LCD (液晶显示装置)面板等平面面板领域中，为了提高面板的制作效率，为 了从一块玻璃基板上得到多个面板基板，玻璃基板的尺寸日益大型化。随之，为了制作 该平面面板，用于往玻璃基板上涂敷粘接剂等浆料的涂敷装置也日益大型化。在这样的 涂敷装置中，使用设有多个涂敷头的门形架，一边使这些涂敷头同时沿相同轨迹移动， 一边涂敷浆料，这样，在同一块玻璃基板上同时形成相同的浆料图案。作为这样的涂敷装置的现有例，已知有如下的技术在架台上设置保持基板用 的基板保持部，设置跨越该基板的、能在一个方向(X轴方向)往复移动的2台门形架， 在各门形架上设置沿其长度方向(Y方向)配列、可在该方向移动的多个涂敷头，这些涂 敷头在门形架的长度方向(Y轴方向)移动，各门形架在垂直于其长度方向的方向(X轴 方向)移动，这样，这些涂敷头一边喷出浆料一边沿相同轨迹移动，在同一个基板上描 绘出多个相同的浆料图案(例如参见专利文献1)。另外，作为另一个现有例，提出有如下的涂敷装置该涂敷装置设有带多个涂 敷头的2台门形架，一个门形架是固定的，另一个门形架可以移动，通过使该门形架移 动，可用规定的间隔设置2台门形架，在该状态下，使基板在2个方向移动，从各门形架 的涂敷头喷出浆料，这样，在该基板上同时描绘出多个相同的浆料图案(例如参见专利 文献2)。在该专利文献2记载的涂敷装置中，在设在门形架上的每个涂敷头上还设置了 使其喷嘴在平行于门形架移动方向的方向(Y轴方向)移动的机构，当相对于基板有θ轴 方向的偏差时，用该机构使各涂敷头相对于门形架在Y轴方向变位(位置调节)，据此， 补偿基板的θ轴方向的偏差。另外，作为再一个现有例，提出了一种浆料涂敷器，在框架(门形架)上设置多 个头组件(涂敷头)，使这些头组件的喷嘴能在XYZ三个方向移动，该框架是固定的，使 基板在平面上的XY轴方向移动，这样，描绘出多个浆料图案(例如参见专利文献3)。在该专利文献3记载的技术中，框架的长度方向是X轴方向，与框架的长度方向 垂直的方向是Y轴方向，喷嘴相对于基板的高度方向是Z轴方向，在更换头组件时，对 于更换的新的头组件，使其喷嘴在XY轴方向移动，据此，修正因头组件的更换而造成的 新的头组件的喷嘴的位置偏差。该更换喷嘴的位置偏差的修正方法，是在载置基板的台上的规定位置设置计测 机构，把多个喷嘴中的更换喷嘴以外的一个喷嘴作为基准喷嘴，使该计测机构向规定位
4置移动，检测该位置的计测机构和基准喷嘴的位置偏差，求出计测机构的修正位置，使 计测机构移动到该修正位置后，移动到与更换喷嘴对应的规定位置，检测出该规定位置 与更换喷嘴的位置偏差，求出该更换喷嘴的修正位置，这样，不必进行在虚设基板上涂 敷浆料的操作，可以对更换喷嘴的位置偏差进行修正。专利文献1 日本特开2002-346452号公报专利文献2 日本特开2003-225606号公报专利文献3:日本特开2005-7393号公报

发明内容
为了制造LCD面板等，用设在多个门形架上的多个涂敷头在同一块大型基板 上同时地描绘出多个相同的浆料图案时，考虑到从该基板分割成多个面板等后工序的操 作，在描绘了浆料图案的各个基板上，这些各个浆料图案必须总是描绘在基板上的预定 位置。为此，设在同一门形架上的多个涂敷头之间必须总是保持正确的位置关系，即使 设在不同门形架上的涂敷头之间也必须总是保持正确的位置关系，门形架之间必须总是 保持正确的位置关系。为此，监视各涂敷头的喷嘴的位置，当产生了位置偏差时，必须 将其修正。尤其是，收纳在涂敷头的注射器(浆料收纳筒)内的浆料用完后、更换新的 涂敷头时，在该喷嘴可能产生位置偏差，所以必须要进行喷嘴的位置调节。与此相对，在上述专利文献1中公开了如下技术采用设有多个涂敷头的2台门 形架，固定基板，利用门形架的移动和涂敷头相对于门形架的移动，在该基板上同时地 描绘出多个相同的浆料图案。但是，该专利文献1却并未对各涂敷头的喷嘴位置偏差的 调节有任何记载，也并未对门形架间的位置偏差的调节有任何记载。在上述专利文献2记载的技术中，在与基板面平行且与门形架长度方向垂直的 方向，设置了对设在门形架上的涂敷头进行位置调节的机构，可进行涂敷头的位置调 节。但是，该位置调节是用涂敷头的配列来修正基板的θ轴方向的偏差，是根据设在基 板上的定位记号的位置偏差的检测结果进行调节。但是，由于使用涂敷装置，因在门形架上安装多个涂敷头或更换涂敷头等，涂 敷头的位置有时会产生偏差，虽然根据基板的θ轴方向的偏差来调节涂敷头的配列，但 是，在上述专利文献2的方法中，并未考虑到涂敷头间的位置偏差。另外，在上述专利文献2记载的发明中，一个门形架固定，另一个门形架可以 移动，通过使该门形架移动来设定另一个门形架相对于固定的一个门形架的位置关系。 但是，该专利文献2却并未考虑到如何调节这些门形架间的位置偏差。用设在多个门形架上的多个涂敷头在同一基板上描绘多个浆料图案时，如上专 利文献1中记载的技术那样，使2台门形架都可以移动时，为了使各门形架相对于基板的 位置关系为规定的关系而设定这2台门形架的位置关系是非常困难的。另外，在专利文献3记载的技术中，在更换头组件时，对于更换的新的头组 件，使其喷嘴(更换喷嘴)在XY轴方向移动，对更换喷嘴的位置偏差进行修正，为此， 设置了可移动的计测机构，该计测机构移动到更换喷嘴的位置，从该计测机构的移动距 离检测出该更换喷嘴的位置偏差，需要有计测机构和使其移动的机构、以及移动所需的 处理等。
另外，在专利文献3记载的技术中，只使用一台门形架(框架)，而且该门形架 是固定的，不存在调节门形架之间位置关系的问题。本发明的目的是，解决上述问题，提供涂敷装置及其涂敷位置修正方法，在描 绘浆料图案时，使用多台移动的门形架，可以修正这些门形架的位置关系的偏差、设在 这些门形架上的涂敷头间的位置偏差。为了实现上述目的，本发明提供如下的涂敷装置，在基台上设置能在第1方向 移动的多个门形架，在每个门形架上设置能在沿着门形架的长度方向的第2方向移动的 多个涂敷头，利用门形架朝第1方向的移动和涂敷头相对于门形架朝第2方向的移动，涂 敷头一边在该第1、第2方向移动，一边对载置在基板载置台的基板上涂敷浆料，由每个 涂敷头在基板上描绘浆料图案，该基板载置台设在架台上，其特征在于，涂敷头分别备 有照相机；在基板载置台上，对每个门形架设置用于对设在门形架上的多个涂敷头进行 对位的模拟(捨t打用玻璃基板，并且，设置多个门形架对位用的基准位置记号；在 模拟用玻璃基板上，由同一门形架上的多个涂敷头涂敷浆料，描绘浆料记号；该涂敷装 置备有第1机构和第2机构；上述第1机构，通过用照相机对描绘在模拟用玻璃基板上的 浆料记号进行拍摄、检测出浆料记号的描绘位置，从而检测出门形架上的多个涂敷头间 的位置偏差，根据检测出的位置偏差，进行多个涂敷头相互间的对位；上述第2机构， 通过使多个门形架分别在第1方向移动到基板载置台上的基准位置记号被照相机拍摄的 位置，检测出各个门形架移动到基准位置记号的位置的移动距离，对门形架的每一个检 测相对于用于描绘浆料图案而预定的待机位置在第1方向的位置偏差，根据检测出的位 置偏差，将门形架的每一个对位到待机位置。另外，在本发明的涂敷装置中，基准位置记号是设在基板载置台的中央部附近 的基板保持用的吸附孔。另外，在本发明的涂敷装置中，涂敷头可在门形架移动的第1方向移动，可进 行第1方向的对位。另外，在本发明的涂敷装置中，对门形架的每一个，把设在门形架上的多个涂 敷头中的一个作为基准涂敷头；基准涂敷头相对于第1方向位置固定，除基准涂敷头以 外的涂敷头能在第1方向移动；除基准涂敷头以外的涂敷头相对于基准涂敷头能进行第1 方向的对位。为了实现上述目的，本发明提供如下的涂敷装置的涂敷位置修正方法，在涂敷 装置中，在基台上设有能在第1方向移动的多个门形架，在每个门形架上设置能在沿着 门形架的长度方向的第2方向移动的多个涂敷头，利用门形架朝第1方向的移动和涂敷 头相对于门形架朝第2方向的移动，使得涂敷头一边在第1、第2方向移动，一边对载置 在基板载置台上的基板上涂敷浆料，由每个涂敷头在基板上描绘浆料图案，该基板载置 台设在架台上；该方法的特征在于，对每个门形架，在基板载置台上设置模拟用玻璃基 板；在模拟用玻璃基板上，由设在与其对应的门形架上的多个涂敷头的每一个描绘浆料 记号，用照相机对描绘的各浆料记号进行拍摄，检测其位置，从而检测出多个涂敷头相 互间的位置偏差，根据检测出的位置偏差，进行多个涂敷头的对位；在基板载置台上设 置基准位置记号；使多个门形架分别移动到基准位置记号的位置，对多个门形架的每一 个，检测门形架的预定的待机位置相对于基准位置记号在第1方向的位置偏差，根据检测出的位置偏差，将多个门形架对位在待机位置。另外，在本发明的涂敷装置的涂敷位置修正方法中，基准位置记号是设在基板 载置台的中央部附近的基板保持用的吸附孔。另外，在本发明的涂敷装置的涂敷位置修正方法中，涂敷头可在门形架移动的 第1方向移动，可进行第1方向的对位。另外，在本发明的涂敷装置的涂敷位置修正方法中，对门形架的每一个，把设 在门形架上的多个涂敷头中的一个作为基准涂敷头；基准涂敷头相对于第1方向位置固 定，除基准涂敷头以外的涂敷头能在第1方向移动；除基准涂敷头以外的涂敷头相对于 基准涂敷头能进行第1方向的对位。根据本发明，在基板载置台上设置模拟用玻璃基板，仅通过用设在门形架上的 多个涂敷头在该模拟用玻璃基板上涂敷浆料记号，就检测出这些涂敷头间的位置偏差， 因此，可以在短时间内正确地检测出各门形架上的涂敷头之间的位置偏差，进行修正。 另外，根据设在基板载置台上的位置基准记号检测各门形架的位置偏差，因此，可在短 时间内正确地检测出门形架间的位置偏差，可修正该位置偏差。因此，可在短时间内正 确地设定全部门形架上的涂敷头间的位置关系，大幅度地提高基板上的浆料图案的涂敷 精度。


图1是表示本发明的涂敷装置的一实施方式的立体图。图2是表示图1中的基板搭载台8的一具体例的立体图。图3是表示图1中的涂敷头的一具体例的侧视图。图4是表示控制图1和图3的各部动作的控制系统的一具体例的构成框图。图5是表示图1中的门形架和涂敷头的位置偏差的修正(对位)顺序的一具体例 的流程图。1...架台，2a、2b...线性轨，3、3R、3L...门形架，4Ra、4Rb、4La、4Lb...线性 驱动机构，5、5Ra 5Rc、5La 5Lc...涂敷头，6...注射器(浆料收纳筒)，7...CCD照 相机，8...基板搭载台，9...基准位置记号，10a、10b...模拟用玻璃基板，11a、lib...连接 部件，12a、12b...槽部，13...涂敷头安装台，14...Z轴台支承部，14a...连接部，15…Z轴 台，16a 16c...线性导引机构部，17...驱动线圈，18...线性轨，19a、19b...直线排列球， 20...马达载置部，21...X轴驱动马达，22...轴，23...轴承，24...凸轮，25...贯通孔，26...Z 轴驱动马达，27...Z轴驱动部，28...上下移动台，29...光学测距仪，30...喷嘴，31...基 板，32...主控制部，33...副控制部
具体实施例方式下面，参照

本发明的实施方式。图1是表示本发明的涂敷装置的一实施方式的立体图。1是架台，Ia是前面，Ib 是上面，Ic是右侧面，Id是左侧面，Ie是背面，2a、2b是线性轨，3R、3L是门形架， 4Ra、4Rb、4La、4Lb是线性驱动机构，5Ra 5Rc、5La 5Lc是涂敷头，6是注射器 (浆料收纳筒)，7是CCD照相机，8是基板搭载台，9是基准位置记号，10a、IOb是模
7拟用玻璃基板。在图1中，把与架台1的前面Ia及背面Ie平行的方向作为X轴方向，把与架台 1的右侧面Ic及左侧面Id平行的方向作为Y轴方向，把与架台1的上面Ib垂直的方向 作为Z轴方向。在架台1的上面lb，沿架台1的前面Ia侧的边，在X轴方向设有线性 轨2a，另外，沿架台1的背面Ie侧的边，在X轴方向设有线性轨2b。这些线性轨2a、 2b从右侧面Ic延伸到左侧面Id。在线性轨2a上设有线性驱动机构4Ra，在线性轨2b上设有线性驱动机构4Rb。 门形架3R跨设在线性轨2a、2b之间，门形架3R的一个端部载置在线性驱动机构4Ra 上，门形架3R的另一个端部载置在线性驱动机构4Rb上。线性驱动机构4Ra、4Rb分 别与线性轨2a、2b 一起构成线性马达(X轴线性马达)。线性驱动机构4Ra、4Rb沿着 线性轨2a、2b移动，据此，门形架3R在X轴方向移动。这时，因该移动，无论门形架 3R位于X轴方向的任何位置，也都平行于架台1的右侧面Ic (即，与Y轴方向平行)， 这样，线性驱动机构4Ra、4Rb总是被位置控制。同样地，在线性轨2a上设有线性驱动机构4La，在线性轨2b上设有线性驱动机 构4Lb。门形架3L跨设在线性轨2a、2b之间，门形架3L的一个端部载置在线性驱动机 构4La上，门形架3L的另一个端部载置在线性驱动机构4Lb上。线性驱动机构4La、4Lb 分别与线性轨2a、2b—起构成线性马达(X轴线性马达)。线性驱动机构4La、4Lb沿着 线性轨2a、2b移动，据此，门形架3L在X轴方向移动。这时，因该移动，无论门形架 3L位于X轴方向的任何位置，也都平行于架台1的左侧面Id(即，与Y轴方向平行)， 这样，线性驱动机构4La、4Lb总是被位置控制。因此，门形架3R和门形架3L总被控制为在Y轴方向延伸的相互平行的状态。在门形架3R的与门形架3L相对侧的面上，沿门形架3R的长度方向(Y轴方向) 配列着多个(这里是3个)涂敷头5Ra、5Rb、5Rc,并且，这些涂敷头可沿门形架3R移 动。同样地，在门形架3L的与门形架3R相对侧的面上，沿门形架3L的长度方向(Y轴 方向)配列着与门形架3R同样个数(这里是3个)的涂敷头5La、5Lb、5Lc,并且，这 些涂敷头可沿门形架3L移动。这里，只对设在门形架3L上的涂敷头5La进行说明。在该涂敷头5La上，设有 收纳有要往基板(未图示)涂敷的浆料的注射器6和用于拍摄由该涂敷头5La涂敷的浆料 的状态的CCD照相机7。另外，虽然未图示，但还设有用于把来自注射器6的浆料喷到 基板上的喷嘴、测定喷嘴与基板之间的间隔的传感器、使喷嘴朝上下方向(Z轴方向)移 动的Z轴驱动机构等。该Z轴驱动机构使注射器、CCD照相机、传感器等与喷嘴一起在 Z轴方向移动。另外，该CCD照相机也与涂敷头5La—起移动。其它涂敷头5Ra 5Rc、5Lb、5Lc的结构与涂敷头5La相同，其说明从略。在架台1的上面lb，在线性轨2a、2b之间，设有用于载置基板(未图示)的基 板载置台8。在该基板载置台8上，虽然未图示，但设有用于把被载置的基板固定在该基 板载置台8上的基板吸附机构。另外，在该基板载置台8上，还设有用于调节被载置的 基板的X、Y轴方向位置的未图示的XY轴方向位置调节机构、修正被载置的基板的θ 轴方向偏差的未图示的θ轴方向修正台。图2是表示图1中的基板搭载台8的一具体例的立体图，8a是上面，8b是左侧面，8c是右侧面，11a、lib是连接部件，12a、12b是槽部，与图1中对应的部分注以相 同标记。在图2中，在基板载置台8的上面8a，在X轴方向相向的左侧面8b侧的边和右 侧面8c侧的边，分别设置了模拟用玻璃基板10a、10b。这些模拟用玻璃基板10a、IOb 在Y轴方向相互平行。这些模拟用玻璃基板10a、IOb的一方端部由连接部件Ila连接， 另一方端部由连接部件lib连接。另外，在基板载置台8的上面8a，从右侧面8b延伸到左侧面8c地、以与2个连 接部件11a、lib的间隔相等的间隔设置了 2个槽部12a、12b。这些槽部12a、12b的横 截面的形状、尺寸与连接部件11a、lib的横截面的形状、尺寸相等。将连接部件Ila嵌入槽部12a，将连接部件lib嵌入槽部12b，据此，用连接部件 11a、lib连接着的模拟用玻璃基板10a、IOb被安装在基板搭载台8的上面8a。这时， 以模拟用玻璃基板IOa沿着上面8a的左侧面8b侧的边地被定位、模拟用玻璃基板IOb沿 着上面8a的右侧面8c侧的边地被定位的方式，将连接部件11a、lib分别嵌入槽部12a、 12b 内。模拟用玻璃基板IOa用于检测设在图1中的门形架3L上的涂敷头5La 5Lc的 XY轴方向的位置偏差。这时，把这些涂敷头5La 5Lc中的任一个涂敷头作为基准涂 敷头(下面，把涂敷头5La作为门形架3L侧的基准涂敷头)，检测涂敷头5Lb、5Lc相 对于该基准涂敷头5La的XY轴方向的位置偏差。在该位置偏差的检测中，用这些涂敷 头5La 5Lc把浆料涂敷在模拟用玻璃基板IOa上，并描绘预定的浆料记号(例如十字记 号)，用设在基准涂敷头5La上的CCD照相机7 (图1)对这些浆料记号进行拍摄，检测 这些浆料记号的中心位置，据此，把这些中心位置的检测位置作为涂敷头5La 5Lc的 位置(更具体地说，是这些喷嘴的浆料喷出口位置)，从这些检测位置能够检测出涂敷头 5Lb、5Lc相对于基准涂敷头5La在XY轴方向的位置偏差。模拟用玻璃基板IOb用于检测设在图1中的门形架3R上的涂敷头5Ra 5Rc的 XY轴方向的位置偏差。这时，与上述同样地，把这些涂敷头5Ra 5RC中的任一个涂 敷头作为基准涂敷头(下面，把涂敷头5Ra作为门形架3R侧的基准涂敷头)，用这些涂 敷头5Ra 5Rc在模拟用玻璃基板IOb上描绘浆料记号，用基准涂敷头5Ra的CCD照相 机对这些浆料记号进行拍摄，检测这些浆料记号的中心位置，从而与上述同样地检测出 涂敷头5Rb、5Rc相对于该基准涂敷头5Ra在XY轴方向的位置偏差。根据上述位置偏差的检测结果，修正门形架3L的涂敷头5La 5Lc的XY轴方 向的位置偏差(即，涂敷头5Lb、5Lc相对于基准涂敷头5La的位置偏差)，这些涂敷头 5La 5Lc的喷嘴的浆料喷出口成为沿Y轴方向以预定间隔配列的状态。同样地，也对门 形架3R的涂敷头5Ra 5Rc修正XY轴方向的位置偏差，据此，这些涂敷头5Ra 5Rc 的喷嘴的浆料喷出口，成为沿Y轴方向以预定间隔配列的状态。在基板载置台8的上面8a的中心位置设有基准位置记号9。该基准位置记号9 用于检测2台门形架3L、3R间的位置偏差。为了修正门形架之间的位置偏差，门形架 3L、3R能分别独立地在X轴方向移动，为了修正该位置偏差，图1中，使门形架3L从现 在的位置朝右方向(X轴方向)移动，并且，使基准涂敷头5La在Y轴方向移动，使得设 在该基准涂敷头5La上的CCD照相机7成为拍摄基准位置记号9的状态。然后，对该基
9准位置记号9进行拍摄，求出其中心位置。移动前的基准涂敷头5La的位置与该基准位 置记号9的检测位置在X轴方向的差，是门形架3L相对于基准位置记号9的位置(到门 形架3L的距离)，根据与预设距离的差，检测出该门形架3L的X轴方向的位置偏差。同样地，对门形架3R，也能够通过使用设在其基准涂敷头5Ra上的CCD照相 机，检测出该门形架3R的X轴方向的位置偏差。然后，用检测出的位置偏差量修正这 些门形架3L、3R的X轴方向的位置偏差。据此，这些门形架3L、3R被位置设定成相对 于基准位置记号9对称的位置(即，以基准位置记号9为中心，在相反侧相互等距离的位 置)，而且，由于该位置距离基准位置记号9是上述的预定距离，所以，门形架3L、3R 之间的间隔是预先决定的距离，作为用门形架3L的涂敷头5La 5Lc描绘的浆料图案、 和用门形架3R的涂敷头5Ra 5Rc描绘的浆料图案在X轴方向的间隔。在图2中，虽然未图示，但是在基板载置台8的上面8a设有多个从真空泵(未 图示)供给负压的吸附孔，据此，如前所述，被载置的基板(未图示)被吸附到上面8a， 不产生位置偏差地被固定住。这里，作为基板载置台8上的基准记号9，可以在基板载置台8上特别地设置， 也可以把这些吸附孔之中的位于基板载置台8的中央位置的吸附孔作为基准记号。基板载置在基板载置台8的上面8a的模拟用玻璃基板10a、IOb之间。在该基 板上的4个角等的预定位置设有位置记号，如上所述，这些由进行了位置偏差修正的预 定涂敷头(例如涂敷头5La、5Lc、5Ra、5Rc)的CCD照相机7拍摄，其中心位置被检测 出来，据此，检测出XY轴方向、θ轴方向的位置偏差，根据该检测出的位置偏差调节 基板载置台8的XY θ轴方向的位置，使基板的各边与XY轴方向平行，并且，把相对 于位置修正后的门形架3L、3R的基板的中心位置设定在与相对于该位置调节前的门形架 3L、3R的基准位置记号9的位置相同的位置。另外，可以把连接部件11a、lib从槽部12a、12b取下，通过将它们取下，可以 用新的模拟用玻璃基板10a、IOb更换位置调节中用过的模拟用玻璃基板10a、10b。图3是表示图1中的涂敷头的一具体例的侧视图(表示局部剖面)，3是门形架 (门形架3L、3R的总称)，5是涂敷头(涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc的总称)，13是 涂敷头安装台，14是Z轴台支承部，14a是连接部，15是Z轴台，16a 16c是线性导引 机构部，17是驱动线圈，18是线性轨，19a、19b是直线排列球，20是马达载置部，21是 X轴驱动马达，22是轴，23是轴承，24是凸轮，25是贯通孔，26是Z轴驱动马达，27 是Z轴驱动部，28是上下移动台，29是光学测距仪，30是喷嘴，31是基板，与图1中对 应的部分注以相同标记。在图3中，对门形架3设有横截面为L字形的涂敷头安装台13。该涂敷头安装 台13覆盖门形架3的上面的一部分和涂敷头5侧的侧面的一部分。在该涂敷头安装台13 的平面状部分的下面侧设有驱动线圈17。该驱动线圈17与设在门形架3的上面并沿其 长度方向(Y轴方向)延伸的线性轨18相向。另外，以夹着该驱动线圈17的方式设有各 规定个数的线性导引机构部16a、16b。这里，图中表示在驱动线圈17的两侧各设有一个 线性导引机构部16a、16b，但实际上各设置了 2个以上。这些线性导引机构部16a、16b 分别备有轮，这些轮为置于门形架3的上面的状态。另外，在该涂敷头安装台13的垂直状部分的门形架3侧的面上，设有线性导引机构部16c，该线性导引机构部16c与线性导引机构部16a、16b是同样的结构。线性导 引机构部16c的轮与门形架3的与涂敷头安装台13相对的侧面相接。如上所述，涂敷头安装台13，通过线性导引机构部16a 16c，可沿着门形架3 在Y轴方向移动地安装着。另外，门形架3上的线性轨18、和与其相向地设在涂敷头安 装台13上的驱动线圈17，构成了用于使涂敷头5沿着门形架3的长度方向在Y轴方向移 动的线性马达(Y轴线性马达)，通过驱动驱动线圈17，涂敷头安装台13沿着门形架3在 Y轴方向移动。在涂敷头安装台13上设有Z轴台支承部14，该Z轴台支承部14在图中的剖面 形状是倒Z字形。该Z轴台支承部14的上侧的平面状部分安装在涂敷头安装台13的上 述平面状部分上，该Z轴台支承部14的垂直状部分安装在涂敷头安装台13的上述垂直状 部分上，该Z轴台支承部14的下侧的平面状部分安装在该垂直状部分的下端部。在该Z轴台支承部14的上侧设有Z轴台15，该Z轴台15在图中的剖面形状同 样是倒Z字形。在该Z轴台15的上侧的平面状部分的下面侧设有配列成直线的多个球 (直线排列球)19a，其上侧的平面状部分夹着该直线排列球19a地配置在Z轴台支承部14 的上侧的平面状部分上，另外，在该Z轴台15的下侧的平面状部分的下面侧设有同样的 直线排列球1%，该下侧的平面状部分夹着该直线排列球19b地配置在Z轴台支承部14的 下侧的平面状部分上。该Z轴台15的垂直状部分与Z轴台支承部14的垂直状部分隔开 一定间隔地配置着。借助上述结构，Z轴台15相对于Z轴台支承部14、乃至门形架3，可在X轴方 向移动。另外，该Z轴台15的X轴方向的移动是为了修正涂敷头5的上述X轴方向的位 置偏差，用于进行该修正的X轴方向的位置调节量以mm为单位。为此，以Z轴台支承 部14的垂直状部分与Z轴台15的垂直状部分通过该位置调节也不碰撞的程度，设置了这 些垂直部分的上述间隔。在Z轴台支承部14上，经由连接部14a设置了马达载置部20。在该马达载置 部20设置了 X轴驱动马达21。据此，该X轴驱动马达21处于配置在Z轴台15的上侧 的状态。该X轴驱动马达21的朝下的旋转轴穿过设在Z轴台15上侧的平面状部分的贯 通孔25，并且与轴承23及轴22连接。轴承23设在Z轴台支承部14的下侧的平面状部 分的侧面。轴22由设在上述马达载置部20上的未图示的轴承可旋转地支承着。另外， 在该轴22上，在与Z轴台15的下侧平面状部分的侧面相向的位置，可与该侧面相接地设 有凸轮24，X轴驱动马达21起动时，轴22旋转，从而该凸轮24也旋转，Z轴台15相 对于Z轴台支承部14在X轴方向移动，其移动的量相当于凸轮24的变位量。另外，贯 通孔25的直径设定为Z轴台15在X轴方向的移动范围内移动时轴22不碰到该贯通孔25 的壁面的大小(另外，该Z轴台15的X轴方向的移动范围是数mm左右)。在Z轴台15的垂直面状部分安装着涂敷头5，通过Z轴台15在X轴方向的移 动，使涂敷头5在X轴方向移动。在各门形架3L、3R侧的基准涂敷头5La、5Ra上，不设置该X轴驱动马达21， 不能相对于门形架3L、3R在X轴方向移动。因此，在基准涂敷头5La、5Ra中，Z轴台 15固定设置在Z轴台支承部14上，涂敷头5安装在该Z轴台15上。在以下说明的结构中，关于基准涂敷头5La、5Ra也是同样。涂敷头5备有Z轴驱动部27和上下移动台28。Z轴驱动部27安装在Z轴台15 的垂直面状部分上，备有Z轴驱动马达26。上下移动台28安装在Z轴驱动部27上，借 助Z轴驱动马达26的驱动，在上下方向即Z轴方向移动。另外，涂敷头5还设有能与该 上下移动台28 —起上下移动的注射器6、CCD照相机7和光学测距仪29等。在注射器6上设有喷嘴30。该喷嘴30从上侧与载置在基板载置台8(图1)上的 基板31相对。通过将压缩气体(氮气、空气等)从外部导入该注射器6内，使收容在该 注射器6内的浆料从该喷嘴30前端的浆料喷出口喷出。另外，光学测距仪29构成间隔测定器，用于测定从喷嘴30的浆料喷出口到基板 31表面的距离(间隔)。根据该光学测距仪29的间隔测定结果，Z轴驱动马达26起动， 据此，上下移动台28上下移动，喷嘴30的浆料喷出口与基板31表面之间的间隔被设定 为规定的间隔。如上所述，涂敷头5安装在门形架3上，通过使驱动线圈17工作，从而使线性 马达工作，可以使涂敷头5(具体地说是喷嘴30)在门形架3的长度方向(Y轴方向)移 动，通过使X轴驱动马达21工作，可以使涂敷头5 (具体地说是喷嘴30)在垂直于门形架 3的长度方向的X轴方向移动，通过使Z轴驱动马达26工作，可以使涂敷头5的喷嘴30 在上下方向(Z轴方向)移动。通常，在组装设置了涂敷装置后的初期状态时、或在更换备有喷嘴30的注射器 6等的维护时，喷嘴30的位置有时偏离规定的位置(将其称为涂敷头5的位置偏差)，为 此，如图1所述，必须调节各涂敷头5的位置偏差，通过把涂敷头5设在相对于门形架3 在X轴方向移动的Z轴台15上，就可以调节涂敷头5的X轴方向的位置偏差。全部的涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc都成为上述结构(但是基准涂敷头5La、 5Ra不备有X轴驱动马达21)。据此，可以分别调节涂敷头5Lb、5Lc相对于基准涂敷头 5La的X轴方向的位置偏差、和涂敷头5Rb、5Rc相对于基准涂敷头5Ra的X轴方向的位 置偏差，可以使这些5La 5Lc、5Ra 5Rc的喷嘴30在Y轴方向配列成一列。图4是表示控制图1和图3中各部动作的控制系统的一具体例的构成框图，32是 主控制部，32a是微机，32b是外部接口，32c是马达控制器，32d是X轴驱动器，32e是 Y轴驱动器，32f是X-X轴驱动器，33是副控制部，33a是微机，33b是外部接口，33c是 马达控制器，33d是Z轴驱动器，33e是X轴驱动器，34是键盘，35是显示装置，36是 外部存储装置，37是图像处理装置，38是图像监视器，39是X轴线性马达，40是Y轴 线性马达，与前述附图中对应的部分注以相同标记，其重复说明从略。如图4所示，在该实施方式中，备有连动地动作的主控制部32和副控制部33。 主控制部32驱动控制用于使门形架3L、3R在X轴方向移动的X轴线性马达39、使设 在这些门形架3L、3R上的涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc沿门形架3L、3R的长度方向 在Y轴方向移动的Y轴线性马达40、和使除基准涂敷头5La、5Ra以外的涂敷头5Lb、 5Lc、5Rb、5Rc的图3所示喷嘴30在X轴方向移动(下面将其称为使涂敷头在X轴方向 移动)的X轴驱动马达21。这里，X轴线性马达39，在图1中，对于门形架3L，是由 线性轨2a和驱动线圈构成的线性驱动机构4La、由线性轨2b和驱动线圈构成的线性驱动 机构4Lb，对于门形架3R，是由线性轨2a和驱动线圈构成的线性驱动机构4Ra、由线性
12轨2b和驱动线圈构成的线性驱动机构4Rb。Y轴线性马达40，在图3中，是由各涂敷头 5La 5Lc、5Ra 5Rc中的驱动线圈17和线性轨18构成的线性马达。副控制部33驱 动控制使各涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc的图3所示喷嘴30在Z轴方向移动的Z轴驱 动马达26。在主控制部32设有微机32a、外部接口 32b和马达控制器32c。微机32a备有 未图示的主计算部、ROM、RAM和输入输出部等。ROM存储了用于进行浆料涂敷描绘 的处理程序。RAM存储主计算部的处理结果、从外部接口 32b或马达控制器32c输入的 数据。输入输出部与外部接口 32b、马达控制器32c进行数据的交换。该微机32a经由外部接口 32b连接着键盘34、显示装置35。键盘34用于对存储 在上述存储器内的数据、程序等进行修正等。显示装置35可显示存储在微机32a的存储 器内的数据、程序，可从键盘34输入修正它们的数据。另外，可从键盘34输入浆料图 案的描绘数据等，这些输入数据由显示装置35显示，同时也存储在外部存储装置36内。另外，微机32a经由外部接口 32b还连接着外部存储装置36、图像处理装置37。 该图像处理装置37处理来自CCD照相机7的拍摄数据，并且处理供给到图像监视器38 的图像数据。CCD照相机7对模拟用玻璃基板10a、IOb上的浆料记号、基板载置台8 上的基准位置记号9(图1、图2)、基板31上的位置记号等进行拍摄，所得到的图像数据 被图像处理装置37处理后，由图像监视器38显示，同时，经由外部接口 32b供给到微机 32a。在微机32a中，其处理结果作为控制数据，被供给到马达控制器32c，据此，进行 用于修正门形架3L、3R的X轴方向的位置偏差、涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc的X、 Y轴方向的位置偏差(即，涂敷头5Lb、5Lc、5Rb、5Rc相对于基准涂敷头5La、5Ra的 X、Y轴方向的位置偏差)等的各部的控制。马达控制器32c驱动X轴驱动器32d、Y轴驱动器32e、X_X轴驱动器32f。修 正门形架3L、3R的X轴方向的位置偏差时，由基准涂敷头5La、5Ra的CCD照相机7拍 摄基板载置台8的基准位置记号9(图1、图2)，得到的图像数据被图像处理装置37处理 后，供给到微机32a，在这里处理后，被供给到马达控制器32c。马达控制器32c根据该 处理后的图像数据控制X轴驱动器32d，控制驱动X轴线性马达39，这样，调节门形架 3L、3R的X轴方向的位置偏差。另外，修正涂敷头5Lb、5Lc、5Rb、5Rc相对于基准涂 敷头5La、5Ra的Y轴方向的位置偏差时，由基准涂敷头5La、5Ra的CCD照相机7拍摄 形成于模拟用玻璃基板10a、IOb上的浆料记号，得到的图像数据被图像处理装置37处理 后，供给到微机32a，在这里处理后，被供给到马达控制器32c。马达控制器32c根据该 处理后的图像数据控制Y轴驱动器32e，控制驱动Y轴线性马达40，这样，调节涂敷头 5Lb、5Lc、5Rb、5Rc相对于基准涂敷头5La、5Ra的Y轴方向的位置偏差。另外，修正 涂敷头5Lb、5Lc、5Rb、5Rc相对于基准涂敷头5La、5Ra的X轴方向的位置偏差时，如 上所述，拍摄形成在模拟用玻璃基板10a、IOb上的浆料记号、由图像处理装置37和微机 32a处理后的图像数据被供给到微机32c，这样，马达控制器32c根据该处理后的图像数 据控制X-X轴驱动器32f，控制驱动涂敷头5Lb、5Lc、5Rb、5Rc的X轴驱动马达21， 这样，调节涂敷头5Lb、5Lc、5Rb、5Rc相对于基准涂敷头5La、5Ra的X轴方向的位置 偏差。另外，基板31载置在基板载置台8上时，在微机32a的控制下，如上所述，进
13行该基板31的XY θ方向的位置调节，其机构的说明从略。另外，在基板上描绘浆料图案时，微机32a取入存储在外部存储装置36内的浆 料图案的描绘数据，将其处理后供给到马达控制器32c。马达控制器32c根据该描绘数据 驱动X轴驱动器32d和Y轴驱动器32e，控制X轴线性马达39，使门形架3L、3R动作， 控制Y轴线性马达40，使涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc动作，从而在基板上描绘所需 的浆料图案。这时，利用气压控制系统，控制导入涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc的注射器6 内的压缩气体，进行从喷嘴30喷出浆料的控制，关于这一点的说明从略。副控制部33驱动控制Z轴驱动马达26，使涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc上下 (Ζ轴方向)移动，使这些涂敷头5的喷嘴30的前端距基板31的表面的高度成为预定的 高度。副控制部33的微机33a经由外部接口 33b用通信电缆与主控制部32的外部接口 32b连接，这样，副控制部33与主控制部32协同动作。另外，微机33a经由外部接口 33b与光学测距仪29连接，并且，与对驱动涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc的Z轴驱动马 达26的Z轴驱动器33d进行控制的马达控制器33c连接。如上所述，修正涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc的X轴方向的位置偏差时，用基 准涂敷头5La、5Ra的CCD照相机7对由涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc在模拟用玻璃基 板10a、IOb上形成的浆料记号进行拍摄而得到、并由图像处理装置37和主控制部32的 微机32a处理后的图像数据，被供给到马达控制器32c。马达控制器32c根据该被供给 的图像数据控制X-X轴驱动器32f，驱动控制X轴驱动马达21，修正涂敷头5Lb、5Lc、 5Rb、5Rc相对于基准涂敷头5La、5Ra的X轴方向的位置偏差。另外，对载置在基板载置台8上的基板31描绘浆料图案时，由光学测距仪29检 测出的涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc的喷嘴30与基板31表面之间的间隔的数据，经由 外部接口 33b被供给到微机33a，在这里被处理后，被供给到马达控制器33c。马达控制 器33c根据该供给来的数据控制Z轴驱动器32d，驱动控制Z轴驱动马达26，使涂敷头 5La 5Lc、5Ra 5Rc在Z轴方向移动，把喷嘴30与基板31表面之间的间隔控制为规 定的间隔。另外，在线性马达39、40、驱动马达21、26上分别设有用于检测移动量、旋转 的编码器，其说明从略。这样，借助由主控制部32和副控制部33构成的控制系统的控制，进行涂敷头 5La 5Lc、5Ra 5Rc的XY轴方向的位置偏差的修正、门形架3L、3R的X轴方向的
位置偏差的修正等。图5是表示图1中的门形架3L、3R和涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc的位置偏 差修正(对位)顺序的一具体例的流程图。下面，参照图1 图4，说明该顺序。图5 中，“涂敷头5”是全部涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc的总称，“涂敷头5L”是涂敷 头5La 5Lc的总称，“涂敷头5R”是涂敷头5Ra 5Rc的总称。在图5中，门形架3L、3R处于收纳状态时，涂敷头5La 5Lc的喷嘴30较之 基板载置台8的模拟用玻璃基板IOa位于基板载置台8的相反侧的位置(即，喷嘴30位 于偏离模拟用玻璃基板IOa的位置)(下面把该位置称为门形架3L的收纳位置)，涂敷头 5Ra 5Rc的喷嘴30同样地较之基板载置台8的模拟用玻璃基板IOb位于基板载置台8的相反侧的位置(即，喷嘴30位于偏离模拟用玻璃基板IOb的位置)(下面把该位置称为 门形架3R的收纳位置)。这样，门形架3L、3R处于收纳状态时，在基板载置台8上， 可进行模拟用玻璃基板10a、IOb的安装、卸下。在该收纳状态下，驱动X轴线性马达39，门形架3L朝基板载置台8的方向 (即，X轴方向)移动预先设定的规定距离，这样，各涂敷头5La 5Lc的喷嘴30向模 拟用玻璃基板IOa的正上方移动，涂敷头5La 5Lc被定位在这时的位置(下面，把该位 置称为门形架3L的临时待机位置)。同样地，门形架3R朝基板载置台8的方向(即， X轴方向)移动预先设定的规定距离，这样，各涂敷头5Ra 5Rc的喷嘴30向模拟用玻 璃基板IOb的正上方移动，涂敷头5Ra 5Rc被定位在这时的位置(下面，把该位置称为 门形架3R的临时待机位置)。这些待机位置的数据保存在微机32a的存储器内。然后，在各涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc中，根据光学测距仪29的测定结果 驱动Z轴驱动马达26，这样，涂敷头5La 5Lc的喷嘴30距离模拟用玻璃基板IOa的高 度、和涂敷头5Ra 5Rc的喷嘴30距离模拟用玻璃基板IOb的高度，被设定为完全相等 的规定高度。然后，驱动门形架3L、3R的X轴线性马达39和涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc的Y轴线性马达40，这样，涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc在XY轴方向移动，与此 同时，压缩气体被送入注射器6，因此，从各喷嘴30的喷出口喷出浆料。这样，门形架 3L侧的每个涂敷头5La 5Lc，在基板载置台8的一侧的模拟用玻璃基板IOa上，描绘 出可检测中心位置的、例如十字形的浆料记号，门形架3R侧的每个涂敷头5Ra 5Rc， 在基板载置台8的另一侧的模拟用玻璃基板IOb上，描绘出同样形状的浆料记号(步骤 100)。接着，门形架3L返回上述的临时待机位置，用设在该门形架3L侧的涂敷头 5La 5Lc中的任一个、例如设在基准涂敷头5La上的CCD照相机7，对由该基准涂敷 头5La描绘在模拟用玻璃基板IOa上的浆料记号进行拍摄，其图像数据经过图像处理装置 37处理后，检测出其中心点位置，该中心点位置的数据作为L侧头基准中心点位置的数 据，经由外部接口 32b被供给到微机32a，收纳保存在其存储器内。同样地，门形架3R 返回上述的临时待机位置，用设在该门形架3R侧的涂敷头5Ra 5Rc中的任一个、例如 设在基准涂敷头5Ra上的CCD照相机7，对由该基准涂敷头5Ra描绘在模拟用玻璃基板 IOb上的浆料记号进行拍摄，其图像数据经过图像处理装置37处理后，检测出其中心点 位置，该中心点位置的数据作为R侧头基准中心点位置的数据，经由外部接口 32b被供给 到微机32a，收纳保存在其存储器内(步骤101)。接着，在门形架3L侧，除基准涂敷头5La以外的涂敷头5Lb、5Lc沿着门形架 3L向基准涂敷头5La的相反侧移动、靠近门形架3L的端部，基准涂敷头5La沿着门形架 3L移动，这样，用设在该基准涂敷头5La上的CCD照相机7，对由涂敷头5Lb、5Lc描 绘在模拟用玻璃基板IOa上的各个浆料记号依次拍摄，这些图像数据被图像处理装置37 处理后，检测出它们的中心点位置，再对每个涂敷头5Lb、5Lc求出与已求出并保存的基 准涂敷头5La的L侧头基准中心位置的X轴方向的位置误差量△ X^和Y轴方向的位置误 差量Δ Yy把这些X轴方向的位置误差量Δ X^及Y轴方向的位置误差量Δ Y^的数据， 经由外部接口 32b供给到微机32a，收纳保存在其存储器内。同样地，在门形架3R侧， 除基准涂敷头5Ra以外的涂敷头5Rb、5Rc沿着门形架3R向基准涂敷头5Ra的相反侧移动、靠近门形架3R的端部，基准涂敷头5Ra沿着门形架3R移动，这样，用设在该基准 涂敷头5Ra上的CCD照相机7，对由涂敷头5Rb、5Rc描绘在模拟用玻璃基板IOb上的各 个浆料记号依次拍摄，这些图像数据被图像处理装置37处理后，检测出它们的中心点位 置，再对每个涂敷头5Rb、5Rc求出与已求出并保存的基准涂敷头5Ra的R侧头基准中心 位置的X轴方向的位置误差量Δ Xr及Y轴方向的位置误差量ΔΥΚ，把这些X轴方向的 位置误差量Δ Xr及Y轴方向的位置误差量数据，经由外部接口 32b供给到微机 32a,收纳保存在其存储器内(步骤102)。由此，分别检测出门形架3L的涂敷头5Lb、5Lc相对于基准涂敷头5La的X轴 方向的位置偏差和Y轴方向的位置偏差，以及门形架3R的涂敷头5Rb、5Rc相对于基准 涂敷头5Ra的X轴方向的位置偏差和Y轴方向的位置偏差，这些检测结果，保存在微机 32a的存储器内。接着，使基准涂敷头5La在Y轴方向移动，使门形架3L在X轴方向移动，使基 准涂敷头5La的喷嘴30与模拟用玻璃基板IOa上的由该基准涂敷头5La描绘的浆料记号 的中心点位置一致地、设定在L侧头基准中心位置，把这时的门形架3L的位置(临时待 机位置)作为该门形架3L的基准位置。同样地，使基准涂敷头5Ra在Y轴方向移动，使 门形架3R在X轴方向移动，使基准涂敷头5Ra的喷嘴30与模拟用玻璃基板IOb上的由 该基准涂敷头5Ra描绘的浆料记号的中心点位置一致地、设定在R侧头基准中心位置， 把这时的门形架3R的位置(临时待机位置)作为该门形架3R的基准位置。然后，使门形架3L从该基准位置在X轴方向(即，基板载置台8的基准位置记 号9的方向)移动，同时，使基准涂敷头5La从该L侧头基准中心位置在Y轴方向移动， 从而成为能用该基准涂敷头5La的CCD照相机7对该基准位置记号9拍摄的状态。该 CCD照相机7拍摄获得的图像数据被供给图像处理装置37、进行了处理后，该处理结果 被供给到微机32a。在微机32a，根据该处理结果检测出基准位置记号9的图像数据时， 计算出门形架3L从上述临时待机位置移动到基准位置记号9的移动距离，再计算该移动 距离与预定的设定移动距离(为了对基板描绘浆料图案，从门形架3L待机的待机位置到 基准位置记号9的X轴方向的距离)的误差，作为门形架3L的与设定移动距离的X轴方 向的位置偏差量，存入微机32a的存储器内(步骤103)。另外，CCD照相机7的摄像范围是以喷嘴30为中心的范围，基准位置记号9存 在于该摄像范围内的状态时，可求出该基准位置记号9与喷嘴301的位置关系。因此， CCD照相机7成为对该基准位置记号9拍摄的状态，据此，可求出基准位置记号9与喷嘴 301之间的X轴方向的距离，将其作为修正距离，修正从临时待机位置到该状态的基准涂 敷头5La的X轴方向的移动距离，这样，可以求出基准涂敷头5La到基准位置记号9的 X轴方向的移动距离，因此，可求出门形架3L从临时待机位置到基准位置记号9的X轴 方向的移动距离。上述对于门形架3R也同样，使用基准涂敷头5Ra而算出该门形架3R从临时待机 位置到基准位置记号9的移动距离，再算出距设定移动距离(为了对基板描绘浆料图案， 从门形架3R待机的待机位置到基准位置记号9的X轴方向的距离)的X轴方向的位置偏 差，存入微机32a的存储器内(步骤104)。如上所述，对每个门形架3L、3R，把从临时待机位置到为了描绘浆料图案而待
16机的待机位置的X轴方向距离，作为X轴方向的位置偏差量。接着，根据在步骤102求出的门形架3L的涂敷头5Lb、5Lc的X轴方向的位置 误差量Δ X^及Y轴方向的位置误差量Δ Yy求出这些涂敷头5Lb、5Lc的X轴方向和Y 轴方向的位置数据。同样地，根据在步骤102求出的门形架3R的涂敷头5Rb、5Rc的X 轴方向的位置误差量Δ Xr及Y轴方向的位置误差量Δ YR，求出这些涂敷头5Rb、5Rc的 X轴方向和Y轴方向的位置数据(步骤105)。然后，根据求出的位置数据，在门形架3L中，设定X轴方向的涂敷头5Lb、 5Lc相对于基准涂敷头5La的位置，同时，设定Y轴方向的位置(涂敷头5La 5Lc的间 隔)。这样，在门形架3L上，涂敷头5La 5Lc在Y轴方向以预定的间隔配列，同时， 它们的喷嘴30沿X轴配列成一直线。同样地，根据上述求出的位置数据，在门形架3R 中，设定X轴方向的涂敷头5Rb、5Rc相对于基准涂敷头5Ra的位置，同时，设定Y轴方 向的位置(涂敷头5Ra 5Rc的间隔)。这样，在门形架3R上，涂敷头5Ra 5Rc在 Y轴方向以预定的间隔配列，同时，它们的喷嘴30沿X轴配列成一直线(步骤106)。另外，使门形架3L、3R返回到上述临时待机位置，根据在步骤103求出的、门 形架3L相对于设定移动距离在X轴方向的位置偏差量，从临时待机位置调节门形架3L 的位置。这样，门形架3L被设定在上述待机位置。同样地，对门形架3R，根据在步骤 104求出的门形架3R相对于设定移动距离在X轴方向的位置偏差量，从临时待机位置调 节门形架3R的位置。这样，门形架3R被设定在上述待机位置(步骤107)。这样，门形架3L、3R相对于基板载置台8的基准位置记号9相互在相反侧，被 设定在离开该基准位置记号预定距离的待机位置，与此同时，在门形架3L上，成为涂敷 头5La 5Lc以预定间隔且沿X轴配列成一直线的状态，在门形架3R上也同样地，成为 涂敷头5Ra 5Rc以预定间隔且沿X轴配列成一直线的状态。该状态是基板31载置到基板载置台8上之前的状态，当基板31载置到基板载置 台8上，其ΧΥΘ轴方向的偏差被调节时，门形架3L、3R在X轴方向移动，被设定在浆 料图案的描绘动作开始位置，对每个涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc进行浆料喷出压力、 喷嘴30相对于基板31的高度等的初始设定。然后，由每个涂敷头5La 5Lc、5Ra 5Rc在基板31上描绘规定的浆料图案。如上所述，在该实施方式中，涂敷头(喷嘴)的对位调节(在沿X轴的一直线上 对齐)采用设在基板载置台8上的模拟用玻璃基板10a、IOb进行，门形架3L、3R的对位 调节采用预先设在基板载置台8上的基准位置记号9进行，所以，在该调节中，不必把虚 设的玻璃基板搭载在基板载置台8上。另外，在门形架上的涂敷头之间的位置偏差修正中，把该涂敷头中的一个作为 基准涂敷头，修正其它的涂敷头相对于该基准涂敷头的位置偏差，进行对位，所以，可 以在短时间内进行对位。另外，各涂敷头上的喷嘴、注射器、CCD照相机等在门形架移动方向的X轴方 向也可以移动，所以，可更加正确地进行该涂敷头的定位。如上所述，在该实施方式中，可以简单且在短时间内进行涂敷头的喷嘴间的校 正、门形架间的校正，并且也可降低校正的误差。另外，在上述实施方式中，对上述基准涂敷头，不设置X轴方向的移动机构，在X轴方向是固定状态，所以，可减少零部件数量。
权利要求
1.一种涂敷装置，在基台上设置能在第1方向移动的多个门形架，在每个门形架上设 置能在沿着该门形架的长度方向的第2方向移动的多个涂敷头，利用该门形架朝第1方向 的移动和该涂敷头相对于该门形架朝该第2方向的移动，该涂敷头一边在该第1、第2方 向移动，一边对载置在基板载置台的基板上涂敷浆料，由每个该涂敷头在该基板上描绘 浆料图案，该基板载置台设在架台上，其特征在于，该涂敷头分别备有照相机；在该基板载置台上，对每个该门形架设置用于对设在该门形架上的多个该涂敷头进 行对位的模拟用玻璃基板，并且，设置多个该门形架对位用的基准位置记号；在该模拟用玻璃基板上，由同一该门形架上的多个该涂敷头涂敷浆料，描绘浆料记号；该涂敷装置备有第1机构和第2机构；上述第1机构，通过用该照相机对描绘在该模拟用玻璃基板上的该浆料记号进行拍 摄、检测出该浆料记号的描绘位置，从而检测出该门形架上的多个该涂敷头间的位置偏 差，根据检测出的该位置偏差，进行多个该涂敷头相互间的对位；上述第2机构，通过使多个该门形架分别在该第1方向移动到该基板载置台上的该基 准位置记号被该照相机拍摄的位置，检测出该各个门形架移动到该基准位置记号的位置 的移动距离，对该门形架的每一个检测相对于用于描绘浆料图案而预定的待机位置在该 第1方向的位置偏差，根据检测出的该位置偏差，将该门形架的每一个对位到该待机位 置。
2.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，上述基准位置记号是设在上述基板载 置台的中央部附近的基板保持用的吸附孔。
3.如权利要求1或2所述的涂敷装置，其特征在于，上述涂敷头能在上述门形架移动 的上述第1方向移动，能进行上述第1方向的对位。
4.如权利要求3所述的涂敷装置，其特征在于，对上述门形架的每一个，把设在上述门形架上的多个上述涂敷头中的一个作为基准 涂敷头；该基准涂敷头相对于上述第1方向位置固定，除该基准涂敷头以外的上述涂敷头能 在上述第1方向移动；除该基准涂敷头以外的上述涂敷头相对于该基准涂敷头能进行上述第1方向的对位。
5.—种涂敷装置的涂敷位置修正方法，在该涂敷装置中，在基台上设有能在第1方向 移动的多个门形架，在每个门形架上设置能在沿着该门形架的长度方向的第2方向移动 的多个涂敷头，利用该门形架朝第1方向的移动和该涂敷头相对于该门形架朝该第2方向 的移动，使得该涂敷头一边在第1、第2方向移动，一边对载置在基板载置台上的基板上 涂敷浆料，由每个该涂敷头在该基板上描绘浆料图案，该基板载置台设在该架台上；该 方法的特征在于，对每个该门形架，在该基板载置台上设置模拟用玻璃基板；在该模拟用玻璃基板上，由设在与其对应的该门形架上的该多个涂敷头的每一个描 绘浆料记号，用照相机对描绘的各该浆料记号进行拍摄，检测其位置，从而检测出多个 该涂敷头相互间的位置偏差，根据检测出的该位置偏差，进行多个该涂敷头的对位；在该基板载置台上设置基准位置记号；使多个该门形架分别移动到该基准位置记号的位置，对多个该门形架的每一个，检 测该门形架的预定的待机位置相对于该基准位置记号在该第1方向的位置偏差，根据检 测出的该位置偏差，将多个该门形架对位在该待机位置。
6.如权利要求5所述的涂敷装置的涂敷位置修正方法，其特征在于，上述基准位置记 号是设在上述基板载置台的中央部附近的基板保持用的吸附孔。
7.如权利要求5或6所述的涂敷装置的涂敷位置修正方法，其特征在于，上述涂敷头 能在上述门形架移动的上述第1方向移动，能进行上述第1方向的对位。
8.如权利要求7所述的涂敷装置的涂敷位置修正方法，其特征在于，对上述门形架的每一个，把设在上述门形架上的多个上述涂敷头中的一个作为基准 涂敷头；该基准涂敷头相对于上述第1方向位置固定，除该基准涂敷头以外的上述涂敷头能 在上述第1方向移动；除该基准涂敷头以外的上述涂敷头相对于该基准涂敷头能进行上述第1方向的对位。
全文摘要
本发明涉及涂敷装置及其涂敷位置修正方法，修正门形架、其涂敷头的位置偏差。在基台(1)上分别设有跨越基板载置台(8)的可在X轴方向移动的门形架(3L、3R)，在各门形架上设有可在Y轴方向移动的涂敷头(5La～5Lc、5Ra～5Rc)。在基板载置台(8)的门形架(3L、3R)侧分别设有模拟用玻璃基板(10a、10b)，由门形架(3L、3R)的涂敷头(5La～5Lc、5Ra～5Rc)在模拟用玻璃基板(10a、10b)上描绘浆料记号，根据这些记号的位置检测出涂敷头(5La～5Lc)间的、涂敷头(5Ra～5Rc)间的XY轴方向的位置偏差。在基板载置台(8)中央部设置基准位置记号(9)，通过检测门形架(3L、3R)朝该基准位置记号(9)的移动距离，检测出这些门形架的X轴方向的位置偏差。
文档编号B05B13/04GK102019254SQ20101026116
公开日2011年4月20日 申请日期2010年8月19日 优先权日2009年9月10日
发明者圆山勇, 小菅忠男, 川北英之, 渡边健, 石丸康治 申请人:株式会社日立工业设备技术