专利名称：片材涂敷装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及向纸、塑料、布、金属箔及由它们的层叠体构成的薄板或薄膜(以下，称为片材)的一面上涂敷涂敷液的片材涂敷装置。
背景技术：
作为以往的片材涂敷装置，提出了在间歇搬运的停止期间，将片材吸附固定在吸附平台上，在缝模的喷出口与片材的上表面之间保持规定的涂敷间隙，使用馈送机构向缝模供给涂敷液并驱动喷嘴水平移动机构而使缝模沿着搬运方向移动，由此在片材W的上表面形成涂敷膜的方案(例如，参照专利文献I)。缝模在其下端具有狭缝状的喷出口，以喷出口的长度方向取向为与片材的搬运方向正交的方向(片材的宽度方向)的方式配置。缝模的喷出口的长度通常设定为比片材的宽度短的长度。在这样 的片材涂敷装置中，即使是具有挠性的片材，也将片材稳定地吸附固定在具有硬的水平面的吸附平台上而进行涂敷，因此容易得到均一的涂敷膜厚，适合于隔着非涂敷部而间歇地形成涂敷膜的间歇涂敷。在要求厚度的涂敷膜中，在利用I次的涂敷的话而涂敷膜厚不足时，需要反复涂敷2次、3次。而且，在进行将不同种涂敷膜形成为多层的多层涂敷时也同样。在先技术文献专利文献专利文献I日本特开2009-45565号公报由于在搬运机构设置片材的卷状物的作业是手动作业，因此难以得到片材的宽度方向两端位置的再现性。而且，片材的各卷状物也存在尺寸公差。这样的话，在片材的宽度方向上，缝模的喷出口的相对于片材的涂敷面的相对位置(以下，也称为涂敷位置)有时会产生偏移。缝模的喷出口的长度比片材的宽度短，因此在对一个片材的卷状物仅涂敷一层的一层涂敷时，只要该涂敷位置的偏移小，就不那么成为问题。然而，在进行重复涂敷、多层涂敷时，需要使缝模的喷出口高精度地重合在已经形成于片材上的涂敷膜上，因此若涂敷位置产生偏移，则难以高成品率地得到均一的涂敷膜。需要说明的是，在进行重复涂敷或多层涂敷时，涂敷位置的偏移在片材的搬运方向上也会产生。
发明内容
本发明鉴于上述现有的课题而作出，其目的在于提供一种在涂敷开始前对涂敷位置进行调整，由此能够高成品率地在片材上形成涂敷膜的片材涂敷装置。本发明的片材涂敷装置具备搬运机构、吸附平台、吸附力产生机构、喷嘴、馈送机构、第一喷嘴水平移动机构、第二喷嘴水平移动机构及片材升降机构。所述搬运机构以形成水平的搬运面的方式对长条的片材进行间歇搬运。所述吸附平台配置在所述搬运面的下方并吸附固定所述片材。所述吸附力产生机构使所述吸附平台的上表面产生吸附力。所述喷嘴配置在所述搬运面的上方，具有与所述片材的上表面之间维持规定的涂敷间隙的喷出口，并从该喷出口喷出涂敷液。所述馈送机构向所述喷嘴馈送涂敷液。所述第一喷嘴水平移动机构构成为能够使所述喷嘴沿着所述片材的搬运方向进行水平移动。所述第二喷嘴水平移动机构构成为能够使所述喷嘴沿着与所述片材的搬运方向正交的方向进行水平移动。所述片材升降机构构成为能够使所述片材在所述搬运面与所述吸附平台之间升降。根据该结构，在片材的间歇搬运的停止期间，驱动第一喷嘴水平移动机构及第二喷嘴水平移动机构而使喷嘴沿着片材的搬运方向及与所述片材的搬运方向正交的方向移动，由此能够进行涂敷位置的调整。然后，驱动片材升降机构而使片材下降，利用吸附力产生机构在吸附平台上吸附固定片材，由此形成水平的涂敷面。通过馈送机构向喷嘴供给涂敷液，从与片材的上表面之间维持规定的涂敷间隙的喷嘴的喷出口喷出涂敷液而制成液珠，使第一喷嘴水平移动机构沿着片材的搬运方向进行扫描，由此液珠追随喷嘴而在涂敷面上形成涂敷膜。在涂敷位置的调整中利用涂敷位置检测传感器及涂敷位置控制部。所述涂敷位置检测传感器检测所述片材的边缘或已经形成在所述片材的上表面上的涂敷膜的边缘。所述涂敷位置控制部基于所述涂敷位置检测传感器的检测结果，分别控制所述搬运机构、所述第一喷嘴水平移动机构及所述第二喷嘴水平移动机构的驱动，以调整所述喷嘴的初始位置。在这样的片材涂敷装置中，涂敷间隙的再现性会对涂敷膜厚的成品率造成巨大的影响。在本发明中，在形成涂敷面时，不使吸附平台上升，而吸附平台不动，利用片材升降机构使片材下降，因此不用担心吸附平台的上升量的误差，能够再现性良好地形成规定的涂敷间隙。另外，为了形成平滑且均一的搬运面，在将片材吸附固定于吸附平台时，需要防止在片材产生褶皱或者在片材与吸附平台之间产生空气滞留。因此，所述片材升降机构具备第一片材支承构件、第二片材支承构件、第一片材支承构件升降机构、第二片材支承构件升降机构及片材升降控制部。而且，所述吸附力产生机构具有片材吸附力控制部。所述第一片材支承构件在所述片材的搬运方向上能够升降地配置在所述吸附平台的上游侧，并支承片材。所述第二片材支承构件在所述片材的搬运方向上能够升降地配置在所述吸附平台的下游侧，并支承所述片材。所述第一片材支承构件升降机构使所述第一片材支承构件升降。所述第二片材支承构件升降机构使所述第二片材支承构件升降。片材升降控制部以时间差分别控制所述第一片材支承构件升降机构及所述第二片材支承构件升降机构的驱动，以使位于所述吸附平台的上方的所述片材从该片材的搬运方向的上游侧向下游侧逐渐下降。所述片材吸附控制部使多个吸附区域沿着所述片材的搬运方向阶段性且追加性地动作。多个吸附区域是在所述吸附平台上沿着所述片材的搬运方向分割的区域。另外，在仅利用片材的张力控制的话不能进行吸附的厚度厚的片材、或容易产生褶皱的具有伸缩性的片材中，可以作用从上方按压片材的强制力。因此，本发明的片材涂敷装置还具备使从所述片材的上方附加与正交于所述片材的搬运方向的方向平行的线性压力的构件沿着所述片材的搬运方向进行扫描的机构。附加所述线性压力的构件可以使用与所述片材的上表面抵接且由沿着与所述片材的搬运方向正交的方向取向的轴支承为旋转自如的辊。或者附加所述线性压力的构件可以是空气喷出喷嘴，该空气喷出喷嘴具有在与所述片材的上表面之间保持间隙的喷出口。这种情况下，为了能够使空气的喷出方向可变，还可以进而具备使所述空气喷出喷嘴沿着所述片材的搬运方向摆动的机构。根据本发明，能够在涂敷开始前调整喷嘴的相对于片材的涂敷面的相对的位置。因此，能够在片材上高成品率地形成涂敷膜。
图1是表示本发明的实施方式的片材涂敷装置的简要结构图。图2是表示该片材涂敷装置的喷嘴移动机构的简要结构图。图3是表示该片材涂敷装置的喷嘴移动机构的另一实施方式的简要结构图。图4是表示该片材涂敷装置的喷嘴移动机构的又一实施方式的简要结构图。图5是表示该片材涂敷装置的涂敷位置控制系统的框图。图6是表示该片材涂敷装置的涂敷位置控制例的流程图。图7是表示基于涂敷位置检测传感器的检测位置的一例的片材的俯视图。图8 (A) (E)是说明基于片材升降控制部及片材吸附控制部的控制例的片材涂敷装置主要部分的简要侧视图。图9 (A) (E)是说明按压辊的动作的片材涂敷装置主要部分的简要侧视图。图10 (ΑΓ (E)是说明空气喷出喷嘴的动作的片材涂敷装置主要部分的简要侧视图。图11是说明使空气喷出喷嘴摆动的机构的片材涂敷装置主要部分的简要侧视图。标号说明I…片材涂敷装置10…搬运机构13…吸附平台131…第一吸附区域132…第二吸附区域133…第三吸附区域14…喷嘴15…馈送机构16…喷嘴升降机构17…第一喷嘴水平移动机构18…第二喷嘴水平移动机构20…第一片材支承辊21…第二片材支承辊22…第一片材支承辊升降机构23…第二片材支承辊升降机构24… 架台
25…工作台26…滑块27…涂敷位置控制部28…按压辊29…空气喷出喷嘴30…前处理装置40…后处理装置50…喷嘴管理单元63…浮动辊机构64…夹紧装置65…第一涂敷位置检测传感器66…第二涂敷位置检测传感器W…片材P…涂敷面T…搬运面
具体实施例方式图1是表示本发明的实施方式的片材涂敷装置的简要结构图。本发明的片材涂敷装置I例如图1所示，可以作为如下涂敷装置被使用:将片材W从放卷部301放卷，在前处理工序中进行片材W的清洗/除尘/表面改性等，然后，在涂敷工序中向片材W上涂敷涂敷液，然后，进行干燥/冷却等的后处理工序，之后，通过收卷机构的收卷部302卷绕片材W那样的以辊对辊的间歇输送进行搬运的装置。因此，如图1所示，本发明 的涂敷装置I具备搬运机构10、吸附平台13、吸附力产生机构(未图示)、喷嘴14、馈送机构15、喷嘴升降机构16、第一喷嘴水平移动机构17、第二喷嘴水平移动机构18、涂敷位置检测传感器65、66、第一片材支承辊20、第二片材支承辊21、第一片材支承辊升降机构22、及第二片材支承辊升降机构23作为主要的结构。另外，片材涂敷装置I不是本发明必须的结构，但作为次要的结构，具备前处理装置30、后处理装置40及喷嘴管理单元50。前处理装置30在片材W的搬运方向上，配置在片材涂敷装置I的进行涂敷工序的主要部分的上游侧。前处理装置30对于进行涂敷工序之前的片材W的涂敷面实施前处理。例如，进行清洗/除尘/表面改性。后处理装置40在片材W的搬运方向上，配置在片材涂敷装置I的进行涂敷工序的主要部分的下游侧。后处理装置40对于进行了涂敷工序之后的片材W实施后处理。例如，进行干燥/冷却。喷嘴管理单元50为了确保薄膜/低粘度涂敷、间歇涂敷的涂敷膜开始部及涂敷膜结束部的膜厚精度而设置。喷嘴管理单元50作为一例而具备底涂辊、喷嘴前端清洗装置及浸溃槽(均未图示)。从喷嘴14的喷出口向旋转的底涂辊的表面涂敷涂敷液，由此进行喷嘴14的喷出口的液量调整。喷嘴清洗装置对喷嘴14的喷出口的污垢进行自动清扫。在装置长期停止时、故障引起的装置停止时、维护时等，若在未将涂敷液向喷嘴14供给的状态下放置，则喷嘴14的喷出口干燥而涂敷液凝固，会产生涂敷不良或者需要喷嘴的分解清扫。由此，向浸溃槽放入涂敷液或清洗液，浸溃喷嘴14前端部或者使喷嘴14接近液体上表面位置，由此能够防止干燥。搬运机构10具备放卷部11及收卷部12。放卷部11使用辊作为一例，将长条的片材W卷绕成滚筒状。收卷部12使用辊作为一例，安装片材W的末端。收卷部12从未图示的驱动机构得到旋转力而进行旋转。由此，向收卷部12卷绕片材W，片材W向前处理工序、涂敷工序、后处理工序依次搬运。驱动机构以按照规定的间隔交替反复进行驱动和停止的方式使搬运机构10进行间歇驱动。即，间歇搬运片材W。涂敷工序在搬运机构10的间歇驱动的停止期间内进行。夹紧装置64在片材W的搬运方向上配置在前处理装置30的下游侧。浮动辊机构63在片材W的搬运方向上配置在后处理装置40的下游侧。夹紧装置64及浮动辊机构63在搬运机构10的间歇驱动期间，始终动作，对存在于两者之间的片材W附加张力，防止因涂敷工序而片材W产生弯曲(松弛)。而且，虽然省略了参照标号的附设，但在放卷部11与收卷部12之间随意地配置有从动辊，该从动辊用于在搬运机构10的驱动时对片材W附加张力而防止弯曲(松弛)。片材W从涂敷工序搬运至后处理工序，以便于形成图1所示的水平的搬运面T。接下来，详细说明配置在前处理装置30与后处理装置40之间的片材涂敷装置I的进行涂敷工序的主要部分的结构。架台24通过脚部而水平支承在地板面F上，固定地设置成规定的高度。进行涂敷工序的部分设置在该架台24上。吸附平台13配置在搬运面T的下方。吸附平台13固定地设置在架台24上，高度位置不变。如后述那样，片材涂敷装置I为了使片材W密接在吸附平台13上，而具备不使吸附平台13上升而使片材W升降的片材升降机构。吸附平台13与吸附力产生机构连接。吸附力产生机构(未图示)使吸附平台13的上表面产生吸附力，优选使用产生吸引吸附力的真空泵。通过使用真空泵而使吸附平台13的上表面产生吸引吸附力，由此将片材W吸附固定在吸附平台13上。需要说明的是，吸附力产生机构也可以使用产生静电吸附力的单元。吸附平台13具有沿着片材W的搬运方向分割的多个(在本实施方式中作为一例为3个)吸附区域13广133 (参照图8 (O)0 3个吸附区域13广133通过吸附力产生机构而进行动作，其动作由片材吸附控制部(未图示)控制。3个吸附区域13f 133被控制成沿着片材W的搬运方向阶段性且追加性地进行动作。喷嘴14配置在搬运面T的上方。喷嘴14使用具有狭缝状的喷出口的缝模作为一例。喷嘴14以狭缝状的喷出口成为平行于与片材W的搬运方向正交的方向(B卩，片材W的宽度方向)的取向的方式设置。如后所述，喷嘴14能够沿着垂直方向(Z轴方向)及片材W的搬运方向(X轴方向)移动。喷嘴14通过片材W的搬运方向(X轴方向)的移动，而在片材W的上方走行，将从喷出口喷出的涂敷液涂敷在片材W的表面上。而且，喷嘴14通过垂直方向(Z轴方向)的移动，而在与片材W之间形成规定的涂敷间隙。 维持涂敷间隙而使喷嘴14沿着片材W的搬运方向走行，由此将从喷出口喷出的涂敷液涂敷在片材W上。而且，喷嘴14除了所述两方向之外，还能够沿着与片材W的搬运方向正交的方向(Y轴方向)移动。
馈送机构15向喷嘴14供给涂敷液，作为一例而由涂敷液罐及定量泵构成。定量泵机械性地进行高精度的涂敷液喷出量控制，因此能够进行涂敷膜开始部及涂敷膜结束部的膜厚的控制，进而通过将灵巧配合控制组合而能够进一步提高膜厚的均一性。即使涂敷液种类/涂敷液粘度变更，也可以设置车式涂层单元作为涂敷液供给单元，由此能进行涂敷液监视及自动液体更换。而且，可以通过向涂敷液罐放入清洗液而还能够自动进行配管内清洗等根据涂敷用途而进行各种配管系统的组合。图2是以沿与搬运方向正交的方向横切搬运面的截面表示喷嘴移动机构的简要结构的图。工作台25固定地设置在架台24 (参照图1)上，高度位置不变。喷嘴移动机构构成在该工作台25上。喷嘴移动机构由喷嘴升降机构16、第一喷嘴水平移动机构17及第二喷嘴水平移动机构18构成。在工作台25上且在片材W的搬运路径的外侧，相对于与片材W的搬运方向正交的方向而构筑龙门型XZ轴机器人。该机器人作为一例而使用具有正交轴的2轴的直线促动器。通过该机器人，分别实现使保持喷嘴14的滑块26沿着垂直方向(Z轴方向)及片材W的搬运方向(X轴方向)移动的喷嘴升降机构16及第一喷嘴水平移动机构17。另外，片材涂敷装置I具备除了上述两方向之外还能够使滑块26沿着与片材W的搬运方向正交的方向(Y轴方向)移动的第二喷嘴水平移动机构18。在本实施方式中，第二喷嘴水平移动机构18设置在滑块26与喷嘴14之间。此外，也可以如图3中表示的第二喷嘴水平移动机构的另一实施方式那样，将第二喷嘴水平移动机构18设置在喷嘴升降机构16与第一喷嘴水平移动机构17之间，也可以如图4中表示的第二喷嘴水平移动机构的又一实施方式那样，将第二喷嘴水平移动机构18设置在架台24与工作台25之间。第二喷嘴水平移动机构18作为一例，存在有直线促动器、电动促动器、使用了空气轴承的直线电动机、空气压/液压式促动器等的自动驱动方式、基于进给丝杠、推拉丝杠等的手动调整方式。再次，参照图1，第一涂敷位置检测传感器65在片材W的搬运方向上配置在前处理装置30的上游侧。第二涂敷位置检测传感器66在片材W的搬运方向上配置在喷嘴14的上游侧。第一涂敷位置检测传感器65及第二涂敷位置检测传感器66通过检测片材W的边缘或形成在片材W的上表面上的涂敷膜的边缘，而使用于喷嘴14的初始位置(涂敷位置)的控制。这种涂敷位置检测传感器作为一例而使用图像处理传感器、颜色识别传感器、超声波传感器、条形码、激光传感器、红外线热象仪传感器。图5表示涂敷位置控制系统的框图。涂敷位置控制部27基于第一涂敷位置检测传感器65及第二涂敷位置检测传感器66的检测信号而分别控制搬运机构10、第一喷嘴水平移动机构17及第二喷嘴水平移动机构18的驱动。涂敷位置控制部27把握喷嘴14的位置。使用图6的流程图，说明基于涂敷位置控制部27的涂敷定位控制例。首先，通过第一涂敷位置检测传感器65检测片材W的边缘(步骤SI)，驱动搬运机构10将片材W搬运至为了进行涂敷工序而设定的初始位置(步骤S2)。再次，通过第二涂敷位置检测传感器66，检测片材W的边缘(步骤S3)，涂敷位置控制部27判断在片材W的搬运方向(X轴方向)上喷嘴14的当前位置是否从适当位置发生了偏移(步骤S4)，在判断为发生了偏移时，使第一喷嘴水平移动机构17动作而使喷嘴14向该方向移动，从而进行对位(步骤S5)。接下来，涂敷位置控制部27判断在与片材W的搬运方向正交的方向(Y轴方向)上喷嘴14的当前位置是否从适当位置发生了偏移(步骤S6)，在判断为发生了偏移时，使第二喷嘴水平移动机构18动作而使喷嘴14向该方向移动，从而进行对位。虽然这种涂敷位置调整当在未涂敷的片材W上初次形成涂敷膜时也能够使用，但在对已经形成有涂敷膜的片材W进行重复涂敷或多层涂敷时有用。在重复涂敷或多层涂敷中，如图7的俯视图所示，将第一涂敷位置检测传感器65及第二涂敷位置检测传感器66的检测位置不设定在片材W的边缘，而设定在涂敷膜的边缘，由此能够以喷嘴14的喷出口高精度地重合在涂敷膜的上方的适当位置的方式调整涂敷位置。再次参照图1，说明片材升降机构的结构。第一片材支承辊20在搬运面T的下侧且在片材W的搬运方向上的吸附平台13的上游侧以可升降的方式配置，并在该位置上对片材W进行支承。第二片材支承辊21在搬运面T的下侧且在片材W的搬运方向上的吸附平台13的上游侧以可升降的方式配置，并在该位置上对片材W进行支承。第一片材支承辊20及第二片材支承辊21是本发明的片材支承构件的一例。第一片材支承辊20及第二片材支承辊21伴随着片材W的搬运而从动旋转。第一片材支承辊升降机构22构成为配置在第一片材支承辊20的附近，使第一片材支承辊20升降。第二片材支承辊升降机构23构成为配置在第二片材支承辊21的附近，使第二片材支承辊21升降。第一片材支承辊升降机构22及第二片材支承辊升降机构23作为一例，优选使用直线促动器等。第一片材支承辊升降机构22及第二片材支承辊升降机构23的驱动由片材升降控制部(未图示)控制。片材升降控制部以时间差来控制第一片材支承辊升降机构22及第二片材支承辊升降机构23，以使位于吸附平台13的上方的部分的片材W从其搬运方向的上游侧向下游侧逐渐下降。参照图8 (A) (E)而说明基于片材升降控制部及片材吸附控制部的控制例。在以下说明的一连串的动作中，虽然未特别图示，但驱动夹紧装置64及浮动辊机构63而对片材W沿着搬运方向施加均一的张力的同时进行。在上述的涂敷位置调整之后，首先在图8 (A)所示的状态下，第一片材支承辊20及第二片材支承辊21均位于同一高度，在比吸附平台13靠上方处对片材W进行支承。此时的片材W的高度与搬运面T的高度相同。接下来，片材升降控制部驱动第一片材支承辊升降机构22，如图8 (B)所示，使第一片材支承辊20下降。第一片材支承辊20的下降量设定为搬运面T与吸附平台13的上表面的高度之差。此时，第二片材支承辊21不下降，维持在初始的高度。因此，位于吸附平台13的上方的片材W如图示那样被支承为具有片材W的搬运方向的上游侧低且下游侧高的倾斜。然后，如图8 (C) (E)所示，片材升降控制部驱动第二片材支承辊升降机构23，使第二片材支承辊21下降。第二片材支承辊21的下降量设定为与第一片材支承辊20相同。片材吸附控制部以与第二片材支承辊21的下降中的开局、中局、终局这三个时间带同步的方式，使将吸附平台13沿着搬运方向分割而形成的3个吸附区域13f 133阶段性且追加性地动作。即，在开局仅使位于最上游侧的第一吸附区域131动作(参照图8 (C))，在中局使位于中央部的第二吸附区域132追加性地动作(参照图8(D))，在终局使位于最下游侧的第三吸附区域133进一步追加性地动作(参照图8 (E))。通过这样的片材升降控制部及片材吸附控制部的协作，在对片材W沿着搬运方向施加均一的张力的状态下，对应于片材W的倾斜变小而从片材W的搬运方向的上游侧向下游侧将片材W依次吸附在吸附平台13上。由此，能够防止在所吸附的片材W产生褶皱，或者在片材W与吸附平台13之间产生空气滞留。其结果是，即使是具有挠性的片材W，也能够形成与晶片等片状的工件同样地具有定形性及平滑性的水平的涂敷面P (参照图8 (E))。需要说明的是，若片材支承辊20、21采用扩展辊(弓形弯曲辊)，则能够有效地防止在片材W产生的褶皱。如此形成了涂敷面P之后，驱动喷嘴升降机构16而在喷嘴14的喷出口与涂敷面P之间保持规定的涂敷间隙。并且，利用驱动馈送机构15而从喷嘴14喷出的微量的涂敷液，而在涂敷间隙形成涂敷液体滞留(液珠)。并且，驱动第一喷嘴水平移动机构17，沿着片材W的搬运方向使喷嘴14连续或间歇地扫描不超过吸附平台13的长度的规定的距离，由此液珠追随喷嘴14的移动且涂敷液整面或间歇涂敷于涂敷面P。除了上述的片材升降机构的时间差的驱动及多个吸附区域的阶段性且追加性的动作之外，也可以设置从上方对片材W施力而按压到吸附平台13上的结构。例如，对于吸附固定在吸附平台13上的片材W附加与正交于片材W的搬运方向的方向平行的线性压力的构件是沿着片材W的搬运方向进行扫描的机构。作为扫描机构的一例而使用直线促动器。图9 (ΑΓ (E)例示了附加线性压力的构件为按压辊的情况。按压辊28由取向为与片材W的搬运方向正交的方向上的轴支承为能够旋转。按压辊28配置在搬运面T的上方(参照图9 (A))，通过升降机构(未图示)而下降至与支承在吸附平台13上的片材W的上表面抵接的位置，向片材W施加与正交于片材W的搬运方向的方向平行的线性的按压(参照图9 (B))。按压辊28通过扫描机构(未图示)而从片材W的搬运方向的下游侧向上游侧扫描，按压辊28在片材W上旋转并走行(参照图9 (Cr (E))。需要说明的是，通过在按压辊28的升降机构部采用空气压式工作缸等，由内部空气压的变更而能够任意地设定由按压辊28产生的按压，因此不会对片材W施加压力。另外，图10 (ΑΓ (E)例示了附加线性压力的构件是空气喷出喷嘴29的情况。空气喷出喷嘴29配置在搬运面T的上方(参照图10(A))。空气喷出喷嘴29在下端具有与片材W的上表面之间保持间隙的喷出口。喷出口作为一例而是沿着与片材W的搬运方向正交的方向延伸的狭缝形状，但并未限定于此，也可以由沿着该方向等间隔地配置的多个小孔来构成喷出口。空气喷出喷嘴29与压送空气的空气泵等连接，利用从喷出口喷出的高压空气，将与正交于片材W的搬运方向的方向平行的线性的空气压力向片材W施加(参照图10(B))。喷出空气的空气喷出喷嘴29利用移动机构(未图示)而从片材W的搬运方向的下游侧向上游侧扫描(参照图10 (C) (E))。空气喷出喷嘴29以与涂敷面P的非接触状态进行扫描，因此不会使片材W带有伤痕，在重复涂敷、多层涂敷时不会对涂敷膜造成影响。而且，也能够期待存在于涂敷面P的粉尘的除去效果。由空气喷出喷嘴29产生的空气压力能够利用调整器等进行调整，通过利用隔片等对流量计或狭缝状的喷出口的开口宽度进行变更而能够调整空气喷出流量。 需要说明的是，在空气的喷出方向的变更用中，如图11所示，利用与片材W的搬运方向正交的方向的摆动轴291将空气喷出喷嘴29支承为能够摆动，也可以设置使该空气喷出喷嘴29向片材W的搬运方向摆动的机构。这样的话，通过使按压辊28在片材W上走行或者使空气喷出喷嘴29在片材W的上方进行扫描，对于仅利用片材W的张力控制的话不能进行吸附的厚度厚的片材、容易产生褶皱的具有伸缩性的片材，能均匀地吸附到吸附平台13上。在上述的实施方式中，在涂敷工序中利用第一喷嘴水平移动机构17使喷嘴14沿着片材W的搬运方向扫描而进行涂敷。因此，由第一喷嘴水平移动机构17产生的喷嘴移动可能量设定为远大于专门由喷嘴14的初始位置调整用的第二喷嘴水平机构18产生的喷嘴可移动距离。相对于此，也可以构成为将工作台25配置成与片材W的搬运方向正交。由此，涂敷工序中的喷嘴扫描方向相对于本实施方式的情况而成直角地反转。即，能够沿着与片材W的搬运方向正交的方向进行涂敷。上述的实施方式的说明应认为全部的点是例示，并不是限制性内容。本发明的范围不是由上述的实施方式公开，而由权利要求书的范围公开。此外，本发明的范围意图包括与权利要求书的范围均等的意思及范围内的全部变更。
权利要求
1.一种片材涂敷装置，其具备: 搬运机构，其以形成水平的搬运面的方式对长条的片材进行间歇搬运； 吸附平台，其配置在所述搬运面的下方，并吸附固定所述片材； 吸附力产生机构，其使所述吸附平台的上表面产生吸附力； 喷嘴，其配置在所述搬运面的上方，具有与所述片材的上表面之间维持规定的涂敷间隙的喷出口，并从该喷出口喷出涂敷液； 馈送机构，其向所述喷嘴馈送涂敷液； 第一喷嘴水平移动机构，其构成为能够使所述喷嘴沿着所述片材的搬运方向进行水平移动； 第二喷嘴水平移动机构，其构成为能够使所述喷嘴沿着与所述片材的搬运方向正交的方向进行水平移动 '及 片材升降机构，其构成为能够使所述片材在所述搬运面与所述吸附平台之间升降。
2.根据权利要求1所述的片材涂敷装置，其具备: 涂敷位置检测传感器，其检测所述片材的边缘或已经形成在所述片材的上表面上的涂敷膜的边缘；及 涂敷位置控制部，其基于所述涂敷位置检测传感器的检测结果，分别控制所述搬运机构、所述第一喷嘴水平移动机构及所述第二喷嘴水平移动机构的驱动，以调整所述喷嘴的初始位置。
3.根据权利要求1所述的片材涂敷装置，其中， 所述片材升降机构具有: 第一片材支承构件，其在所述片材的搬运方向上能够升降地配置在所述吸附平台的上游侧，并支承所述片材； 第二片材支承构件，其在所述片材的搬运方向上能够升降地配置在所述吸附平台的下游侧，并支承所述片材； 第一片材支承构件升降机构，其使所述第一片材支承构件升降； 第二片材支承构件升降机构，其使所述第二片材支承构件升降 '及片材升降控制部，其以时间差分别控制所述第一片材支承构件升降机构及所述第二片材支承构件升降机构的驱动，以使位于所述吸附平台的上方的所述片材从该片材的搬运方向的上游侧向下游侧逐渐下降。
4.根据权利要求2所述的片材涂敷装置，其中， 所述片材升降机构具有: 第一片材支承构件，其在所述片材的搬运方向上能够升降地配置在所述吸附平台的上游侧，并支承所述片材； 第二片材支承构件，其在所述片材的搬运方向上能够升降地配置在所述吸附平台的下游侧，并支承所述片材； 第一片材支承构件升降机构，其使所述第一片材支承构件升降； 第二片材支承构件升降机构，其使所述第二片材支承构件升降；及片材升降控制部，其以时间差分别控制所述第一片材支承构件升降机构及所述第二片材支承构件升降机构的驱动，以使位于所述吸附平台的上方的所述片材从该片材的搬运方向的上游侧向下游侧逐渐下降。
5.根据权利要求3所述的片材涂敷装置，其中， 所述吸附平台具有沿着所述片材的搬运方向分割的多个吸附区域， 所述吸附力产生机构具备使所述多个吸附区域沿着所述片材的搬运方向阶段性且追加性地动作的片材吸附控制部。
6.根据权利要求5所述的片材涂敷装置，其中， 还具备使从所述片材的上方附加与正交于所述片材的搬运方向的方向平行的线性压力的构件沿着所述片材的搬运方向进行扫描的机构。
7.根据权利要求6所述的片材涂敷装置，其中， 附加所述线性压力的构件是与所述片材的上表面抵接且由沿着与所述片材的搬运方向正交的方向取向的轴支承为旋转自如的辊。
8.根据权利要求6所述的片材涂敷装置，其中， 附加所述线性压力的构件是空气喷出喷嘴，该空气喷出喷嘴具有在与所述片材的上表面之间保持间隙的喷出口。
9.根据权利要求8所述的片材涂敷装置，其中， 还具备使所述空气喷出喷嘴沿着所述片材的搬运方向摆动的机构。
10.根据权利要求广9中任一项所述的片材涂敷装置，其中， 所述片材涂敷装置构成为，能够将构筑有所述第一喷嘴水平移动机构及所述第二喷嘴水平移动机构的工作台配置成与所述片材的搬运方向正交。
全文摘要
提供在涂敷开始前调整涂敷位置而高成品率地在片材上形成涂敷膜的片材涂敷装置。在对片材(W)间歇搬运的搬运机构(10)的停止期间，驱动第一喷嘴水平移动机构(17)及第二喷嘴水平移动机构(18)使喷嘴(14)沿着片材(W)的搬运方向及正交方向移动。驱动片材升降机构使片材(W)下降，利用吸附力产生机构在吸附平台(13)上吸附固定片材(W)，由此形成涂敷面(P)。利用馈送机构(15)向喷嘴(14)供给涂敷液，从与片材(W)的上表面之间维持规定涂敷间隙的喷嘴(14)的喷出口喷出涂敷液，使第一喷嘴水平移动机构(17)沿着片材(W)的搬运方向进行扫描，由此液珠追随喷嘴(14)并在涂敷面(P)上形成涂敷膜。
文档编号B05C5/00GK103212514SQ20131002775
公开日2013年7月24日 申请日期2013年1月24日 优先权日2012年1月24日
发明者福井启, 中原敬辅, 织田光德, 田边雅明, 高见准 申请人:龙云株式会社