一种石油仪器用抛光专用研磨液的制作方法

文档序号:11400046阅读:176来源:国知局

本发明涉及一种研磨液,具体涉及一种石油仪器用抛光专用研磨液。



背景技术:

随着现有生活发展的精细化,抛光工艺应用广泛,特别是在微电子领域,随着大量装置体积的日益轻薄,对其性能的要求反而越来越高,相应的对抛光工艺的要求也进一步提高。

研磨材料为抛光技术的必需品,为研磨液组合物的重要组分,对其性能要求也越来越严格,目前,普遍采用的研磨材料一般为氧化铝、氧化锆、金刚石、氧化硅、氧化铈、氧化钛、氮化硅等,但在实际应用中,现有粒子的粒径小、表面活性大,粒子间相互作用力强,已分散好的纳米粒子易发生团聚,影响研磨液组合物的性能;同时研磨粒子如纳米金刚石、三氧化二铝、氧化锆、氮化硅等,硬度均较大,抛光过程中对表面的损伤较严重,不仅造成表面粗糙度较大,还易出现抛光划痕、凹坑等表面缺陷;同时分散性、稳定性较好的氧化硅等材料的抛光速率又较低,不能满足现有技术的要求。



技术实现要素:

本发明的目的在于针对现有技术的不足,现提供一种石油仪器用抛光专用研磨液。

为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:一种石油仪器用抛光专用研磨液,其创新点在于:由以下重量份的组分组成,氧化铝35-45份、氧化硅15-25份、三聚氰胺10-15份、聚苯乙烯磺酸钠5-10份、氧化铈11-15份、甲基丙烯酸3-9份、硅酸钠2-5份、氧化锆1-3份、乙酸乙脂4-9份、十八烷基三甲基溴化胺4-13份、聚氧乙烯醚2-7份、二甲亚砜环己烷4-8份、羟甲基纤维素3-6份、螯合剂2-8份。

进一步的,由以下重量份的组分组成,氧化铝40份、氧化硅20份、三聚氰胺13份、聚苯乙烯磺酸钠8份、氧化铈13份、甲基丙烯酸6份、硅酸钠3份、氧化锆2份、乙酸乙脂6份、十八烷基三甲基溴化胺8份、聚氧乙烯醚4份、二甲亚砜环己烷6份、羟甲基纤维素4份、螯合剂5份。

本发明的有益效果如下:本发明的制备方法简单,易实现,本发明制备的研磨液的研磨精度和研磨效率均得到提升。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式,熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。

实施例1

一种石油仪器用抛光专用研磨液,由以下重量份的组分组成,氧化铝35份、氧化硅15份、三聚氰胺10份、聚苯乙烯磺酸钠5份、氧化铈11份、甲基丙烯酸3份、硅酸钠2份、氧化锆1份、乙酸乙脂4份、十八烷基三甲基溴化胺4份、聚氧乙烯醚2份、二甲亚砜环己烷4份、羟甲基纤维素3份、螯合剂2份。

实施例2

一种石油仪器用抛光专用研磨液,由以下重量份的组分组成,氧化铝45份、氧化硅25份、三聚氰胺15份、聚苯乙烯磺酸钠10份、氧化铈11-15份、甲基丙烯酸3-9份、硅酸钠2-5份、氧化锆1-3份、乙酸乙脂4-9份、十八烷基三甲基溴化胺4-13份、聚氧乙烯醚2-7份、二甲亚砜环己烷4-8份、羟甲基纤维素3-6份、螯合剂2-8份。

实施例3

一种石油仪器用抛光专用研磨液,由以下重量份的组分组成,氧化铝40份、氧化硅20份、三聚氰胺13份、聚苯乙烯磺酸钠8份、氧化铈13份、甲基丙烯酸6份、硅酸钠3份、氧化锆2份、乙酸乙脂6份、十八烷基三甲基溴化胺8份、聚氧乙烯醚4份、二甲亚砜环己烷6份、羟甲基纤维素4份、螯合剂5份。

本发明的制备方法简单,易实现,本发明制备的研磨液的研磨精度和研磨效率均得到提升。

上述实施例只是本发明的较佳实施例,并不是对本发明技术方案的限制,只要是不经过创造性劳动即可在上述实施例的基础上实现的技术方案,均应视为落入本发明专利的权利保护范围内。



技术特征:

技术总结
本发明公开了一种石油仪器用抛光专用研磨液,由以下重量份的组分组成,氧化铝35‑45份、氧化硅15‑25份、三聚氰胺10‑15份、聚苯乙烯磺酸钠5‑10份、氧化铈11‑15份、甲基丙烯酸3‑9份、硅酸钠2‑5份、氧化锆1‑3份、乙酸乙脂4‑9份、十八烷基三甲基溴化胺4‑13份、聚氧乙烯醚2‑7份、二甲亚砜环己烷4‑8份、羟甲基纤维素3‑6份、螯合剂2‑8份。本发明的制备方法简单,易实现,本发明制备的研磨液的研磨精度和研磨效率均得到提升。

技术研发人员:唐生荣
受保护的技术使用者:南通华兴石油仪器有限公司
技术研发日:2017.05.19
技术公布日:2017.09.01
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